申请/专利权人：合肥科晶材料技术有限公司

申请日：2019-11-07

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN210826336U

主分类号：C23C14/35(20060101)

分类号：C23C14/35(20060101);B22F1/02(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种粉末磁控溅射仪，包括石英腔室组件，所述石英腔室组件内部室体的上方设置有二英寸磁控溅射靶头，且石英腔室组件内部室体的下方设置有震动样品台，所述石英腔室组件的正下方设置有电路控制系统，且石英腔室组件的一侧连接设置有真空泵，所述二英寸磁控溅射靶头的一端连接设置有水冷设备，先把工作粉料放入震动样品台上,然后闭合石英腔室组件，通过真空泵抽取石英腔室组件内的空气，开启水冷设备，降低二英寸磁控溅射靶头在溅射过程中产生的热量，震动样品台可实现使粉料不停翻滚，通过电路控制系统可以对溅射电流，溅射时间及真空度进行调节控制，从而实现自主对粉料表面进行溅射镀膜包覆的过程。

主权项：1.一种粉末磁控溅射仪，包括石英腔室组件5，其特征在于：所述石英腔室组件5内部室体的上方设置有二英寸磁控溅射靶头1，且石英腔室组件5内部室体的下方设置有震动样品台2，所述石英腔室组件5的正下方设置有电路控制系统4，且石英腔室组件5的一侧连接设置有真空泵6，所述二英寸磁控溅射靶头1的一端连接设置有水冷设备3；所述石英腔室组件5包括下石英室51和上石英室53，所述下石英室51顶部的室体上对称分布设置有两个第一弧型耳板511，所述第一弧型耳板511上固定设置有活动滑杆512，所述活动滑杆512的顶部螺纹连接设置有螺纹帽513，且活动滑杆512上套设有复位弹簧514，所述下石英室51顶端面的室体上开设有密封圈槽515，所述上石英室53底部的室体上对称分布设置有两个第二弧型耳板531，且上石英室53底端面的室体上设置有与密封圈槽515相卡合密闭连接的密封圈板532，所述下石英室51和上石英室53之间设置有固定搭扣52。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 合肥科晶材料技术有限公司 一种粉末磁控溅射仪

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD