申请/专利权人：欧姆龙株式会社

申请日：2017-09-21

公开（公告）日：2020-05-22

公开（公告）号：CN108235575B

主分类号：H05K3/00(20060101)

分类号：H05K3/00(20060101);B65G15/22(20060101)

优先权：["20161214 JP 2016-242680"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.05.22#授权;2018.07.24#实质审查的生效;2018.06.29#公开

摘要：本发明提供一种例如在基板检查装置中不管检查对象的基板的尺寸如何都能够使基板停止在检查时的目标位置的技术。该基板检查装置具有：从基板检查装置的上游侧向下游侧输送基板K1的基板轨道21a、21b；和在基板轨道21a、21b的基板K1的输送方向的规定位置，以夹着基板K1的方式配置投光单元15a和光接收单元15b，基于从投光单元15a射出的检测光中被光接收单元15b接收到的光的量对基板K1的位置进行检测的机构。通过在被光接收单元15b接收到的接收光量变得比阈值小的情况下将基板轨道21a、21b停止而使基板K1停止在目标位置。而且，在投光单元15a与光接收单元15b之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大阈值。

主权项：1.一种停止装置，在制造工序或流通工序中使被输送的物品停止，其特征在于，具有：输送单元，其从所述装置的上游侧向下游侧输送所述物品；检测单元，其在所述输送单元的所述物品的输送方向上的规定位置，以在所述输送单元的宽度方向上夹着所述物品的方式配置射出单元和接受单元，并且基于从所述射出单元射出的电磁波或声波中被所述接受单元接受的电磁波或声波的量对所述物品的位置进行检测；以及停止单元，其通过在被所述接受单元接受的所述电磁波或声波的量变得比阈值小的情况下停止所述输送单元的输送，从而使所述物品停止在目标位置，在所述射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述阈值，所述阈值是基于相对于被所述接受单元接受的电磁波或声波的量的初始值的比率来定义的，在所述射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述比率，所述射出单元和所述接受单元被配置在相同的高度，并且以高度位置成为所述被输送的物品的厚度的范围内的方式进行配置，在所述物品的厚度的尺寸较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述阈值。

全文数据：停止装置及基板检查装置技术领域[0001]本发明涉及在制造工序或流通工序中使输送的物品停止的停止装置、以及具有该停止装置的用于进行电子电路板的检查的基板检查装置。背景技术[0002]在广品或部件等物品的制造工序或流通工序中进彳丁物品的各种检查、处理。例如，当考虑电子电路板的表面安装工序时，其由在印刷电路板的表面印刷焊膏的工序、在印刷电路板上安装电子部件的工序、通过回流焊炉将焊锡熔化来固接电子部件的工序等构成。而且，在先进的自动化生产线中，在各种工序之间配置基板检查装置来进行印刷电路板本身的不良、印刷不良、安装不良、焊接不良等的自动检查。尤其是通过用照相机对印刷电路板进行摄影并对所获得的图像进行解析来进行检查的类型的基板外观检查装置，由于其能够以非接触的方式进行高速且高精度的检查，所以被广泛地应用于各种检查。另外，在以下的说明书中有时将电子电路板、印刷电路板都简称为“基板”。[0003]在图10中示意性地示出了从上方观看基板检查装置内部的输送通道112的情况。输送通道112具有基板轨道130a、130b。而且，在基板轨道130a、130b分别设有输送带112a、112b。该2条输送带112a、112b—边分别支承基板KlOl的宽度方向的两端部，一边通过未图示的驱动装置的工作从上游侧例如图10的左侧）向下游侧右侧输送基板KlOl。[0004]在进行基板KlOl的检查时，首先，需要使基板KlOl本身停止在检查头未图示）能够迅速地移动到基板KlOl上的检查位置的位置处。因此，在如图10所示那样的输送通道112设置有透射型光纤传感器115,其利用光接收单元115b对从投光单元115a射出的检测光进行接收，根据接收光量被基板KlOl遮挡而减少来检测出基板的到达。另外，在图10中，投光单元115a被固定在基板轨道130b，光接收单元115b被固定在基板轨道130a。[0005]该投光单元115a和光接收单元115b通过光纤与光纤放大器115c连接。通过光纤放大器115c对从投光单元115a射出的检测光的光量进行控制，此外，在光接收单元115b中接收到的接收光量通过光纤放大器115c进行感测。进而，光纤放大器115c对感测的接收光量和预先设定的阈值进行比较，并输出其结果。[0006]在输送通道112中，在从投光单元115a射出的检测光被基板KlOl遮挡，通过光接收单元115b接收的接收光量变得比阈值小的情况下，输送带112a、112b的运转停止，基板KlOl停止。[0007]此处，在输送通道112中，投光单元115a被配置在基板KlOl的下侧，光接收单元115b被配置在基板KlOl的上侧。根据该结构，使从投光单元115a射出的检测光与基板KlOl的相交面积增加，更可靠地在基板KlOl到达时使检测光被基板KlOl遮挡。[0008]然而，基板KlOl的尺寸不是固定的，能够按产品采用各种尺寸。相对于此，在现有技术的基板检查装置中，有能够配合作为检查对象的基板KlOl的宽度而对通道的宽度进行调节的装置。在图I〇的例子中，输送通道112的基板轨道130a、130b能够在基板Kl01的宽度方向上移动。该基板轨道130a、130b能够通过例如滚珠丝杠等的移动机构（在图10中未图示而移动。即，通过配合输入到输送通道112的基板KlOl的宽度而对基板轨道130a、130b的位置进行调节，从而能够应对任意尺寸的基板。[0009]但是，在上述那样的基板检查装置中，当基板KlOl的宽度变宽时，由于投光单元115a与光接收单元115b之间的距离增加，所以即使在没有基板KlOl的状态下，从投光单元115a射出的检测光之中被光接收单元115b接收的接收光量也会减少。存在这使基板KlOl的停止精度降低的情况。[0010]在表1中示出在基板KlOl的宽度为用上述基板检查装置能够检查的范围的MAX、MAX2、MIN的情况下的被基板KlOl遮挡前的光接收单元115b的接收光量光纤放大器15c的传感器输出）的值（以下也将该值称为接收光量传感器输出）的初始值）与用于判断基板K101的到达的阈值的关系的例子。[0011][表1][0012][0013]如表1所示那样，在不管基板KlOl的宽度如何都使用了相同的阈值的情况下，由于接收光量传感器输出）的初始值与阈值的比率根据基板KlOl的宽度而变化，直到基板KlOl的到达导致传感器输出降低而变得比阈值小的时滞timelag根据基板KlOl的宽度而变化，存在基板KlOl的停止位置根据基板KlOl的大小而变化的情况。此外，在基板KlOl小的情况下，也可能产生当基板KlOl到达时传感器输出也不能完全降低到阈值，基板KlOl不停止的不良情况。对此，在通过增大阈值来进行应对的情况下，在基板KlOl大的情况下有时发生传感器输出的初始值小于阈值而变成错误的不良情况。[0014]现有技术文献[0015]专利文献[0016]专利文献1:日本特开2014-10082号公报。发明内容[0017]发明要解决的课题[0018]本发明是鉴于上述那样的状况而发明的，其目的在于提供一种在物品的制造工序或流通工序中，当为了对物品进行检查、处理或组装等而使其停止时，不管对象物品的尺寸如何都能够使其停止在相同的位置的技术。[0019]用于解决课题的方案[0020]用于解决上述课题的本发明可以是一种在制造工序或流通工序中使被输送的物品停止的停止装置，其特征在于，具有：[0021]输送单元，其从所述装置的上游侧向下游侧输送所述物品；[0022]检测单元，其在所述输送单元的所述物品的输送方向上的规定位置，以在所述输送单元的宽度方向上夹着所述物品的方式配置射出单元和接受单元，并且基于从所述射出单元射出的电磁波或声波中被所述接受单元接受的电磁波或声波的量对所述物品的位置进行检测；以及[0023]停止单元，其通过在被所述接受单元接受的所述电磁波或声波的量变得比阈值小的情况下停止所述输送单元的输送，从而使所述物品停止在目标位置，[0024]在所述射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述阈值。