申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2018-10-30

公开（公告）日：2020-06-19

公开（公告）号：CN111316402A

主分类号：H01L21/304(20060101)

分类号：H01L21/304(20060101);H01L21/027(20060101)

优先权：["20171108 JP 2017-215295"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要：通过将溶剂阀关闭，而将通过了溶剂阀的IPA中的最先通过溶剂阀的IPA以外的IPA保持于前端流路内。通过开启溶剂阀，而利用通过了溶剂阀的IPA将预先保持于前端流路内的IPA向下游推送，由此使喷出口仅将该IPA朝向基板喷出。通过关闭溶剂阀，而将此时通过了溶剂阀的IPA全部保持于前端流路内。

主权项：1.一种基板处理方法，通过基板处理装置执行，该基板处理装置具备：基板保持单元，其水平地保持基板；喷出口，其喷出对所述基板进行处理的处理液；喷出阀，其在使处理液通过所述喷出口的开状态与堵住朝向所述喷出口侧流动的处理液的闭状态之间开闭；以及前端流路，其包括与所述喷出阀连接的上游端和与所述喷出口连接的下游端，并从所述喷出阀延伸到所述喷出口，所述基板处理方法的特征在于，包括以下工序：处理液流入工序，通过开启所述喷出阀，使所述处理液通过所述喷出阀，使通过了所述喷出阀的所述处理液流入到所述前端流路；处理液保持工序，通过关闭所述喷出阀，将在所述处理液流入工序中通过了所述喷出阀的所述处理液中的最先通过所述喷出阀的所述处理液以外的所述处理液保持于所述前端流路内；供给执行工序，通过开启所述喷出阀，使所述处理液通过所述喷出阀，利用通过了所述喷出阀的所述处理液，将在所述处理液保持工序中保持于所述前端流路内的所述处理液向下游推送，由此使所述喷出口朝向被所述基板保持单元水平地保持的所述基板仅喷出在所述处理液保持工序中保持于所述前端流路内的所述处理液；以及供给停止工序，通过关闭所述喷出阀，将在所述供给执行工序中通过了所述喷出阀的所述处理液全部保持于所述前端流路内。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理方法及基板处理装置

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