【发明授权】影像感测器结构_采钰科技股份有限公司_201611235711.2 

申请/专利权人:采钰科技股份有限公司

申请日:2016-12-28

发明/设计人:谢锦全;萧玉焜;王唯科;李立凯

公开(公告)日:2020-05-22

代理机构:隆天知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN107180839B

代理人:周滨;章侃铱

主分类号:H01L27/146(20060101)

地址:中国台湾新竹市

分类号:H01L27/146(20060101)

优先权:["20160310 US 15/066,948"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.05.22#授权;2017.10.20#实质审查的生效;2017.09.19#公开

摘要:本公开提供一种影像感测器结构。该影像感测器结构包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片以及蓝色滤光片;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光,形成于该透明材料层上;一第二滤光片,允许可见光穿透,形成于该第一滤光片上;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片上。

主权项:1.一种影像感测器结构,包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片以及蓝色滤光片;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡波长介于700nm~800nm、700nm~900nm、700nm~1,000nm或800nm~900nm的红外光,形成于该透明材料层上;一第二滤光片,允许波长介于400nm~700nm的可见光穿透,形成于该第一滤光片上,其中该第二滤光片由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片上。

全文数据:影像感测器结构技术领域[0001]本公开涉及一种影像感测器结构,特别涉及一种具有混成滤光片(hybridfilter的影像感测器结构。背景技术[0002]影像感测器imagesensor为一种将光影像转换为电信号的半导体元件。影像感测器一般分为电荷耦合元件CCD与互补式金氧半CMOS影像感测器。上述影像感测器中,互补式金氧半CMOS影像感测器包括用来检测入射光与将其转换为电信号的光二极管,以及用来传输与处理电信号的逻辑电路。[0003]在具有桂基silicon-based影像感测器例如电荷親合兀件CCD或互补式金氧半CMOS的RGB相机模块中,先将用来截止近红外光的红外光截止滤光片(IR-cutfilter涂布于玻璃上,并整合于透镜模块中。的后,再将上述透镜模块安装于影像感测器上。然而,利用多层膜干涉multi-filminterference技术所制作的红外光截止滤光片会导致蓝位移blueshift的发生。[0004]在RGB-IR相机模块中,双带通滤光片(dualbandpassfilter取代红外光截止滤光片(IR-cutfilter形成于玻璃上。利用多层膜干涉技术所制作的双带通滤光片呈现一可见光带与一窄红外光带。对于RGB像素,其彩色滤光片接收可见光与少量红外光视为噪声)。对于IR像素,其彩色滤光片仅接收红外光。[0005]目前有使用两种解决蓝位移现象的方式。其中之一为采用蓝玻璃,另一方式则采用混成滤光片hybridfilter形成于空玻璃上。然而,蓝玻璃的最小厚度为〇.3mm,而混成滤光片结合空玻璃的方式亦需使用厚度至少〇•15mm的玻璃。在智能手机中,相机的总厚度仍是亟待解决的问题。此外,采用双带通滤光片结合玻璃的方式亦会面临厚度问题。[0006]因此,开发一种不致产生蓝位移的超薄影像感测器结构是众所期待的。发明内容[0007]本公开的一实施例提供一种影像感测器结构(image-sensorstructure,包括:一基板,具有多个光电转换单元photoelectricconversionunit,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片以及蓝色滤光片;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光infraredlight,形成于该透明材料层上;一第二滤光片,允许可见光visiblelight穿透,形成于该第一滤光片上;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片上。