申请/专利权人：信越化学工业株式会社

申请日：2019-12-16

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN111324005A

主分类号：G03F1/62(20120101)

分类号：G03F1/62(20120101)

优先权：["20181217 JP 2018-235239"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2022.06.03#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.06.23#公开

摘要：本发明涉及光蚀刻用防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件。本发明的目的是提供即使不设支撑框亦具有足够的强度的防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件。本发明是一种光蚀刻用防尘薄膜及一种光蚀刻用防尘薄膜组件，该光蚀刻用防尘薄膜是张设于防尘薄膜框架的一端面的防尘薄膜，由主层、及该主层的单面或两面具有的石墨烯构成，该光蚀刻用防尘薄膜组件由防尘薄膜及防尘薄膜框架构成，且该防尘薄膜通过接着剂或粘着剂设于该防尘薄膜框架的上端面，该防尘薄膜由主层、及该主层的单面或两面具有的石墨烯构成。

主权项：1.一种光蚀刻用防尘薄膜，张设于防尘薄膜框架的一端面，由主层、及该主层的单面或两面具有的石墨烯构成。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 信越化学工业株式会社 光蚀刻用防尘薄膜及具备该防尘薄膜的防尘薄膜组件

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