【实用新型】质子交换炉_天津市维之丰科技有限公司_201921892806.0 

申请/专利权人:天津市维之丰科技有限公司

申请日:2019-11-05

发明/设计人:李艳敏

公开(公告)日:2020-06-23

代理机构:天津滨海科纬知识产权代理有限公司

公开(公告)号:CN210826447U

代理人:戴文仪

主分类号:C30B31/04(20060101)

地址:300401 天津市北辰区青光镇清光村福广路1号

分类号:C30B31/04(20060101);C30B29/30(20060101)

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2020.06.23#授权

摘要:本实用新型提供了一种质子交换炉,包括炉体、石英容器和送料机构,石英容器设于炉体内,送料机构包括石英提竿和晶圆夹具,晶圆夹具固定于石英提竿的底部,晶圆夹具上装载有晶圆片,晶圆片浸入质子交换反应溶液中,炉体包括从内至外依次设置的内壁、加热丝、炉衬和外皮,内壁的顶端向外延伸形成保温凸台,加热丝蛇形盘绕于内壁的外周面上,炉体的顶部和底部分别设有保温单元。本实用新型对整个质子交换环境进行加热,提升了炉体在水平方向和竖直方向上的温度一致性,确保了整个质子交换溶液的温度一致性,可以有效地提升质子交换工艺的良品率和生产效率。

主权项:1.质子交换炉,其特征在于:包括炉体、石英容器和送料机构,石英容器设于炉体内且其内盛有质子交换反应溶液,送料机构包括石英提竿和晶圆夹具,晶圆夹具固定于石英提竿的底部,晶圆夹具上装载有晶圆片,晶圆片浸入质子交换反应溶液中,炉体包括从内至外依次设置的内壁、加热丝、炉衬和外皮,内壁和外皮均为上下两端开口的圆筒状结构,内壁的顶端向外延伸形成保温凸台,加热丝蛇形盘绕于内壁的外周面上,炉体的顶部和底部分别设有保温单元。

全文数据:

权利要求:

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