申请/专利权人:加特可株式会社
申请日:2019-11-27
公开(公告)日:2020-06-23
公开(公告)号:CN111321367A
主分类号:C23C8/22(20060101)
分类号:C23C8/22(20060101)
优先权:["20181214 JP 2018-234576"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2021.11.05#授权;2020.07.17#实质审查的生效;2020.06.23#公开
摘要:一种连续渗碳炉,将工件W在搬运路2搬运的同时进行渗碳处理,该工件以在堆积多层的各托盘100上排列配置有多个的载荷组件的方式F被搬入,具备:升温室11,其设置于搬运路2,使搬入的工件W升温;渗碳室12,其相对升温室11设置于搬运路2的下游侧,对升温的工件W渗碳处理;气体供给装置,其对升温室11及渗碳室12供给包含烃气的气体;气体供给控制部84,其控制气体供给装置向升温室11和渗碳室12的气体供给量,气体供给控制部84根据搬入到升温室11的工件W在载荷组件F内部的温度差TD,进行使向升温室11供给的烃气的量减少的控制。减少氧化皮的产生。
主权项:1.一种连续渗碳炉,将工件在搬运路搬运的同时进行渗碳处理,所述工件以在堆积了多层的各夹具上排列配置有多个的载荷组件的方式被搬入,其特征在于,具备:升温室,其设置于所述搬运路上,使搬入的所述工件升温;渗碳室,其相对于所述升温室设置于所述搬运路的下游侧,对升温的所述工件进行渗碳处理;气体供给装置,其对所述升温室及所述渗碳室供给包含烃气的浸碳处理用气体;控制装置,其控制所述气体供给装置向所述升温室和所述渗碳室的所述渗碳处理用气体的供给量,所述控制装置根据搬入到所述升温室的所述工件在载荷组件内部的温度差,进行使供给到所述升温室的烃气的量减少的控制。
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