[0025]S卩，本发明涉及一种具有以下功能的停止装置:基于从射出单元射出的电磁波或声波中被接受单元接受的电磁波或声波的量对物品的位置进行检测，在被接受单元接受的电磁波或声波的量变得比阈值小的情况下，停止物品的输送。而且，在本发明中，在射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大用于停止输送单元的输送的阈值。这样，即使由于射出单元与接受单元之间的距离发生变化导致被接受单元接受的电磁波或声波的量发生了变化，也能够避免被接受单元接受的电磁波或声波的量与要比较的阈值的比率显著地变动的情况，在物品的检查、处理、组装等时，不管射出单元与接受单元之间的距离如何都能够更可靠地使物品停止在相同的位置。[0026]此外，在本发明中也可以为，所述阈值是基于相对于被所述接受单元接受的电磁波或声波的量的初始值的比率来定义的，[0027]在所述射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述比率。[0028]像上述那样，在物品的检查装置中进行物品的检查、处理、组装等时，物品是否停止在适当的位置，受到被接受单元接受的电磁波或声波的量的初始值与阈值的比率的影响。因此，在本发明中，由于在射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述比率，所以能够使对物品是否停止在适当的位置造成直接影响的因素最佳化。[0029]由此，在进行物品的检查、处理、组装等时，不管射出单元与接受单元之间的距离如何都能够更可靠地使物品停止在相同的位置。[0030]此外，在本发明中也可以为，还具有变更单元，其根据所述物品的尺寸来变更与所述物品的输送方向垂直的方向上的所述输送单元的宽度，[0031]所述射出单元和接受单元被固定在所述输送单元，并且所述射出单元与接受单元之间的距离随着所述输送单元的宽度的变更而变化。[0032]由此，在进行不同宽度的物品的检查、处理、组装等情况下，通过变更单元变更输送单元的宽度，即使在接受单元中接受的电磁波或声波的量发生了变化，也能够避免被接受单元接受的电磁波或声波的量与要比较的阈值的比率显著地变动的情况。结果在物品的检查、处理、组装等时，不管物品的宽度如何都能够更可靠地使物品停止在相同的位置。[0033]此外，在本发明中也可以为，所述射出单元和所述接受单元中的一方配置在被输送的所述物品的下侧，另一方配置在上侧。由此，在成为检查、处理或组装等的对象的物品到达了所述规定位置附近时，通过射出单元射出的电磁波或声波能够被该物品的更宽的面积的区域所遮挡，能够更可靠地使检查、处理、组装等的对象的物品停止在目标位置。[0034]此外，在本发明中也可以为，所述射出单元和所述接受单元被配置在相同高度，并且以高度位置成为所述被输送的物品的厚度的范围内的方式进行配置。由此，能够抑制从射出单元射出的电磁波或声波中被接受单元接受的电磁波或声波的量根据成为检查、处理、组装等的对象的物品的俯视时的形状而产生变化的情况。结果，能够抑制其停止位置根据成为检查、处理、组装等的对象的物品的俯视时的形状而产生变化的情况。[0035]此外，在上述情况下也可以为，在所述物品的厚度尺寸较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述阈值。由此，在成为检查、处理、组装等对象的物品的厚度薄的情况下，能够避免从射出单元射出的电磁波或声波中没有被成为检查、处理、组装等的对象的物品的侧面所遮挡而导致被接受单元接受的电磁波或声波的量增加，在基板到达时被接受单元接受的电磁波或声波的量难以变得比要比较的阈值小的情况，不管成为检查、处理、组装等的对象的物品的厚度如何都能够更可靠地使物品停止在相同的位置。[0036]此外，在本发明中，所述物品可以设为电子电路板。