申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司

申请日：2018-11-14

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN109494194B

主分类号：H01L21/84(20060101)

分类号：H01L21/84(20060101);H01L51/56(20060101);H01L27/12(20060101);H01L27/32(20060101);H01L51/52(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.23#授权;2019.04.12#实质审查的生效;2019.03.19#公开

摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种显示面板及其制备方法，该制备方法包括：在衬底上形成TFT器件层；在TFT器件层上形成分布于折叠区和非折叠区的多个隔垫物；在TFT器件层上形成有机电致发光器件层；将分布于折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离衬底的表面上的有机电致发光材料层完全去除以形成裸露表面；在有机电致发光器件层以及隔垫物上形成薄膜封装层。该制备方法制备的显示面板，折叠区的多个隔垫物中部分隔垫物朝向薄膜封装层的表面与薄膜封装层直接接触并连接，增强了薄膜封装层与折叠区中部分隔垫物的粘附力，有效避免由于弯折区频繁弯折造成薄膜封装层容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。

主权项：1.一种显示面板的制备方法，所述显示面板包括至少一个折叠区和至少两个非折叠区，其特征在于，所述制备方法包括：在衬底上形成TFT器件层；在所述TFT器件层上形成分布于所述折叠区和非折叠区的多个隔垫物，所述隔垫物的材料为无机材料；在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层；将分布于所述折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离所述衬底的表面上的有机电致发光材料层完全去除以形成裸露表面；在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成薄膜封装层，所述薄膜封装层朝向所述隔垫物的表层为无机材料，其中，分布于所述折叠区的多个隔垫物中具有裸露表面的隔垫物与所述薄膜封装层直接接触并连接。

