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【发明公布】一种CVD设备_深圳市纳设智能装备有限公司_201911232135.X 

申请/专利权人:深圳市纳设智能装备有限公司

申请日:2019-12-05

公开(公告)日:2020-06-19

公开(公告)号:CN111304638A

主分类号:C23C16/505(20060101)

分类号:C23C16/505(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.03.18#授权;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开

摘要:本发明属于化学气相沉积技术领域,具体涉及一种CVD设备,包括射频组件及反应腔室组件,其中,所述射频组件包括射频发生器及射频转换器,所述反应腔室组件包括上盖板及下腔体,所述上盖板上贯穿有上排气孔,所述下腔体设置有下出气口,所述上盖板及下腔体构成的腔室内设置有喷淋板及加热盘,所述射频组件分别与喷淋板及加热盘电连接。本发明所提供的CVD设备,带有射频转换器,同时在上盖板设置上排气孔,在下腔体设置下出气口,在薄膜形成后控制射频转换器进行电极转换,使等离子体的加速方向发生改变,同时控制上盖板的上排气孔打开,以抽走多余的等离子体,进而减少多余的等离子体落到薄膜上的几率,从而提高了薄膜质量。

主权项:1.一种CVD设备,其特征在于,包括射频组件及反应腔室组件,其中,所述射频组件包括射频发生器及射频转换器,所述反应腔室组件包括上盖板及下腔体,所述上盖板上贯穿有上排气孔,所述下腔体设置有下出气口,所述上盖板及下腔体构成的腔室内设置有喷淋板及加热盘,所述射频组件分别与喷淋板及加热盘电连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市纳设智能装备有限公司 一种CVD设备

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