这样，在宽度、俯视时的形状、厚度等根据产品规格而产生各种变化的电子电路板的检查、处理、组装等的工序中，能够更可靠地使电子电路板停止在目标位置。[0037]此外，本发明也可以是一种基板检查装置，其具有上述的停止装置，在电子电路板的制造工序或流通工序中进行该电子电路板的检查。这样，在宽度、俯视时的形状、厚度等根据制品规格而产生各种变化的电子电路板的检查装置中，能够更可靠地使电子电路板停止在检查时的目标位置。[0038]另外，上述的用于解决上述课题的手段能够适当地组合来使用。[0039]发明效果[0040]根据本发明，在物品的制造工序或流通工序中，在为了检查、处理或组装等而使物品停止时，不管对象物品的尺寸如何都能够使其停止在相同的位置。附图说明[0041]图1是本发明的实施例1的基板检测装置的俯视图。[0042]图2是本发明的实施例1的基板检测装置的正视图及侧视图。[0043]图3是本发明的实施例1的基板检测装置的框图。[0044]图4是本发明的实施例1的基板检测装置的检查流程。[0045]图5是示出本发明的实施例1的基板检测装置中的用于使输送通道停止的机构的图。[0046]图6是本发明的实施例1的基板检测装置中的使输送通道停止的处理的流程图。[0047]图7是本发明的实施例2的基板检测装置中的使输送通道停止的处理的流程图。[0048]图8是用于对基板检测装置中的用于使输送通道停止的机构的不良情况进行说明的图。[0049]图9是示出本发明的实施例3的基板检测装置中的用于使输送通道停止的机构的图。[0050]图10是示出现有技术的基板检测装置中的用于使输送通道停止的机构的图。具体实施方式[0051][实施例1][0052]以下，一边参照附图一边对本发明的实施例进行说明。以下示出的实施例是本申请发明的一个方式，并不限定本申请发明的技术范围。另外，以下特别说明了将本发明应用于电子电路板的检查的例子，但成为本发明的对象的物品并不限于电子电路板，此外，停止的目的并不限于检查，能够将本发明应用于以各种处理、组装包含安装等为目的的停止装置。[0053]装置结构）[0054]在图1和图2中示意性地示出本实施例的基板检查装置1的结构。图1是装置的俯视图，图2a是装置的正视图，图2b是装置的侧视图。另外，在图1和图2中，为了便于说明，透视地示出了装置内部的结构，但实际的装置被壳体覆盖，不能够从外侧看到装置内部的结构，（从安全上的限制来看不能够容易地进入装置内部。[0055]该基板检查装置1是用照相机对成为检查对象的基板K1、K2进行摄影、通过对所获得的图像进行解析来进行基板Κ1、Κ2的各种检查的外观基板检查装置。例如，为了如下的目的而被使用：在表面安装生产线的印刷工序与安装工序之间对焊膏的印刷不良进行检查，在安装工序与回流焊工序之间对部件的安装不良进行检查，或者在回流焊工序的下游对焊接不良进行检查。[0056]如图1和图2所示，基板检查装置1具有在由主体框架10构成的水平工作台上设置有第1输送通道11和第2输送通道12这2条输送通道的结构。以下，将基板Κ1、Κ2的输送方向称为X方向，将在水平面内与X方向正交的方向称为Y方向，将竖直方向称为Z方向。第1输送通道11由具有输送带Ila的基板轨道21a和具有输送带Ilb的基板轨道21b构成。从上游装置输入的基板Kl在被2个输送带Ila、IIb支承Y方向的两端部的同时，向X方向的下游侧输送。此外，第2输送通道12也同样地由具有输送带12a的基板轨道22a和具有输送带12b的基板轨道22b构成。从上游装置输入的基板K2在被2个输送带12a、12b支承Y方向的两端部的同时，向X方向的下游侧输送。[0057]在设置有输送通道11、12的水平工作台的上方配置有检查头13。检查头13构成为具有用于在摄影时对基板K1、K2进行照射的照明设备13a、光学系统13b、以及照相机13c。检查头13的结构只要根据检查的种类、目的来进行适当设计即可。例如，在进行被称为所谓的彩色高亮度方式colorhighlight-type的检查的情况下，只要使用由RGB三色的环状光源构成的照明设备13a和能够进行彩色摄影的照相机13c即可。检查头13被安装在能够进行X方向和Y方向的2轴控制的头移动机构31。[0058]在本实施例中，由于在一个基板内有多处的检查对象部位部件）的情况较多，所以在检查时头移动机构31使检查头13移动到检查对象部位被容纳在视角内的摄影位置。