申请/专利权人：住友重机械工业株式会社

申请日：2019-10-17

公开（公告）日：2020-05-26

公开（公告）号：CN111200354A

主分类号：H02M1/32(20070101)

分类号：H02M1/32(20070101);H02M7/5387(20070101);H02M5/16(20060101);H01S3/097(20060101)

优先权：["20181119 JP 2018-216527"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2024.04.19#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.06.19#实质审查的生效;2020.05.26#公开

摘要：本发明提供一种提高了可靠性的激光装置。高频电源400向包括一对放电电极202、204的电容的谐振电路210施加高频电压VRF。过电压抑制电路500抑制谐振电路210的两端之间的过电压。若异常检测器600检测到异常，则停止来自高频电源400的高频电压VRF的施加。

主权项：1.一种电源装置，其驱动包括一对放电电极的激光谐振腔，所述电源装置的特征在于，具备：高频电源，向包括所述一对放电电极的电容的谐振电路施加高频电压；过电压抑制电路，抑制所述谐振电路的两端之间或者所述高频电源的内部节点的过电压；开关，与所述过电压抑制电路串联连接；及异常检测器，若检测到异常则使所述开关导通。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 住友重机械工业株式会社 激光装置用的电源装置

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