全文数据：一种显示面板及其制备方法技术领域本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种显示面板及其制备方法。背景技术目前，OLED显示器件已经被广泛推广，尤其是OLED显示器件以其轻薄的特点，正在逐步被应用于折叠显示，不过在现有的OLED显示器件中，由于OLED内的有机电致发光膜层的制备方式不同于Array段内的Sputter、CVD及Resin工艺，有机电致发光材料薄膜制备方式一般为蒸镀或打印，所以，有机电致发光材料的各膜层间以及有机电致发光材料膜层与封装膜层件的结合力较弱，有机电致发光材料膜层与封装膜层件的结合力差，则在折叠显示中，随着折叠次数的增加极易容易造成有机电致材料膜层与封装膜层件脱落，容易造成封装膜层与基板之间掀起、脱离，从而产生显示不良。发明内容本发明提供了一种显示面板及其制备方法，该显示面板中，分布在折叠区的多个隔垫物中部分隔垫物朝向薄膜封装层的表面与薄膜封装层直接接触并连接，增强了薄膜封装层与折叠区中部分隔垫物的粘附力，从而增强了折叠区的薄膜封装层在衬底上的附着力，可以有效避免由于弯折区频繁弯折造成薄膜封装层容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：一种显示面板的制备方法，所述显示面板包括至少一个折叠区和至少两个非折叠区，所述制备方法包括：在衬底上形成TFT器件层；在所述TFT器件层上形成分布于所述折叠区和非折叠区的多个隔垫物；在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层；将分布于所述折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离所述衬底的表面上的有机电致发光材料层完全去除以形成裸露表面；在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成薄膜封装层，其中，分布于所述折叠区的多个隔垫物中具有裸露表面的隔垫物与所述薄膜封装层直接接触并连接。上述制备方法中，所制备的显示面板为可折叠显示面板，其中，显示面板上设置有至少一个折叠区和至少两个非折叠区，折叠区可以弯折，使显示面板呈不同角度的弯折状态；在上述显示面板的制备过程中，在衬底上形成TFT器件层，然后在TFF器件层上形成分布在折叠区和非折叠区的多个隔垫物，每个隔垫物之间是间隔的，且隔垫物的材料为无机物，接着在TFT器件层上形成有机电致发光显示器件层，其中，在制备有机电致发光器件层的过程中，有机材料和金属材料难免会落在隔垫物的表面，即隔垫物的表面会粘附有机材料和金属材料，在隔垫物表面形成有机电致发光材料层，有机电致发光层与隔垫物以及薄膜封装层的粘结力比较差，容易引起封装薄膜层掀起、脱落的问题，所以，有机电致发光器件层形成之后，将分布于折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离衬底的表面上的有机电致发光材料层完全去除以形成裸露表面，如此，表面去除有机电致发光材料层的隔垫物可以与薄膜封装层直接接触连接，薄膜封装层与隔垫物接触的表面为无机物材料，所以薄膜封装层与隔垫物直接接触连接时粘结性较好，在有机电致发光器件层以及隔垫物上形成薄膜封装层之后，薄膜封装层与折叠区的至少部分具有裸露表面的隔垫物直接接触连接，由于隔垫物与薄膜封装层之间结合力较强，增强了薄膜封装层与折叠区中部分隔垫物的粘附力，从而增强在折叠区内薄膜封装层在衬底上的附着力，进而可以避免由于折叠区频繁弯折造成薄膜封装层容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。因此，上述制备方法制备的显示面板，分布在折叠区的多个隔垫物中部分隔垫物朝向薄膜封装层的表面与薄膜封装层直接接触并连接，增强了薄膜封装层与折叠区中部分隔垫物的粘附力，从而增强了折叠区的薄膜封装层在衬底上的附着力，可以有效避免由于弯折区频繁弯折造成薄膜封装层容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。优选地，采用蒸镀或打印的方法在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层。优选地，在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层的过程中采用的掩膜板为Openmask。优选地，采用激光烧结方法对分布于所述折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离所述衬底的表面上的有机电致发光材料层进行完全去除。优选地，所述薄膜封装层包括依次设于所述有机电致发光器件层和所述隔垫物上第一无机阻隔层、有机平坦层和第二无机阻隔层；其中，所述在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成薄膜封装层具体包括：采用气相沉积方法在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成所述第一无机阻隔层；在所述第一无机阻隔层上形成有机平坦层；采用气相沉积方法在所述有机平坦层上形成第二无机阻隔层。一种显示面板，包括至少一个折叠区和至少两个非折叠区，还包括：衬底；设于所述衬底上的TFT器件层；设于所述TFT器件层上的有机电致发光器件层、分布于所述折叠区和非折叠区的多个隔垫物；设于所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上的薄膜封装层；其中，分布于所述折叠区的多个隔垫物中至少部分隔垫物背离所述衬底的表面与所述薄膜封装层直接接触并连接。