申请/专利权人：致茂电子股份有限公司

申请日：2016-10-24

公开（公告）日：2020-06-19

公开（公告）号：CN107976452B

主分类号：G01N21/95(20060101)

分类号：G01N21/95(20060101);G01N21/01(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.19#授权;2018.05.25#实质审查的生效;2018.05.01#公开

摘要：一种检测设备，包含基座、环形工艺、水平调整组件、支撑环体、第一影像撷取装置及第二影像撷取装置。环形工艺设置于基座。环形工艺用以固定一待测物。水平调整组件包含固定座、活动座及水平调整件。固定座固定于基座并位于环形工艺下方。活动座通过水平调整件锁附于固定座。支撑环体固定于活动座。支撑环体用以支撑待测物。第一影像撷取装置与第二影像撷取装置分别固定于环形工艺上方与下方。第二影像撷取装置通过支撑环体朝向第一影像撷取装置。其中，至少一个水平调整件可相对固定座转动，以调整活动座的水平。

主权项：1.一种检测设备，其特征在于，包含：一基座；一环形工艺，能够活动地设置于该基座，该环形工艺用以固定一待测物；一水平调整组件，包含一固定座、一活动座及至少三个水平调整件，该固定座固定于该基座并位于该环形工艺下方，该活动座通过该至少三个水平调整件锁附于该固定座；一支撑环体，固定于该活动座，该支撑环体远离该活动座的一侧用以支撑该待测物，并具有一透光口；一第一影像撷取装置，固定于该环形工艺上方；以及一第二影像撷取装置，固定于该环形工艺下方，该第二影像撷取装置通过该支撑环体的该透光口朝向该第一影像撷取装置；一光源，用以发出一光线，且该光线朝该透光口射出；其中，该至少三个水平调整件的至少之一能够相对该固定座转动，以调整该活动座的水平。

