买专利,只认龙图腾
首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

【实用新型】扩散炉结构_江苏能华微电子科技发展有限公司_201921801104.7 

申请/专利权人:江苏能华微电子科技发展有限公司

申请日:2019-10-24

公开(公告)日:2020-05-22

公开(公告)号:CN210602790U

主分类号:F27B17/00(20060101)

分类号:F27B17/00(20060101);C30B33/02(20060101);C30B31/00(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.05.22#授权

摘要:本实用新型涉及一种扩散炉结构,包括一端封闭、另一端敞开的石英管、与石英管敞开一端相连接的密封组件,密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈,第一连接件固定套设在石英管上,第二连接件与第一连接件相连接,第三连接件与第二连接件相连接,第一密封圈同时位于石英管、第一连接件以及第二连接件之间,第二密封圈位于第二连接件、第三连接件之间,第三连接件形成炉门。本实用新型在提高了石英管直径的情况下,保证了炉体的密封性,清洗效果好,成本低,适用范围广,还可以对半导体晶片完成扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,解决了闭管扩散要求,同时避免了有毒气体的泄露污染环境危害操作人员。

主权项:1.一种扩散炉结构,包括石英管,其特征在于:所述的石英管的一端封闭、另一端敞开,所述的扩散炉结构还包括与所述的石英管敞开一端相连接的密封组件,所述的密封组件包括第一连接件、第二连接件、第三连接件、第一密封圈以及第二密封圈,所述的第一连接件固定套设在所述的石英管上,所述的第二连接件与所述的第一连接件相连接,所述的第三连接件与所述的第二连接件相连接,所述的第一密封圈同时位于所述的石英管、第一连接件以及第二连接件之间,所述的第二密封圈位于所述的第二连接件、第三连接件之间,所述的第三连接件形成炉门。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏能华微电子科技发展有限公司 扩散炉结构

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。