各摄影位置的坐标信息是按基板Kl、K2的种类被预先设定的。另外，由于本实施例的基板检查装置1是2个通道、1个照相机的结构，所以使1个检查头13在2个输送通道11、12之间往复来进行2个基板Κ1、Κ2的检查。装置结构不限于此，也可以按每条输送通道设置检查头，也可以设置3条以上的输送通道。另外，在上述中，基板轨道21、2113、22、2213、以及输送带11、lib、12a、12b相当于本发明的输送单元。[0059]图3是基板检查装置1的框图。第1输送轨道轴30a〜第4输送轨道轴30d分别是用于变更基板轨道21、2113、22、2213的¥方向位置的移动机构30，如上所述，例如能够由滚珠丝杠等的致动器构成。X轴31a、Y轴31b是构成用于使检查头13在X方向、Y方向移动的头移动机构31的致动器，其也能够由滚珠丝杠等构成。第1基板输送轴32a是用于使第1输送通道11的输送带11a、Ilb转动的机构，第2基板输送轴32b是用于使第2输送通道12的输送带12a、12b转动的机构。[0060]控制部33是用于对基板检查装置1的各部分进行统一控制的微处理器单元，例如构成为包含PLC可编程逻辑控制器等。控制部33具有作为用于对上述的各机构致动器）的驱动进行控制的轴控制部33a的功能、和作为用于对检查头13的照明设备13a及照相机13c的驱动进行控制的拍摄、照明点亮控制部33b的功能。还具有作为传感器控制部33c的功能，该传感器控制部33c用于经由传感器通信单元15d后述取得来自光纤放大器15c的信息，并且对光纤放大器15c的工作进行控制。PC34和操作监视器35是用于操作者对基板检查装置1输入操作指示、或者进行各种设定的装置。PC34和操作监视器35可以与基板检查装置1一体构成，也可以由与基板检查装置1分体的个人电脑例如移动PC、平板型终端、智能手机等构成。另外，在上述中，轴控制部33a和具有第1输送轨道轴30a〜第4输送轨道轴30d的移动机构30构成本发明的变更单元。[0061]检查流程）[0062]在图4中示出基板检查装置1的检查流程的一个例子。当基板检查装置1开始检查时，控制部33对第1基板输送轴32a进行驱动，向第1输送通道11输入基板KlS41。然后，如果基板Kl被输送到检查时的目标位置，控制部33停止第1基板输送轴32a的驱动（S42。此时，在控制部33中，对由光纤放大器15c取得的光接收单元15b的接收光量进行监视，在该接收光量变得比阈值小的情况下，停止第1基板输送轴32a的驱动。接着，控制部33对头移动机构31的X轴31a和Y轴31b进行驱动，使检查头13移动到基板Kl上的规定的摄影位置S43。[0063]然后，进行照明设备13a的点亮、照相机13c的拍摄，将图像数据导入PC34,使用PC34进行图像数据的解析，进行基板Kl的良不良的检查S44。当检查结束时，控制部33对基板输送轴I32a进行驱动而输出基板KlS45。在2个输送通道11、12中交替地进行检查的情况下，只要对第2输送通道12上的基板K2执行S41至S45的处理即可。更优选的是，可以利用对一条输送通道的基板进行检查S43〜S44的处理）的时间，来进行另一条输送通道的基板的输送S41〜S42、S45的处理）。通过像这样并行地进行处理，能够缩短每1个基板的检查节拍时间（处理时间）。[0064]在图5中示出本实施例的包含透射型光纤传感器15的用于使输送通道11停止的机构。在下述中，特别对输送通道11进行说明，但该说明也能够改变符号直接应用于输送通道12。在图5中，图5a是输送通道11的俯视图，图5b是从基板Kl的行进方向观看输送通道11的侧视图。在图5中，15a是投光单元，15b是光接收单元。在图5所示的机构中，基板Kl在输送通道11中向箭头方向被输送而遮挡从投光单元15a射出的检测光，在光接收单元15b的接收光量变得比阈值小的情况下，使第1基板输送轴32b停止从而使基板Kl停止。[0065]此处，在输送通道11中，投光单元15a也位于基板Kl的下侧，光接收单元15b也位于基板Kl的上侧。根据该结构，使从投光单元15a射出的检测光与基板Kl的相交面积增加，更可靠地使检测光被基板Kl遮挡。