[0008]在部分实施例中,上述光电转换单元包括一光二极管photodiode。[0009]在部分实施例中,上述透明材料层的折射率低于上述微透镜与上述第一滤光片的折射率。[0010]在部分实施例中,上述透明材料层的折射率低于1.3。[0011]在部分实施例中,上述第一滤光片阻挡波长介于700ntn〜800nm、700nm〜900nm、700nm〜1,000nm或800nm〜900nm的红外光。[0012]在部分实施例中,上述第二滤光片允许波长介于400nm〜700nm的可见光穿透。[0013]在部分实施例中,上述第二滤光片由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成。[0014]本公开的一实施例提供一种影像感测器结构,包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片、蓝色滤光片以及红外光滤光片(infraredpassfilters;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一第一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光,形成于部分的该第一透明材料层上,露出对应所述多个红外光滤光片的部分的该第一透明材料层;一第二滤光片,允许可见光穿透,形成于该第一滤光片上,露出对应所述多个红外光滤光片的该部分的该第一透明材料层;一第二透明材料层,形成于对应所述多个红外光滤光片的该部分的该第一透明材料层上;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片与该第二透明材料层上。[0015]在部分实施例中,上述红外光滤光片允许红外光穿透。[0016]在部分实施例中,上述第一透明材料层的折射率低于上述微透镜与上述第一滤光片的折射率。[0017]在部分实施例中,上述第一透明材料层的折射率低于1.3。[0018]本公开的一实施例提供一种影像感测器结构,包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片、蓝色滤光片以及红外光滤光片;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光,形成于该透明材料层上,其中该第一滤光片阻挡具有一第一波长范围的红外光;一第二滤光片,允许可见光与红外光穿透,形成于该第一滤光片上,其中该第二滤光片允许具有一第二波长范围的可见光与红外光穿透,其中该第二波长范围大于该第一波长范围;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片上。[0019]在部分实施例中,上述第一波长范围介于700nm〜800nm或700nm〜900nm。[0020]在部分实施例中,上述第二波长范围介于400nm〜900nm或400nm〜1,000nm。[0021]在部分实施例中,本公开影像感测器结构还包括一第三滤光片,阻挡红外光,形成于上述红色滤光片、上述绿色滤光片、上述蓝色滤光片与上述基板之间,或形成于上述红色滤光片、上述绿色滤光片、上述蓝色滤光片与上述微透镜之间。[0022]在部分实施例中,上述第三滤光片阻挡波长为850nm或940nm的红外光。[0023]为让本公开的上述目的、特征及优点能更明显易懂,下文特举一较佳实施例,并配合所附的附图,作详细说明如下。附图说明[0024]图1是根据本公开的一实施例,一种影像感测器结构的剖面示意图;[0025]图2是根据本公开的一实施例,有关第一滤光片与第二滤光片其光波长nm与光穿透度transmittance%T的关系;[0026]图3是根据本公开的一实施例,一种影像感测器结构的剖面示意图;[0027]图4是根据本公开的一实施例,有关第一滤光片与第二滤光片其光波长nm与光穿透度(transmittance%T的关系;[0028]图5是根据本公开的一实施例,一种影像感测器结构的剖面示意图;[0029]图6是根据本公开的一实施例,有关第一滤光片与第二滤光片其光波长nm与光穿透度(transmittance%T的关系;[0030]图7是根据本公开的一实施例,一种影像感测器结构的剖面示意图;[0031]图8A是根据本公开的一实施例,有关第一滤光片与第二滤光片其光波长nm与光穿透度(transmittance%T的关系;[0032]图8B是根据本公开的一实施例,有关第三滤光片其光波长(nm与光穿透度transmittance%T的关系;以及[0033]图9是根据本公开的一实施例,一种影像感测器结构的剖面示意图。