申请/专利权人：长春百纳光电子产品有限公司

申请日：2019-12-02

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN210833460U

主分类号：G01B11/30(20060101)

分类号：G01B11/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种大口径平面干涉仪载物台，涉及平面干涉仪设备技术领域，包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；俯仰台设置在支架底板上，固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，第一固定支脚和第二固定支脚设在支架底板与俯仰台之间，第一固定支脚和第二固定支脚前后间隔地设置在俯仰台的底面上并位于俯仰台的左侧；可调节支脚设置在支架底板与支架底板与俯仰台之间，可调节支脚设在俯仰台的底面上并位于俯仰台的右侧，第一固定支脚、第二固定支脚与可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形；检测组件包括标准尺、匹配尺，匹配尺垂直于俯仰台。采用本实用新型，可以精密地调节载物台的俯仰角度。

主权项：1.一种大口径平面干涉仪载物台，其特征在于，所述大口径平面干涉仪载物台包括支架底板、俯仰台、固定支脚、可调节支脚、检测组件；所述俯仰台设置在所述支架底板上，所述固定支脚包括第一固定支脚以及第二固定支脚，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚设在所述支架底板与所述俯仰台之间，所述第一固定支脚和所述第二固定支脚前后间隔地设置在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的左侧；所述可调节支脚设置在所述支架底板与所述支架底板与所述俯仰台之间，所述可调节支脚设在所述俯仰台的底面上并位于所述俯仰台的右侧，所述第一固定支脚、所述第二固定支脚与所述可调节支脚的中心点连线构成等腰三角形；所述检测组件包括标准尺、匹配尺，所述匹配尺固定在所述俯仰台的下侧，且所述匹配尺垂直于所述俯仰台，所述标准尺的一端铰接在所述俯仰台的下侧，所述标准尺的另一端为自由端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长春百纳光电子产品有限公司 一种大口径平面干涉仪载物台

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