[0066]而且，在本实施例中，构成为在透射型光纤传感器15的光纤放大器15c结合传感器通信单元15d，能够与控制部33的特别是传感器控制部33c进行通信。由此，根据来自传感器控制部33c的指令，动态地变更用于判断基板Kl的停止的阈值。[0067]在表2中示出本实施例中的在基板Kl的宽度为用基板检查装置1能够检查的范围的MAX、MAX2、MIN的情况下的光接收单元15b的接收光量传感器输出）的初始值与阈值的关系的例子。[0068][表2][0069][0070]在本实施例中，如表2所示，按照基板Kl的宽度，在基板Kl的宽度大、接收光量传感器输出）小的情况下阈值也减小，在基板Kl的宽度小、接收光量传感器输出）大的情况下阈值也增大。由此，能够使接收光量传感器输出）降低直到变得比阈值小的时滞与基板Kl的宽度无关而成为相同，能够降低基板Kl的停止偏差、使停止精确度提高。此外，能够抑制接收光量传感器输出）的初始值小于阈值而成为错误的不良情况。[0071]另外，在上述中，投光单元15a相当于本发明的射出单元，光接收单元15b相当于接受单元。此外，包含投光单元15a、光接收单元15b、以及光纤放大器15c的透射型光纤传感器15构成本发明的检测单元。进而，轴控制部33a、第1基板输送轴32a、第2基板输送轴32b、以及传感器控制部33c构成本发明的停止单元。[0072]在图6中示出进行本实施例的控制时的流程图。当本实施例的控制开始时，在S101中，成为等待来自操作者的基板宽度值的输入的状态。此处，当由操作者输入基板Kl的宽度时，进入S102。在S102中，通过移动机构30的第1输送轨道轴30a和第2输送轨道轴30b来移动基板轨道21a、21b和输送带11a、11b，使其距离与基板Kl的宽度匹配。此外，与S102的处理并行地，在S103中确定与基板Kl的宽度对应的阈值。该阈值也可以以如下方式来决定:通过在例如PC34的存储器中预先存储了包含基板的宽度值与阈值的关系的表，从该表中读出与在SlOl中输入的基板Kl的宽度对应的阈值。当S103的处理结束时进入S104。[0073]在S104中，将在S103中所确定的阈值的值写入到Log。当在S104中阈值的值被写入至IjLog时，在S105中该值被发送到作为传感器控制部33c的PLC。于是，在S106中进一步从作为传感器控制部33c的PLC向光纤放大器15c发送阈值，在光纤放大器15c写入阈值。由此，与光接收单元15b接收到的接收光量进行比较的阈值被更新来作为对于基板Kl的宽度最适合的值。[0074]如上所述，在本实施例中，使用于与透射型光纤传感器15检测的检测光的接收光量传感器输出）相比较来判断基板到达的阈值根据基板的宽度而变化，设为最适合的值。由此，能够抑制由于到透射型光纤传感器15的传感器输出变得比阈值小的时滞根据基板的宽度而不同，导致基板的停止位置不同、基板不停止等的不良情况。[0075][实施例2][0076]接着，对本发明的实施例2进行说明。在本实施例中，对以下例子进行说明：在使基板的宽度变化时，将用于与透射型光纤传感器检测的检测光的接收光量传感器输出）相比较来判断基板到达的阈值确定为相对于在透射型光纤传感器中检测的检测光的接收光量传感器输出）的比率，进而根据基板的宽度使该比率产生变化。[0077]在图7中示出本实施例的处理的流程图。关于与图6所示的处理相同的处理，标记相同的符号，省略或简化说明。在SlO1中输入了基板Kl的宽度后，在S201中判定被输入的基板Kl的宽度是否大于O且为330以下。此处，330这个数值可以是实际的基板的尺寸，也可以是与实际的基板的尺寸唯一地关联的数值，但预先确定为期望以该宽度为界限来变更阈值的比率的基板Kl的宽度。在S201中判定为基板Kl的宽度为大于0且在330以下（在S201中为“是”）的情况下，进入S203。另一方面，在判定为基板Kl的宽度大于330的情况下（在S201中为“否”）进入S204。[0078]此外，与S201的处理并行地，在S102中通过移动机构30使基板轨道21a、21b和输送带lla、llb的距离与基板Kl的宽度匹配，然后进入S202,实际在透射型光纤传感器15中，通过光接收单元15b接收从投光单元15a射出的检测光，通过光纤放大器15c对该接收光量进行感测测量）。