[0034]附图标记说明:[0035]10〜影像感测器结构;[0036]12〜基板;[0037]14〜光电转换单元;[0038]16〜彩色滤光片;[0039]16a〜红色滤光片;[0040]16b〜绿色滤光片;[0041]16c〜蓝色滤光片;[0042]16d〜红外光滤光片;[0043]18〜微透镜;[0044]20〜第一透明材料层;[0045]22〜第一滤光片、第一滤光片所呈现光波长与光穿透度的关系曲线;[0046]24〜第二滤光片、第二滤光片所呈现光波长与光穿透度的关系曲线;[0047]24a、24b、24c、24d、24e、24f〜第二滤光片具有高、低折射率交错组成的多层膜;[0048]25〜第二透明材料层;[0049]26〜透镜模块;[0050]28〜混成双带通滤光片;[0051]30〜第三滤光片。具体实施方式[0052]请参阅图1,根据本公开的一实施例,提供一种影像感测器结构(image-sensorstructure10。图1为影像感测器结构1〇的剖面示意图。[0053]影像感测器结构10包括一基板12,具有多个光电转换单元(photoelectricconversionunit14,形成于基板12中;多个彩色滤光片16,形成于基板12上,彩色滤光片16分为红色滤光片16a、绿色滤光片16b以及蓝色滤光片16c;多个微透镜18,对应形成于彩色滤光片I6上;一透明材料层20,形成于微透镜18上;一第一滤光片22,阻挡红外光infraredlight,形成于透明材料层2〇上;一第二滤光片24,允许可见光(visible1ight穿透,形成于第一滤光片22上;以及一透镜模块26,形成于第二滤光片24上。[0054]在部分实施例中,光电转换单元14可包括一光二极管photodiode。[0055]在部分实施例中,透明材料层20的折射率可大体低于微透镜18与第一滤光片22的折射率。[0056]在部分实施例中,透明材料层2〇的折射率可大体低于1.3,例如大体低于二氧化硅的折射率。[0057]在部分实施例中,第一滤光片22阻挡波长大体介于700nm〜800nm、700nm〜900nm、7〇Onm〜l,00〇nm或8〇Onm〜9〇Onm的红外光,举例来说,第一滤光片22选择性阻挡波长大体介于700nm〜800nm的红外光请参阅图2中第一滤光片22所呈现的曲线22。图2显示有关第一滤光片22与第一滤光片24其光波长nm与光穿透度transmittance%T的关系。[0058]在部分实施例中,第二滤光片24允许波长大体介于400nm〜700nm的可见光穿透。举例来说,弟一滤光片24选择性允许波长大体介于4〇〇nm〜700nm的可见光穿透请参阅图2中第二滤光片24所呈现的曲线24。[0059]在部分实施例中,第二滤光片24可由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,例如由具有高、低折射率交错组成的六层膜,包括24、2扑、24:、241、246以及24£'所构成,如图1所示,以及可由例如银、铝等的特定金属膜所构成。[0060]在图1中,在影像感测器结构10中,由第一滤光片22与第二滤光片24所组成的混成滤光片28疋直接设置于感测器晶片上,且能截止具有特定波长丨•e.约7〇〇nm〜]_,i〇〇nm的红外光,以及允许具有特定波长i.e.约400nm〜700nm的可见光穿透包括红色滤光片16a、绿色滤光片16b以及蓝色滤光片16c的彩色滤光片16,而不产生蓝位移blueshift或仅产生轻微蓝位移。[0061]请参阅图3,根据本公开的一实施例,提供一种影像感测器结构(image-sens〇rstructure10。图3为影像感测器结构1〇的剖面示意图。[0062]影像感测器结构10包括一基板12,具有多个光电转换单元14,形成于基板12中;多个彩色滤光片16,形成于基板12上,彩色滤光片16分为红色滤光片16a、绿色滤光片16b、蓝色滤光片16c以及红外光滤光片(infraredpassfilterslM;多个微透镜18,对应形成于彩色滤光片16上;一第一透明材料层20,形成于微透镜18上;一第一滤光片22,阻挡红外光,形成于部分的第一透明材料层2〇上,露出对应红外光滤光片16d的部分第一透明材料层20;一第二滤光片24,允许可见光穿透,形成于第一滤光片22上,露出对应红外光滤光片i6d的部分第一透明材料层20;—第二透明材料层25,形成于对应红外光滤光片i6d的部分第一透明材料层20上;以及一透镜模块(lensm〇dule26,形成于第二滤光片24与第二透明材料层25上。