【发明公布】一种大束流离子注入机剂量补打方法_北京中科信电子装备有限公司_201811357791.8 

申请/专利权人:北京中科信电子装备有限公司

申请日:2018-11-15

发明/设计人:方加晔;李士会;肖志强

公开(公告)日:2020-05-22

代理机构:

公开(公告)号:CN111192810A

代理人:

主分类号:H01J37/32(20060101)

地址:101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

分类号:H01J37/32(20060101)

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2020.05.22#公开

摘要:本发明公开了一种大束流离子注入机打火剂量补打方法,包括:PMAC板卡1ACC‑24E2APMAC轴卡2打火检测板3直线运动控制组件4工控机5PMACMACRO机箱6光栅尺7直线电机8驱动器9电源10主要特征为PMAC板卡1在工控机6中负责整个上控制器的数据采集和指令发送,工控机6安装WINDOWS操作系统。ACC‑24E2APMAC轴卡2在PMACMACRO机箱6中控制电机的运动,打火信号捕捉处理和电源输出打开。直线运动控制组件4包括直线电机8光栅尺7驱动器9控制直线模组的运动,打火检测板3监测电源10的打火状态和记录电源的运动历史并发送电源打开和关闭的动作。直线模组有两个运动机械限位:上限12和下限11。

主权项:1.一种大束流离子注入机打火剂量补打方法包括硬件:PMAC板卡1、ACC-24E2APMAC轴卡2、打火检测板3、直线运动控制组件4、工控机5、PMACMACRO机箱6、光栅尺7、直线电机8、驱动器9、电源10。其特征在于:打火检测板3实时检测电源10的状态,发生打火时打火检测板3将同时发出相同的信号至电源10与ACC-24E2APMAC轴卡2。信号发送至电源10用于瞬间关闭电源10,信号发送至ACC-24E2APMAC轴卡2用于打火发生时,直线模组4运动瞬时位置的捕捉,并记录到PMAC板卡1中,同时直线模板继续按照原来的运动方向到运动上限12,这里假定初始的运动方向为运动下限11到运动上限12。如图3所示,已注入区域在上,未注入区域在下。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京中科信电子装备有限公司 一种大束流离子注入机剂量补打方法

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