[0079]在S203中，将阈值设定为在S201中感测到的接收光量传感器输出）的96%的值。另一方面，在S204中，将阈值设定为在S201中感测到的接收光量传感器输出）的90%的值。当S203或S204的处理结束时进入S104。由于其以后的处理与实施例1相同，所以此处省略说明。另外，在图7的例子中，例如在S202中感测到的接收光量传感器输出）为6000的情况下，在S203中所确定的阈值为5760，在S204中所确定的阈值为5400。[0080]像以上说明的那样，在本实施例中，基于相对于实际的检测光的接收光量传感器输出）的初始值的比率而对阈值进行定义，根据基板的宽度对该比率进行变更，所述阈值用于与透射型光纤传感器检测到的接收光量传感器输出）相比较来判断基板的到达。更具体而言，在基板Kl的宽度窄的情况下设为更高的比率，在基板Kl的宽度宽的情况下设为更低的比率。由此，在基板的宽度更窄、在透射型光纤传感器15中检测到的接收光量传感器输出）大的情况下，通过相对地增大阈值，能够抑制在基板到达时接收光量传感器输出）没有充分降低而导致基板的停止延迟、基板不停止等的不良情况。[0081][实施例3][0082]接着，对本发明的实施例3进行说明。在实施例3中，对假设在基板的一部分有缺口的情况下与基板的宽度方向平行地配置了透射型光纤传感器15的投光单元15a和光接收单元15b的例子进行说明。[0083]在图8中示出关于在基板的一部分有缺口的情况下的输送通道11的概略图。图8a是输送通道11的俯视图，图8b是从基板Kl的行进方向侧观看输送通道11的侧视图。在像这样在基板Kl有缺口的情况下，在投光单元15a如图8所示那样在输送通道11中位于基板K的下侧，光接收单元15b位于基板K的上侧的情况下，从投光单元15a射出的检测光会在缺口穿过，可能产生如下的不良情况：即使基板Kl到达了检查时的目标位置，接收光量传感器输出）也没有充分地降低，没有变得比阈值小。[0084]相对于此，在本实施例中采用如下结构：如图9所示，以与基板K1的宽度方向平行的方式在基板Kl的厚度的范围内配置投光单元15a和光接收单元15b，来自投光单元15a的检测光被基板的厚度遮挡。[0085]由此，能够构成为即使在基板Kl有缺口等的情况下，在基板K到达检查时的目标位置时，从投光单元15a射出的检测光更可靠地被基板Kl遮挡。结果，不管基板的俯视的形状如何都能够抑制基板的停止延迟、基板不停止等的不良情况。[0086][实施例4][0087]接着，对本发明的实施例4进行说明。在本实施例中对如下例子进行说明：透射型光纤传感器的结构与上述的实施例3中示出的结构相同，根据基板的厚度来变更用于与透射型光纤传感器检测的检测光的接收光量传感器输出）相比较来判断基板到达的阈值。[0088]此处，特别是在基板Kl的厚度薄的情况下，与基板Kl的厚度厚的情况相比，基板Kl到达了检查时的目标位置时的检测光的接收光量传感器输出）大，有时没有变得比阈值小而导致基板Kl不停止，或者直到变得比阈值小的时滞变大，相对于基板Kl的厚度厚的情况，基板Kl的停止位置发生变化。对此，在通过增大阈值来进行应对的情况下，在基板Kl的厚度厚的情况下，有时发生检测光的接收光量传感器输出）的初始值小于阈值而变成错误的不良情况。[0089]相对于此，在本实施例中，如表3所示，除了基板Kl的宽度之外，还根据基板Kl的厚度来变更阈值，该阈值用于与透射型光纤传感器检测的检测光的接收光量传感器输出）相比较来判断基板到达。[0090]在表3中示出本实施例中的在基板Kl的宽度为用基板检查装置1能够检查的范围的MAX、MAX2、MIN的情况下的光接收单元15b的接收光量传感器输出）的初始值与阈值的关系的例子。[0091][表3][0092][0093]在本实施例中，如表3所示，以基板Kl的厚度越厚而将阈值相对地设定得越小的方式进行了变更。即，在基板Kl的厚度薄的情况下，由于可以认为在基板Kl到达了检查时的目标位置的情况下，检测光也没有被基板Kl遮挡而由光接收单元15b接收的检测光的接收光量传感器输出）增加，所以与之相应地增大阈值。[0094]由此，在基板Kl有缺口等的情况下，也能够抑制根据基板Kl的厚度导致基板Kl不停止、基板Kl的停止位置发生变化等的不良情况。