[0063]在部分实施例中,光电转换单元14可包括一光二极管photodiode。[0064]在部分实施例中,红外光滤光片i6d允许红外光穿透。[0065]在部分实施例中,第一透明材料层20的折射率可大体低于微透镜18与第一滤光片22的折射率。[0066]在部分实施例中,第一透明材料层20的折射率可大体低于1.3,例如大体低于二氧化硅的折射率。[0067]在部分实施例中,第一滤光片22阻挡波长大体介于700nm〜800nm、700nm〜900nm、700nm〜l,00〇nm或8〇〇nm〜900nm的红外光,举例来说,第一滤光片22选择性阻挡波长大体介于700nm〜8〇〇nm的红外光请参阅图4中第一滤光片22所呈现的曲线22。图4显示有关第一滤光片22与第二滤光片24其光波长nm与光穿透度transmittance%T的关系。[0068]在部分实施例中,第二滤光片24允许波长大体介于400nm〜700nm的可见光穿透。举例来说,第二滤光片24选择性允许波长大体介于4〇〇nm〜700nm的可见光穿透请参阅图4中第二滤光片24所呈现的曲线24。[0069]在^分实施例中,第二滤光片料可由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,例如由具有尚、低折射率交错组成的六层膜,包括248、2413、24:、241、246以及24€所构成,如图3所示,以及可由例如银、铝等的特定金属膜所构成。[0070]在部分实施例中,形成于对应红外光滤光片16d的部分第一透明材料层20上的第二透明材料层25允许红外光与可见光穿透。[0071]在图3中,在影像感测器结构10中,由第一滤光片22与第二滤光片24所组成的混成滤光片28是直接设置于感测器晶片上,且能截止具有特定波长(i•e.约,1〇〇nm的红外光,以及允许具有特定波长i•e•约4〇〇nm〜7〇〇nm的可见光穿透红色滤光片16a、绿色滤光片16b以及蓝色滤光片lec。此外,第二透明材料层25形成于对应红外光滤光片16d的部分第一透明材料层20上,且能允许具有特定波长i.e.约80〇11111〜丨,丨00nm、900nm〜i,1〇〇nm或l,000nm〜l,l〇〇nm的红外光穿透红外光滤光片16d,而不产生蓝位移或仅产生轻微蓝位移。[0072]请参阅图5,根据本公开的一实施例,提供一种影像感测器结构(image-sensorstructure10。图5为影像感测器结构1〇的剖面示意图。[0073]影像感测器结构1〇包括一基板12,具有多个光电转换单元(photoelectricconversionunit14,形成于基板12中;多个彩色滤光片16,形成于基板12上,彩色滤光片ie分为红色滤光片iea、绿色滤光片ieb、蓝色滤光片16c以及红外光滤光片16d;多个微透镜1S,对应形成于彩色滤光片le上;一透明材料层2〇,形成于微透镜18上;一第一滤光片22,阻挡红外光,形成于透明材料层20上,第一滤光片22阻挡具有一第一波长范围的红外光;一第光片j,允许可见光与红外光穿透,形成于第一滤光片22上,第二滤光片24允许具有一第二波长范围的可见光与红外光穿透,值得注意的是,第二波长范围大于第一波长范围;以及一透镜模块26,形成于第二滤光片24上。[0074]在部分实施例中,光电转换单元14可包括一光二极管photodiode。[0075]在部分实施例中,红外光滤光片16d允许红外光穿透。[0076]在部分实施例中,透明材料层20的折射率可大体低于微透镜18与第一滤光片22的折射率。[0077]在部分实施例中,透明材料层20的折射率可大体低于i.3,例如大体低于二氧化硅的折射率。[0078]在部分实施例中,请参阅图6,第一滤光片22所阻挡的红外光所具有的第一波长范围R1大体介于700nm〜800nm或700nm〜900nm。也就是,第一滤光片22选择性阻挡波长大体介于700nm〜800nm的红外光请参阅图6中第一滤光片22所呈现的曲线22。图6显示有关第滤光片22与第一滤光片24其光波长咖与光穿透度transmittance%T的关系。^〇79]在部分实施例中,第二滤光片24所允许穿透的可见光与红外光所具有的第二波长范围R2大体介于400nm〜900nm或400nm〜l,〇〇〇nm。也就是,第二滤光片24选择性允许波长大体介于400nm〜900nm的可见光与红外光穿透请参阅图6中第二滤光片24所呈现的曲线24。