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【发明公布】检测装置_美蓓亚三美株式会社_201911127599.4 

申请/专利权人:美蓓亚三美株式会社

申请日:2019-11-18

公开(公告)日:2020-05-26

公开(公告)号:CN111198216A

主分类号:G01N27/22(20060101)

分类号:G01N27/22(20060101)

优先权:["20181116 JP 2018-215855"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2021.10.15#实质审查的生效;2020.05.26#公开

摘要:本发明提供一种检测装置,其目的是提高制造时的成品率。该检测装置具有:半导体基板;检测部,其设置在上述半导体基板的上方,输出与物理量对应的信号;静电放电保护电路,其在上述半导体基板上由MOS晶体管构成;以及虚设图案,其在上述半导体基板上,由与上述静电放电保护电路所包含的栅极电极同样的材料形成。

主权项:1.一种检测装置,其特征在于,具有:半导体基板;检测部,其设置在上述半导体基板的上方,输出与物理量对应的信号;静电放电保护电路,其在上述半导体基板上由MOS晶体管构成;以及虚设图案,其在上述半导体基板上,由与上述静电放电保护电路所包含的栅极电极同样的材料形成。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 美蓓亚三美株式会社 检测装置

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