全文数据：检测设备技术领域[0001]本发明涉及一种检测设备，特别涉及一种双检测镜头的检测设备。背景技术[0002]在一般的半导体工艺中，当晶圆表面形成多个芯片后，通常会继续对芯片进行点测、检测与分类等工艺。其中，检测工艺主要是利用检测镜头来扫描芯片，并依据撷取到的影像来判断芯片本身是否存在有缺陷。[0003]晶圆检测依需求分为单向检测及双向检测。单向检测的部分是将晶圆平放于承载平台上，且通过位于晶圆上方的检测镜头来撷取晶圆上表面的影像。由于晶圆整面皆受到承载平台的支撑，故晶圆呈平坦而不会影响到检测品质。双向检测的部分为通过工艺夹住晶圆的外缘，且通过位于晶圆上下两侧的检测镜头来分别撷取晶圆上、下表面的影像。由于晶圆仅外缘受到支撑，中央处并未受到支撑，故晶圆的中央处会略为下凹，使得晶圆不再呈平坦而会影响检测品质。因此，如何避免晶圆不平坦而影响检测品质的状况发生，则为研发人员应解决的问题之一。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种检测设备，藉以解决现有双向检测时，晶圆不再呈平坦而会影响检测品质的问题。[0005]本发明的一实施例所揭露的检测设备包含一基座、一环形工艺、一水平调整组件、一支撑环体、一第一影像撷取装置及一第二影像撷取装置。环形工艺可活动地设置于基座。环形工乙用以固定一待测物。水平调整组件包含一•固定座、一活动座及至少三个水平调整件。固定座固定于基座并位于环形工艺下方。活动座通过至少三个水平调整件锁附于固定座。支撑环体固定于活动座。支撑环体远离活动座的一侧用以支撑待测物，并具有一透光口。第一影像撷取装置固定于环形工艺上方。第二影像撷取装置固定于环形工艺下方。第二影像撷取装置通过支撑环体的透光口朝向第一影像撷取装置。其中，至少三个水平调整件的至少一可相对固定座转动，以调整活动座的水平。[0006]根据上述实施例的检测设备，通过三个水平调整件来调整活动座与支撑环体的水平，而至少有一个水平调整件通过锁合的方式来调整活动座与固定座的位置关系，以在使用最少元件与占据最小空间的情况下调整活动座与支撑环体的水平。[0007]以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。附图说明[0008]图1为根据本发明第一实施例所述的检测设备的前视示意图；[0009]图2为图1的水平调整组件与支撑环体的立体示意图；[0010]图3为图2的分解示意图；’[0011]图4为图2的俯视示意图；[0012]图5为沿图4的5-5割面线所绘示的剖视示意图；[0013]图6为图1的检测设备的使用示意图；[00M]图7为根据本发明第二实施例所述的支撑环体的剖视示意图。[0015]其中，附图标记[0016]10检测设备[0017]1〇〇基座[0018]200旋转台[0019]300环形工艺[0020]400水平调整组件[0021]410固定座[0022]420活动座[0023]43〇a第一水平调整件[0024]430al第一固定螺栓[0025]430a2弹性件[0026]430b第二水平调整件[0027]43〇bl第二固定螺栓[0028]430b2第一万向接头[0029]430b3第二万向接头[0030]500支撑环体[0031]510集光段[0032]511第一侧[0033]512第二侧[0034]520支撑段[0035]521透光口[0036]600第一影像擷取装置[0037]700第二影像擷取装置[0038]800组装环体[0039]810装设斜面[0040]850光源[0041]910限位板件[0042]911第一开孔[0043]912第二开孔[0044]920结合件具体实施方式[0045]下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：[0046]请参阅图1至图5。图1为根据本发明第一实施例所述的检测设备的前视示意图。图2为图1的水平调整组件与支撑环体的立体示意图。图3为图2的分解示意图。图4为图2的俯视示意图。图5为沿图4的5-5割面线所绘示的剖视示意图。[0047]本实施例的检测设备10包含一基座100、一旋转台2〇〇、一环形工艺300、一水平调整组件400、一支撑环体5〇〇、一第一影像擷取装置6〇〇、一第二影像撷取装置700、一组装环体800、一光源850、二限位板件910及多个结合件920。[0048]旋转台200可旋转地设于基座1〇〇。此外，旋转台2〇〇可通过直线驱动设备相对基座100单维度或双维度的滑移。[0049]环形工艺300固定于旋转台200,使得环形工艺300可活动地设置于基座100。环形工艺300用以固定一待测物，待测物例如为晶圆。此外，在本实施例中，环形工艺300例如是通过夹具（未绘式）固定于旋转台200，使得环形工艺300便于固定于旋转台200或自旋转台200取下。[0050]水平调整组件400包含一固定座410、一活动座420及三个水平调整件430a、430b。固定座410固定于基座1〇〇并位于环形工艺300下方，活动座42〇通过至少三个水平调整件430a、43〇b锁附于固定座410。[0051]在本实施例中，三个水平调整件430a、430b包含二个第一水平调整件430a与一个第二水平调整件430b。每一第一水平调整件430a包含一第一固定螺栓430al及一弹性件430a2。第一固定螺栓430al穿设活动座420并锁合于固定座410。弹性件430a2例如为压缩弹簧，并夹设于固定座410与活动座42〇之间。第二水平调整件430b包含一第二固定螺栓430bl、一第一万向接头4：3〇b2及一第二万向接头430b3。