优选地，分布于所述折叠区的每个所述隔垫物背离所述衬底的表面均与所述薄膜封装层直接接触并连接。优选地，所述折叠区的隔垫物分布密度大于所述非折叠区的隔垫物分布密度。优选地，分布于所述非折叠区的多个隔垫物中至少部分隔垫物背离所述衬底的表面与所述薄膜封装层直接接触并连接。优选地，所述薄膜封装层包括依次设于所述有机电致发光器件层和所述隔垫物上第一无机阻隔层、有机平坦层和第二无机阻隔层。附图说明图1为本发明实施例提供的显示面板的整体结构示意图；图2至图5为本发明实施例提供的显示面板制备过程中折叠区内的局部膜层结构变化示意图；图6为本发明实施例提供的显示面板的折叠区内局部膜层结构示意图；图7为本发明实施例提供的制备方法的流程示意图；图标：1-显示面板；11-衬底；12-TFT器件层；13-有机电致发光器件层；14-隔垫物；15-薄膜封装层；16-有机电致发光材料层；17-折叠区；18-非折叠区；151-第一无机阻隔层；152-有机平坦层；153-第二无机阻隔层。具体实施方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。请参考图7以及图2至图6，本发明实施例提供了一种显示面板的制备方法，其中，显示面板1包括至少一个折叠区17和至少两个非折叠区18，上述制备方法具体包括：步骤S101，在衬底11上形成TFT器件层12；步骤S102，在TFT器件层12上形成分布于折叠区17和非折叠区18的多个隔垫物14；步骤S103，在TFT器件层12上形成有机电致发光器件层13；步骤S104，将分布于折叠区17的多个隔垫物14中的至少部分隔垫物14背离衬底11的表面上的有机电致发光材料层16完全去除以形成裸露表面；步骤S105，在有机电致发光器件层13以及隔垫物14上形成薄膜封装层15，其中，分布于折叠区17的多个隔垫物14中具有裸露表面的隔垫物14与薄膜封装层15直接接触并连接。在上述制备方法中，结合图1，如图2所示，所制备的显示面板1为可折叠显示面板，其中，显示面板上设置有至少一个折叠区17和至少两个非折叠区18，折叠区17可以弯折，使显示面板呈不同角度的弯折状态；在上述显示面板1的制备过程中，在衬底11上形成TFT器件层12，TFT器件层12中具有像素区域和非像素区域；如图3所示，然后在TFT器件层12上形成多个隔垫物14，多个隔垫物14分别分布于折叠区17和非折叠区18，且每个隔垫物14之间是间隔设置的，其中，本实施例中以设置一个折叠区17和两个非折叠区18为例，折叠区17位于两个非折叠区18之间，折叠区17内和两个非折叠区18内均形成有多个隔垫物14，且每个隔垫物14均与TFT器件层12的非像素区域对应；如图4所示，隔垫物14形成之后，接着制备有机电致发光显示器件层，有机电致发光显示器件层与TFT器件层12的像素区域对应，其中，在有机电致发光器件层13制备的过程中有机材料和金属材料难免会落在隔垫物14的表面，即隔垫物14的表面会粘附有机材料和金属材料，即隔垫物14表面会粘附上用于制备有机电致发光器件层13的有机材料和金属材料而形成有机电致发光材料层16，由于隔垫物14为无机材料，后续制备的薄膜封装层朝向隔垫物14的表层也是无机材料，所以隔垫物14与薄膜封装层之间的结合力会比较好，有机电致发光材料层16与隔垫物14以及薄膜封装层15的粘结力较差，容易引起薄膜封装层15掀起、脱落的问题，所以，为增加折叠区17的隔垫物14与后续制备的薄膜封装层15的结合力，如图5所示，接下来将分布于折叠区17的多个隔垫物14中的至少部分隔垫物14背离衬底11的表面上的有机电致发光材料层16进行完全去除以形成裸露表面，且保持裸露表面洁净，如图6所示，然后在有机电致发光器件层13和隔垫物14上形成薄膜封装层15，则在折叠区17的多个隔垫物14中具有裸露表面的隔垫物14与薄膜封装层15直接接触并连接，可以增强薄膜封装层15与折叠区17中的部分隔垫物14的粘附力，从而增强折叠区17的薄膜封装层15在衬底11上的附着力，有效避免由于折叠区17频繁弯折造成薄膜封装层15容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。具体地，在上述制备方法中，采用蒸镀或打印的方法在TFT器件层上形成有机电致发光器件层，且优选地，在TFT器件层上形成有机电致发光器件层的过程中采用的掩膜板为OpenmaskOpenmask，开口较大的掩膜板，可以采用蒸镀技术蒸镀有机材料以用于形成有机电致发光器件层，且在蒸镀有机材料时一般会采用Openmask。具体地，上述制备方法中，采用激光烧结方法对分布于折叠区17的多个隔垫物14中的至少部分隔垫物14背离衬底11的表面上的有机电致发光材料层16进行完全去除。在进行激光烧结的过程中，严格控制激光能量以及激光与隔垫物14之间的位置精度，以确保需要进行激光烧结的隔垫物14朝向薄膜封装层15的表面上的有机电致发光材料层16去除干净。具体地，上述薄膜封装层包括依次设于有机电致发光器件层13和隔垫物14上第一无机阻隔层151、有机平坦层152和第二无机阻隔层153；其中，在上述有机电致发光器件层13以及隔垫物14上形成薄膜封装层15的方法具体包括：采用气相沉积方法在有机电致发光器件层13以及隔垫物14上形成第一无机阻隔层151；采用喷墨打印技术在第一无机阻隔层151上形成有机平坦层152；采用气相沉积方法在有机平坦层152上形成第二无机阻隔层153。