值得注意的是,当第一滤光片22与第二滤光片24结合混成时,由于第二波长范围R2大于第一波长范围R1,使得图中形成双带通dualbandpass的实施方式。[00S0]在分实施例中,第二滤光片24可由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,例如由具有高、低折射率交错组成的六层膜,包括24a、24b、24c、24d、24e以及24f所构成,如图5所示,以及可由例如银、铝等的特定金属膜所构成。[0081]在图5中,在影像感测器结构10中,由第一滤光片22与第二滤光片24所组成的混成双带通滤光片hybriddualbandpassfilter28是直接设置于感测器晶片上,且能截止具有特定波长(i•e.约700nm〜800nm的红外光,以及允许具有特定波长Q.e.约4〇〇nm〜700nm的可见光与具有特定波长(i_e•约850nm或940nm的红外光穿透红色滤光片16a、绿色滤光片16b以及蓝色滤光片16c。同样地,混成双带通滤光片28能允许具有特定波长i.e.约850nm或940nm的红外光穿透红外光滤光片I6d,而不产生蓝位移。[0082]请参阅图7,根据本公开的一实施例,提供一种影像感测器结构(image-sensorstructure10。图7为影像感测器结构1〇的剖面示意图。[0083]影像感测器结构10包括一基板12,具有多个光电转换单元(photoelectricconversionunit14,形成于基板12中;多个彩色滤光片16,形成于基板12上,彩色滤光片16分为红色滤光片iea、绿色滤光片Wb、蓝色滤光片16c以及红外光滤光片16d;多个微透镜18,对应形成于彩色滤光片16上;一透明材料层20,形成于微透镜18上;一第一滤光片22,阻挡红外光,形成于透明材料层20上,第一滤光片22阻挡具有一第一波长范围的红外光;一第二滤光片24,允许可见光与红外光穿透,形成于第一滤光片22上,第二滤光片24允许具有一第二波长范围的可见光与红外光穿透,值得注意的是,第二波长范围大于第一波长范围;以及一透镜模块26,形成于第二滤光片24上。[0084]在部分实施例中,光电转换单兀14可包括一光二极管photodiode。[0085]在部分实施例中,红外光滤光片16d允许红外光穿透。[0086]在部分实施例中,透明材料层20的折射率可大体低于微透镜18与第一滤光片22的折射率。[0087]在部分实施例中,透明材料层2〇的折射率可大体低于U,例如大体低于二氧化硅的折射率。[0088]在部分实施例中,请参阅图8A,第一滤光片22所阻挡的红外光所具有的第一波长范围R1大体介于700nm〜800nm或700nm〜900脆。也就是,第一滤光片22选择性阻挡波长大体介于7〇Onm〜SOOnm的红外光请参阅图8A中第一滤光片22所呈现的曲线22。图从显示有关第滤光片22与弟一滤光片24其光波长nm与光穿透度transmittance%T的关系。^〇89]在部分实施例中,第二滤光片24所允许穿透的可见光与红外光所具有的第二波长范围R2大体介于400nm〜900nm或400nm〜l,〇〇〇nm。也就是,第二滤光片24选择性允许波长大体介于400nm〜9〇Onm的可见光与红外光穿透请参阅图8A中第二滤光片24所呈现的曲线24」值得注意的是,当第一滤光片22与第二滤光片24结合混成时,由于第二波长范围似大于弟波长犯围R1,使得图中形成双带通dua]_bandpass的实施方式。[0090]在SP分实施例中,第二滤光片24可由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,例如由具有高、低折射率交错组成的六层膜,包括24£1、2413、24£;、24;1、245以及2牡所构成,如图7所示,以及可由例如银、铝等的特定金属膜所构成。[0091]在部分实施例中,本公开影像感测器结构10还包括一第三滤光片30,阻挡红外光,形成于红色滤光片16a、绿色滤光片16b、蓝色滤光片16c与基板12的间。[0092]在部分实施例中,第三滤光片30阻挡波长大体850nm请参阅图8B中第三滤光片30所呈现的曲线3〇或MOrnn的红外光。图部显示有关第三滤光片30其光波长nm与光穿透度transmittance%T的关系。[0093]在图7中,在影像感测器结构10中,由第一滤光片22与第二滤光片24所组成的混成双带通滤光片hybriddualbandpassfilter28是直接设置于结合第三滤光片30的感测器晶片上,且能截止具有特定波长(i_e.约700nm〜800nm、以及约850nm或940nm的红外光,以及仅允许具有特定波长i•e•约400mn〜700nm的可见光穿透红色滤光片16a、绿色滤光片16b以及蓝色滤光片16c,有效消除红色滤光片16a、绿色滤光片16b、蓝色滤光片16c的红外光噪尸。冋样地,混成双带通滤光片28能允许具有特定波长(i.e•约850nm或940nm的红外光穿透下方未设置第三滤光片30的红外光滤光片16d。[0094]请参阅图9,根据本公开的一实施例,提供一种影像感测器结构(image-senso:rstructure10。图9为影像感测器结构10的剖面示意图。[0095]影像感测器结构10包括一基板12,具有多个光电转换单元(photoelectricconversionunit14,形成于基板12中;多个彩色滤光片16,形成于基板12上,彩色滤光片16分为红色滤光片16a、绿色滤光片16b、蓝色滤光片16c以及红外光滤光片16d;多个微透镜18,对应形成于彩色滤光片16上;一透明材料层20,形成于微透镜18上;一第一滤光片22,阻挡红外光,形成于透明材料层20上,第一滤光片22阻挡具有一第一波长范围的红外光;一第二滤光片24,允许可见光与红外光穿透,形成于第一滤光片22上,第二滤光片24允许具有一第二波长范围的可见光与红外光穿透,值得注意的是,第二波长范围大于第一波长范围;以及一透镜模块26,形成于第二滤光片24上。[0096]在部分矣施例中,光电转换单兀14可包括一光二极管photodiode。[0097]在部分实施例中,红外光滤光片I6d允许红外光穿透。[0098]在部分实施例中,透明材料层20的折射率可大体低于微透镜18与第一滤光片22的折射率。[00"]在部分实施例中,透明材料层20的折射率可大体低于1.3,例如大体低于二氧化硅的折射率。[0100]在部分实施例中,请参阅图8A,第一滤光片22所阻挡的红外光所具有的第一波长范围R1大体介于700nm〜800nm或700nm〜900舰。也就是,第一滤光片22选择性阻挡波长大体介于700咖〜S〇〇nm的红外光请参阅图8A中第一滤光片M所呈现的曲线22。图從显示有关第滤光片22与第一滤光片24其光波长咖与光穿透度transmittance%T的关系。^1〇1]在部分实施例中,第二滤光片24所允许穿透的可见光与红外光所具有的第二波长范围R2大体介于4〇〇nm〜900nm或400nm〜l,〇〇〇nm。也就是,第二滤光片24选择性允许波长大体介于400nm〜900nm的可见光与红外光穿透请参阅图8A中第二滤光片24所呈现的曲线24。值得注意的是,当第一滤光片22与第二滤光片24结合混成时,由于第二波长范围似大于第一波长范围R1,使得图中形成双带通dualbandpass的实施方式。[0102]在部分实施例中,第二滤光片24可由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,例如由具有高、低折射率交错组成的六层膜,包括24、2413、24;、24〇1、246以及24奸万构成,如图9所示,以及可由例如银、铝等的特定金属膜所构成。[0103]在部分实施例中,本公开影像感测器结构10还包括一第三滤光片3〇,阻挡红外光,形成于红色滤光片16a、绿色滤光片16b、蓝色滤光片16c与微透镜18的间。[0104]在部分实施例中,第三滤光片3〇阻挡波长大体85〇nm请参阅图8B中第三滤光片30所呈现的曲线30或940nm的红外光。图8B显示有关第三滤光片30其光波长nm与光穿透度transmittance%T的关系。[0105]在图9中,在影像感测器结构10中,由第一滤光片22与第二滤光片24所组成的混成双带通滤光片hybriddualbandpassfilter28是直接设置于结合第三滤光片30的感测器晶片上,且能截止具有特定波长(i.e.约700nm〜800nm、以及约850nm或940nm的红外光,以及仅允许具有特定波长(i.e.约400nm〜700nm的可见光穿透红色滤光片16a、绿色滤光片16b以及蓝色滤光片16c,有效消除红色滤光片16a、绿色滤光片16b、蓝色滤光片16c的红外光噪声。同样地,混成双带通滤光片28能允许具有特定波长(i•e.约850nm或940mn的红外光穿透上方未设置第三滤光片30的红外光滤光片16d。[0106]虽然本公开已以数个较佳实施例公开如上,然其并非用以限定本公开,任何所属技术领域中技术人员,在不脱离本公开的精神和范围内,当可作任意的变动与润饰,因此本公开的保护范围当视后附的权利要求所界定者为准。

