申请/专利权人:北京中科信电子装备有限公司
申请日:2018-11-15
公开(公告)日:2020-05-22
公开(公告)号:CN111192805A
主分类号:H01J37/02(20060101)
分类号:H01J37/02(20060101);H01J37/317(20060101);H01L21/67(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.11.05#实质审查的生效;2020.05.22#公开
摘要:本发明公开了一种离子注入机气动切换装置,包括:支撑架101、驱动机构102、从动绝缘棒103、浪涌抑制组件104和到位信号检测105,其中支撑架101为三角立体结构,主要起到装置的支撑和定位作用;驱动机构102主要由气缸固定块、气缸、绝缘棒夹块、开关撞块、调速阀装配而成,通过外围气路的切换,控制绝缘棒夹块实现一定角度内的往复运动;从动绝缘棒103由绝缘棒、放电球头、高压导线组成,在驱动机构102的带动下,实现接触位置的变换;浪涌抑制组件104由三个浪涌抑制放置块和两块低能二极管电路板构成,当从动绝缘棒103的放电球头与高电位接触时,实现浪涌抑制的作用;到位信号检测105由到位传感器、连接线缆和固定座组成,将切换的状态反馈到控制器、实现切换位置的监测。本发明涉及离子注入装置,隶属于半导体制造领域。
主权项:1.一种离子注入机气动切换装置,包括:支撑架101、驱动机构102、从动绝缘棒103、浪涌抑制组件104和到位信号检测105,其特征在于:能量切换电路的通断通过驱动机构102中气缸的伸缩运动完成,从动绝缘棒103的切换角度可以达到45度,不仅能够满足长距离接触点的通断,也能有效避免切换点之间高低电位距离过近造成的打火问题。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京中科信电子装备有限公司 一种离子注入机气动切换装置
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