第二固定螺栓430M穿设活动座420并锁合于固定座410。第一万向接头430b2固定于第二固定螺栓430bl。第二万向接头430b3固定于活动座420并可转动地连接于第一万向接头430b2。[OO52]在本实施例中，二个第一水平调整件43〇a位于活动座420的同一侧，第二水平调整件430b位于活动座420的相对一侧。二第一水平调整件43〇a的第一固定螺栓430al可相对固定座410转动而转紧或转松。当二第一水平调整件430的第一固定螺栓430al相对变松时，活动座420的一侧会以第二水平调整件43〇b的第一万向接头430b2为支点，活动座420的另一侧会受到弹性件430a2的支撑而提高水平高度。反之，当二第一水平调整件430a的第一固定螺栓43〇al相对变紧时，活动座“0的一侧会以第二水平调整件430b的第一万向接头430b2为支点，活动座420的另一侧会受到第一固定螺栓430al的抵压而降低水平高度。如此一来，可通过二第一水平调整件430a的第一固定螺栓430al的松紧度来调整活动座420的水平倾斜程度。[0053]值得注意的是，本实施例所揭露第一水平调整件430a、430b并非用以限制本发明，在其他实施例中，亦可通过其他形式的水平调整件来调整活动座420的水平倾斜程度。其他形式的水平调整件例如为相螺合的螺栓与螺帽，螺栓穿设活动座并锁附于固定座，螺帽枢设于活动座并螺合于螺栓。如此一来，当使用者转动螺帽时，即可调整活动座420的水平高度。[0054]此外，在本实施例中，水平调整件的数量为三个，但并不以此为限，在其他实施例中，亦可以为四个以上。[0055]支撑环体500通过组装环体8〇〇固定于活动座420。详细来说，支撑环体500包含一集光段510及一支撑段52〇。集光段510具有相对的一第一侧511及一第二侧512。集光段510的第一侧511通过组装环体8〇0固定于活动座42〇。集光段510的第二侧512连接于支撑段52〇,且第一侧511的内径大于第二侧H2的内径。举例来说，本实施例的集光段510的外形为中空锥体。支撑段520远离集光段510的一侧围绕出一透光口521，且支撑段520远离集光段510的一侧用以支撑待测物。此外，本实施例的固定座410亦可搭配升降调整机构，以令支撑环体500可相对基座100升降，以调整支撑环体500对待测物的支撑力。[0056]此外，组装环体800于靠近集光段510的一侧具有一装设斜面810。集光段510罩覆组装环体800的装设斜面810,且光源850叠设于装设斜面810。光源850用以发出一光线，且光线朝透光口521射出。[0057]限位板件910具有一第一开孔911及一第二开孔912。第二开孔912的孔径大于第一开孔911的孔径。二结合件920的一穿设第一开孔911并锁合于固定座410。二结合件920的另一可滑移地位于第二开孔912并锁合于活动座420。[0058]第一影像撷取装置600固定于环形工艺300上方。第二影像撷取装置700固定于环形工艺300下方，并通过支撑环体的透光口对准第一影像撷取装置600。[0059]在本实施例中，其中第一影像撷取装置600与第二影像撷取装置700同轴心。此外，第一影像撷取装置600例如可另搭配驱动构件，以通过驱动构件来调整第一影像撷取装置600的位置，并确保第一影像撷取装置600与第二影像撷取装置700同轴心。如此一来，将可提升检测设备10的检测品质。[0060]请参阅图3与图6。图6为图1的检测设备的使用示意图。[0061]实际在检测时，支撑环体500的支撑段520会隔着薄膜30支撑晶圆20,以避免支撑段520直接接触晶圆20而导致晶圆20的损坏。当支撑环体500的支撑段520支撑出的晶圆20相对于第一影像撷取装置600与第二影像撷取装置700非呈水平时，则可通过第一水平调整件430a的第一固定螺栓430al的调整来调整支撑环体500的支撑段520的水平。举例来说，若支撑环体5〇0的支撑段520靠近第一水平调整件430a的一侧水平高度较另一侧低时，则可沿箭头a所指示的方向旋转第一水平调整件430a的第一固定螺栓430al。并且，通过弹性件43〇a2的推抵让活动座4加以第二水平调整件430b的第一万向接头430b2为支点，并沿箭头b所指示的方向旋转，进而通过活动座420调整支撑环体500的支撑段520的水平。[0062]反之，若支撑环体500的支撑段520靠近第一水平调整件430a的一侧水平高度较另一侧高时，则可沿箭头c所指示的方向旋转第一水平调整件430a的第一固定螺栓430al。并且，通过第一固定螺栓430al的推压让活动座420以第二水平调整件430b的第一万向接头430b2为支点，并沿箭头d所指示的方向旋转，进而通过活动座420调整支撑环体500的支撑段520的水平。[0063]在本实施例中，水平调校是否完成可通过实际拍摄来检视。并且，待支撑环体500的支撑段520的水平调校完成后，可将各结合件920分别锁紧于固定座410与活动座420,以固定固定座410与活动座420的位置关系。[00M]上述实施例中，集光段510的外形为中空锥体，但并不以此为限。请参阅图7。图7为根据本发明第二实施例所述的支撑环体的剖视示意图。本实施例的集光段510’的外形为中空球体。也就是说，集光段510’的集光效果与积分球的集光效果相似。[0065]根据上述实施例的检测设备，通过三个水平调整件来调整活动座与支撑环体的水平，而至少有一个水平调整件通过锁合的方式来调整活动座与固定座的位置关系，以在使用最少元件与占据最小空间的情况下调整活动座与支撑环体的水平。[0066]当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

