申请/专利权人：郑州华晶新能源科技有限公司

申请日：2019-08-15

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN210826340U

主分类号：C23C14/56(20060101)

分类号：C23C14/56(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/14(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.23#授权

摘要：本实用新型提供一种镀膜机回旋送铝装置，它包括送铝架底座和设置在所述送铝架底座上的并列排放的多个送铝架，所述送铝架底座底部设置有凸轮限位框，所述凸轮限位框内转动设置有凸轮，所述凸轮传动连接有驱动电机，所述送铝架底座在所述驱动电机的驱动下沿多个所述送铝架的排列方向进行往返运动。该装置能实现送铝点缓慢平稳移动，可以使得蒸发舟表面铝液实时均匀平铺，最终镀膜镀层内所有点测方阻一致，成品膜电弱点消失，镀层质量符合要求，并且最大限度利用蒸发舟，降低生产成本。

主权项：1.一种镀膜机回旋送铝装置，其特征在于：它包括送铝架底座和设置在所述送铝架底座上的并列排放的多个送铝架，所述送铝架底座底部设置有凸轮限位框，所述凸轮限位框内转动设置有凸轮，所述凸轮传动连接有驱动电机，所述送铝架底座在所述驱动电机的驱动下沿多个所述送铝架的排列方向进行往返运动。

全文数据：

权利要求：

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