结果，能够以更高精度使基板Kl停止，并且能够减少基板Kl的厚度的影响。[0095]另外，在上述的实施例中，以电子电路板的检查装置为例进行了说明，但本发明的检查装置也可以是其它物品的检查装置。例如，可以是替代基板而对其它产品、部件直接进行输送、停止以及检查的装置，也可以是在JEDEC托盘等的托盘或夹具装载了产品、部件的状态下进行输送、停止以及检查的装置。在前者的情况下，从投光单元射出的检测光也可以是被产品、部件本身遮挡，在后者的情况下，从投光单元射出的检测光也可以是被装载有产品、部件的托盘或夹具遮挡。[0096]此外，在上述的实施例中，为了对物品到达了检查时的目标位置的情况进行检测，使用了从投光单元射出的检测光，但本发明也可以应用于使用光以外的手段的检查装置。例如，也可以是替代光而使用波长长的电磁波、声波的装置。[0097]进而，在上述的实施例中，阈值被定义为与光接收单元接收到的检测光的接收光量直接进行比较的值，但只要实质上能够判断接收光量的减少程度，就可以进行其它的定义。例如，也可以定义为与基板到达了检查时的目标位置时的接收光量的减少率、或变化率进行比较的阈值。在该情况下，投光单元和光接收单元之间的距离的大小与阈值的大小的关系只要在不脱离技术思想的范围内进行适当变更即可。[0098]附图标记说明[0099]1:基板检查装置；[0100]10:主体框架；[0101]11:第1输送通道；[0102]lla、llb:输送带；[0103]12:第2输送通道；[0104]12a、12b:输送带；[0105]13:检查头；[0106]15:透射型光纤传感器；[0107]15a:投光单元；[0108]15b:光接收单元；[0109]15c:光纤放大器；[0110]15d:传感器通信单元；[0111]21a、21b:基板轨道；[0112]22a、22b:基板轨道；[0113]30:移动机构；[0114]31:头移动机构；[0115]33:控制部；[0116]K1、K2:基板。

权利要求：1.一种停止装置，在制造工序或流通工序中使被输送的物品停止，其特征在于，具有：输送单元，其从所述装置的上游侧向下游侧输送所述物品；检测单元，其在所述输送单元的所述物品的输送方向上的规定位置，以在所述输送单元的宽度方向上夹着所述物品的方式配置射出单元和接受单元，并且基于从所述射出单元射出的电磁波或声波中被所述接受单元接受的电磁波或声波的量对所述物品的位置进行检测；以及停止单元，其通过在被所述接受单元接受的所述电磁波或声波的量变得比阈值小的情况下停止所述输送单元的输送，从而使所述物品停止在目标位置，在所述射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述阈值。2.如权利要求1所述的停止装置，其特征在于，所述阈值是基于相对于被所述接受单元接受的电磁波或声波的量的初始值的比率来定义的，在所述射出单元与接受单元之间的距离较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述比率。3.如权利要求1或2所述的停止装置，其特征在于，还具有变更单元，其根据所述物品的尺寸来变更与所述物品的输送方向垂直的方向上的所述输送单元的宽度，所述射出单元和接受单元被固定在所述输送单元，并且所述射出单元与接受单元之间的距离随着所述输送单元的宽度的变更而变化。4.如权利要求1所述的停止装置，其特征在于，所述射出单元和所述接受单元中的一方配置在被输送的所述物品的下侧，另一方配置在上侧。5.如权利要求1所述的停止装置，其特征在于，所述射出单元和所述接受单元被配置在相同的高度，并且以高度位置成为所述被输送的物品的厚度的范围内的方式进行配置。6.如权利要求5所述的停止装置，其特征在于，在所述物品的厚度的尺寸较小的情况下，与较大的情况相比，增大所述阈值。7.如权利要求5所述的停止装置，其特征在于，所述物品为电子电路板。8.—种基板检查装置，其具有权利要求7所述的停止装置，在电子电路板的制造工序或流通工序中进行该电子电路板的检查。

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