权利要求:1.一种影像感测器结构,包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片以及蓝色滤光片;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光,形成于该透明材料层上;一第二滤光片,允许可见光穿透,形成于该第一滤光片上;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片上。2.如权利要求1所述的影像感测器结构,其中该透明材料层的折射率低于该微透镜与该第一滤光片的折射率,该透明材料层的折射率低于1.3。3.如权利要求1所述的影像感测器结构,其中该第一滤光片阻挡波长介于700nm〜800nm、7〇Onm〜9〇Onm、7〇Onm〜1,000nm或8〇Onm〜9〇Onm的红外光。4.如权利要求1所述的影像感测器结构,其中该第二滤光片由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,该第二滤光片允许波长介于400nm〜700nm的可见光穿透。5.—种影像感测器结构,包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片、蓝色滤光片以及红外光滤光片(infraredpassfilters;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一第一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光,形成于部分的该第一透明材料层上,露出对应所述多个红外光滤光片的部分的该第一透明材料层;一第二滤光片,允许可见光穿透,形成于该第一滤光片上,露出对应所述多个红外光滤光片的该部分的该第一透明材料层;一第二透明材料层,形成于对应所述多个红外光滤光片的该部分的该第一透明材料层上;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片与该第二透明材料层上。6.如权利要求5所述的影像感测器结构,其中该第一透明材料层的折射率低于该微透镜与该第一滤光片的折射率,该第一透明材料层的折射率低于1.3,其中该第一滤光片阻挡波长介于700nm〜800nm、700nm〜900nm、700nm〜1,000nm或800nm〜900nm的红外光,其中该第二滤光片由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成,该第二滤光片允许波长介于400nm〜700nm的可见光穿透。7.—种影像感测器结构,包括:一基板,具有多个光电转换单元,形成于该基板中;多个彩色滤光片,形成于该基板上,其中所述多个彩色滤光片分为红色滤光片、绿色滤光片、蓝色滤光片以及红外光滤光片;多个微透镜,对应形成于所述多个彩色滤光片上;一透明材料层,形成于所述多个微透镜上;一第一滤光片,阻挡红外光,形成于该透明材料层上其中-波长范围的红外光;、甲乂第V虑光片阻挡具有弟、-第二滤光片,允许可见光敏外光穿透,形成于该第—滤光片上,其中该第二滤光片允许具有-第二波长范围的可见光与红外光穿透,其中该第二波长范围大于该第一波长范围;以及一透镜模块,形成于该第二滤光片上。8.如权利要求7所述的影像感测器结构,其中该透明材料层的折射率低于该微透镜与该第一滤光片的折射率,该透明材料层的折射率低于1.3,其中该第一波长范围介于7〇〇nm〜8〇Onm或7〇Onm〜900nm,该第二波长范围介于400nm〜900nm或400nm〜1,000nm,其中该第二滤光片由具有高、低折射率交错组成的多层膜所构成。9.如权利要求7所述的影像感测器结构,还包括一第三滤光片,阻挡红外光,形成于所述多个红色滤光片、所述多个绿色滤光片、所述多个蓝色滤光片与该基板之间,或形成于所述多个红色滤光片、所述多个绿色滤光片、所述多个蓝色滤光片与所述多个微透镜之间。10.如权利要求9所述的影像感测器结构,其中该第三滤光片阻挡波长为85〇11111或94011111的红外光。

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