申请/专利权人：天津市维之丰科技有限公司

申请日：2019-11-05

公开（公告）日：2020-06-23

公开（公告）号：CN210826447U

主分类号：C30B31/04(20060101)

分类号：C30B31/04(20060101);C30B29/30(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.23#授权

摘要：本实用新型提供了一种质子交换炉，包括炉体、石英容器和送料机构，石英容器设于炉体内，送料机构包括石英提竿和晶圆夹具，晶圆夹具固定于石英提竿的底部，晶圆夹具上装载有晶圆片，晶圆片浸入质子交换反应溶液中，炉体包括从内至外依次设置的内壁、加热丝、炉衬和外皮，内壁的顶端向外延伸形成保温凸台，加热丝蛇形盘绕于内壁的外周面上，炉体的顶部和底部分别设有保温单元。本实用新型对整个质子交换环境进行加热，提升了炉体在水平方向和竖直方向上的温度一致性，确保了整个质子交换溶液的温度一致性，可以有效地提升质子交换工艺的良品率和生产效率。

主权项：1.质子交换炉，其特征在于：包括炉体、石英容器和送料机构，石英容器设于炉体内且其内盛有质子交换反应溶液，送料机构包括石英提竿和晶圆夹具，晶圆夹具固定于石英提竿的底部，晶圆夹具上装载有晶圆片，晶圆片浸入质子交换反应溶液中，炉体包括从内至外依次设置的内壁、加热丝、炉衬和外皮，内壁和外皮均为上下两端开口的圆筒状结构，内壁的顶端向外延伸形成保温凸台，加热丝蛇形盘绕于内壁的外周面上，炉体的顶部和底部分别设有保温单元。

全文数据：

权利要求：

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