采用气相沉积技术在隔垫物上形成的第一无机阻隔层与具有裸露表面的隔垫物结合力较好，有利于增强薄膜封装层与隔垫物之间的粘结力，避免薄膜封装层掀起、脱落，有利于保证显示效果。基于同一发明思想，请参考图1和图6，本发明实施例还提供的一种显示面板1，包括至少一个折叠区17和至少两个非折叠区18，还包括：衬底11；设于衬底11上的TFT器件层12；设于TFT器件层12上的有机电致发光器件层13、分布于折叠区17和非折叠区18的多个隔垫物14；设于有机电致发光器件层13以及隔垫物14上的薄膜封装层15；其中，分布于折叠区17的多个隔垫物14中至少部分隔垫物14背离衬底11的表面与薄膜封装层15直接接触并连接。上述显示面板中，显示面板为一可折叠显示面板，其中显示面板1包括至少一个折叠区17和至少两个非折叠区18，具体地，上述显示面板中可以设置一个折叠区17和两个非折叠区18，且折叠区17在两个非折叠区18之间，即两个非折叠区18分别在折叠区17的两侧，折叠区17可以弯折，使显示面板1呈不同角度的弯折状态；显示面板1包括衬底11，衬底11上设有TFT器件层12，在器件层上形成有有机电致发光器件层13以及多个隔垫物14，其中，折叠区17和两个非折叠区18均分布有多个隔垫物14，有机电致发光器件层13和隔垫物14上覆盖有用于阻隔水汽的薄膜封装层15，薄膜封装层15可以保护有机电致发光器件，分布在折叠区17的隔垫物14中的一部分隔垫物14朝向薄膜封装层15的表面与薄膜封装层15之间接触并连接，由于隔垫物14与薄膜封装层15接触的表面均为无机材料，同一类材料的膜层之间结合力较强，则增强了薄膜封装层15与折叠区17中部分隔垫物14的粘附力，从而增强在折叠区17内薄膜封装层15在衬底11上的附着力，进而可以避免由于折叠区17频繁弯折造成薄膜封装层15容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。因此，上述显示面板中，分布在折叠区17的多个隔垫物14中部分隔垫物14朝向薄膜封装层15的表面与薄膜封装层15直接接触并连接，增强了薄膜封装层15与折叠区17中部分隔垫物14的粘附力，从而增强了折叠区17的薄膜封装层15在衬底11上的附着力，可以有效避免由于弯折区频繁弯折造成薄膜封装层15容易掀起、脱落的情况，有利于提高显示效果。其中，在上述显示面板中，为进一步增强折叠区17内薄膜封装层15在衬底11上的附着力，可以使分布在折叠区17的每个隔垫物14背离衬底11的表面均与薄膜封装层15直接接触并连接。具体地，上述显示面板中，折叠区17的隔垫物14分布密度大于非折叠区18的隔垫物14分布密度。相对于显示面板1的折叠区17和非折叠区18，一般隔垫物14可以均匀分布设置，本实施例中，适当增加折叠区17内隔垫物14分布密度，可以有效增加折叠区17内隔垫物14的数量，可以有效增加折叠区17内隔垫物14与薄膜层装层的接触面积，则可以使折叠区17的隔垫物14朝向薄膜封装的表面与薄膜封装层15直接接触并连接的面积增大，可以有效提高薄膜封装层15与折叠区17的隔垫物14的粘附力，避免薄膜封装层15掀起、脱落。具体地，为增强薄膜封装层15在衬底11上的附着力，还可以设置分布于非折叠区18的多个隔垫物14中至少部分隔垫物14背离衬底11的表面与薄膜封装层15直接接触并连接，即，可以设置分布于非折叠区18的多个隔垫物14中的一部分隔垫物14背离衬底11的表面与薄膜封装层15直接接触并连接，也可以设置使分布于非折叠区18的每个隔垫物14背离衬底11的表面与薄膜封装层15直接接触并连接，根据上述非折叠区18内的隔垫物14的设置，可以增强薄膜封装层15整体与衬底11的附着力，有效避免薄膜封装层15掀起、脱落。针对上述显示面板1中的隔垫物14的尺寸设置，设置隔垫物14沿垂直于衬底11的方向的尺寸为大于或等于0.3μm且小于或等于4μm，即，隔垫物14的厚度范围为0.3μm～4μm，根据上述显示面板的具体设计，在0.3μm～4μm范围内选择合适的尺寸，有利于增加显示面板中隔垫物14的稳固性，有利于增加隔垫物14与薄膜封装层15之间的粘结稳定性，可以有效缓解薄膜封装层15掀起、脱落的状况。具体地，上述薄膜封装层15包括依次设于有机电致发光器件层13和隔垫物14上第一无机阻隔层151、有机平坦层152和第二无机阻隔层153。其中，第一无机阻隔层151和第二无机阻隔层153的材料可以为SiN、SiO或者SiON，可以起到阻隔水氧的作用，且设置两层无机阻隔层，可以有效保护显示面板中的有机电致发光器件，有机平坦层152的材料为有机材料，可以起到平坦化以及包裹异物颗粒作用，可以使第二无机阻隔层153平整设置，使薄膜封装层15的整体结构性增强。上述薄膜封装层15中，第一无机阻隔层151沿垂直于衬底11的方向的尺寸为大于或等于0.3μm且小于或等于2μm，即，第一无机阻隔层151的厚度尺寸可以在0.3μm～2μm范围选取，具体地，根据显示面板的具体设计，可以对第一无机阻隔层151的厚度尺寸进行调整；同理，第二无机阻隔层153沿垂直于衬底11的方向的尺寸为大于或等于0.3μm且小于或等于2μm，即，第二无机阻隔层153的厚度尺寸可以在0.3μm～2μm范围选取，同样的，根据显示面板的具体设计，也可以对第一无机阻隔层151的厚度尺寸进行调整。具体地，有机平坦层152沿垂直于衬底11的方向的尺寸为大于或等于1μm且小于或等于15μm，即，有机平坦层152的厚度设置为1μm～15μm，更有选地方案中，有机平坦层152的厚度可以在6μm～8μm，根据显示面板的具体设计，可以对有机平坦层152的厚度尺寸进行调整。显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

