申请/专利权人:盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请日:2019-11-07
公开(公告)日:2020-06-19
公开(公告)号:CN210801919U
主分类号:F26B15/12(20060101)
分类号:F26B15/12(20060101);F26B21/00(20060101);F26B25/00(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.06.19#授权
摘要:本实用新型公开了一种硅片烘干装置,其包括下滚轮、上滚轮和干燥组件。下滚轮为多个,多个下滚轮沿水平方向依次排布,下滚轮被配置为运输硅片,上滚轮为多个,多个上滚轮沿水平方向依次排布,上滚轮位于下滚轮上方,上滚轮的周面止抵在硅片上,干燥组件包括上出风条和下出风条,上出风条上设有上出风孔,下出风条上设有下出风孔,上出风条与下出风条正对设置,上出风条夹设在两个上滚轮之间,下出风条夹设在两个下滚轮之间。该硅片烘干装置能够较为均匀地去除硅片上的水分,避免了硅片上残留水分,保证了后续检测结果的精确性,此外还能较好避免硅片碎片的现象发生。
主权项:1.一种硅片烘干装置,其特征在于,包括:下滚轮1,所述下滚轮1为多个,多个所述下滚轮1沿水平方向依次排布,所述下滚轮1被配置为运输硅片100;上滚轮2,所述上滚轮2为多个,多个所述上滚轮2沿水平方向依次排布,所述上滚轮2位于所述下滚轮1上方,所述上滚轮2的周面能够止抵在所述硅片100上;干燥组件3,所述干燥组件3包括上出风条31和下出风条32,所述上出风条31上设有上出风孔,所述下出风条32上设有下出风孔,所述上出风条31与所述下出风条32正对设置,所述上出风条31夹设在两个所述上滚轮2之间,所述下出风条32夹设在两个所述下滚轮1之间。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 一种硅片烘干装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。