权利要求：1.一种检测设备，其特征在于，包含：一基座；一环形工艺，能够活动地设置于该基座，该环形工艺用以固定一待测物；一水平调整组件，包含一固定座、一活动座及至少三个水平调整件，该固定座固定于该基座并位于该环形工艺下方，该活动座通过该至少三个水平调整件锁附于该固定座；一支撑环体，固定于该活动座，该支撑环体远离该活动座的一侧用以支撑该待测物，并具有一透光口；一第一影像擷取装置，固定于该环形工艺上方；以及一第二影像擷取装置，固定于该环形工艺下方，该第二影像撷取装置通过该支撑环体的该透光口朝向该第一影像撷取装置；其中，该至少三个水平调整件的至少之一能够相对该固定座转动，以调整该活动座的水平。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，该至少三个水平调整件包含二第一水平调整件及一第二水平调整件，每一该第一水平调整件包含一第一固定螺栓及一弹性件，该第一固定螺栓穿设该活动座并锁合于该固定座，该弹性件夹设于该固定座与该活动座之间，该第二水平调整件包含一第二固定螺栓、一第一万向接头及一第二万向接头，该第二固定螺栓穿设该活动座并锁合于该固定座，该第一万向接头固定于该第二固定螺栓，该第二万向接头固定于该活动座并能够转动地连接于该第一万向接头。3.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，该第一影像撷取装置与该第二影像撷取装置同轴心。4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，该支撑环体包含一集光段及一支撑段，该集光段具有相对的一第一侧及一第二侧，该集光段的该第一侧固定于该活动座，该集光段的该第二侧连接于该支撑段，且该第一侧的内径大于该第二侧的内径。5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，更包含一组装环体，该集光段的该第一侧通过该组装环体固定于该活动座。6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，更包含至少一光源，位于该支撑环体，该光源用以发出一光线，且该光线朝该透光口射出。7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，该组装环体于靠近该集光段的一侧具有一装设斜面，该集光段罩覆该组装环体的该装设斜面，且该光源叠设于该装设斜面。8.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，更包含一旋转台，该旋转台能够旋转地设于该基座，该环形工艺固定于该旋转台。9.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，该支撑环体能够相对该基座升降。10.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，更包含一限位板件及二结合件，该限位板件具有一第一开孔及一第二开孔，该第二开孔的孔径大于该第一开孔的孔径，该二结合件之一穿设该第一开孔并锁合于该固定座，该二结合件的另一能够滑移地位于该第二幵孔并锁合于该活动座。

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