权利要求：1.一种显示面板的制备方法，所述显示面板包括至少一个折叠区和至少两个非折叠区，其特征在于，所述制备方法包括：在衬底上形成TFT器件层；在所述TFT器件层上形成分布于所述折叠区和非折叠区的多个隔垫物；在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层；将分布于所述折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离所述衬底的表面上的有机电致发光材料层完全去除以形成裸露表面；在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成薄膜封装层，其中，分布于所述折叠区的多个隔垫物中具有裸露表面的隔垫物与所述薄膜封装层直接接触并连接。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用蒸镀或打印的方法在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，在所述TFT器件层上形成有机电致发光器件层的过程中采用的掩膜板为Openmask。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，采用激光烧结方法对分布于所述折叠区的多个隔垫物中的至少部分隔垫物背离所述衬底的表面上的有机电致发光材料层进行完全去除。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述薄膜封装层包括依次设于所述有机电致发光器件层和所述隔垫物上第一无机阻隔层、有机平坦层和第二无机阻隔层；其中，所述在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成薄膜封装层具体包括：采用气相沉积方法在所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上形成所述第一无机阻隔层；在所述第一无机阻隔层上形成有机平坦层；采用气相沉积方法在所述有机平坦层上形成第二无机阻隔层。6.一种采用如权利要求1-5任一项所述的制备方法制备的显示面板，包括至少一个折叠区和至少两个非折叠区，其特征在于，包括：衬底；设于所述衬底上的TFT器件层；设于所述TFT器件层上的有机电致发光器件层、分布于所述折叠区和非折叠区的多个隔垫物；设于所述有机电致发光器件层以及所述隔垫物上的薄膜封装层；其中，分布于所述折叠区的多个隔垫物中至少部分隔垫物背离所述衬底的表面与所述薄膜封装层直接接触并连接。7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，分布于所述折叠区的每个所述隔垫物背离所述衬底的表面均与所述薄膜封装层直接接触并连接。8.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述折叠区的隔垫物分布密度大于所述非折叠区的隔垫物分布密度。9.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，分布于所述非折叠区的多个隔垫物中至少部分隔垫物背离所述衬底的表面与所述薄膜封装层直接接触并连接。10.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜封装层包括依次设于所述有机电致发光器件层和所述隔垫物上第一无机阻隔层、有机平坦层和第二无机阻隔层。

百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及其制备方法

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