申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2020-01-21

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN111339636A

主分类号：G06F30/20(20200101)

分类号：G06F30/20(20200101);G06F119/18(20200101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.07.21#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要：本发明提供一种工艺环境控制方法及系统，该方法包括以下步骤：S1、依据时间序列依次获取工艺环境状态参量截止至k‑1时刻的历史输入值和历史输出值，以构建历史数据向量；其中，k为当前时刻；S2、基于历史数据向量，采用递推最小二乘法计算获得预先建立的模型在k时刻的模型参数；S3、将模型参数输入模型，以得到工艺环境状态参量在k时刻的当前输入值，并发送至被控对象；S4、将k‑1时刻替换为k时刻，并返回步骤S1。本发明提供的工艺环境控制方法及系统的技术方案，不仅可以提高工艺环境状态参量的控制精度，而且解决了处理的数据量大，占用内存大，无法在线估计参数等的问题。

主权项：1.一种工艺环境控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S1、依据时间序列依次获取工艺环境状态参量截止至k-1时刻的历史输入值和历史输出值，以构建历史数据向量；其中，k为当前时刻；S2、基于所述历史数据向量，采用递推最小二乘法计算获得预先建立的模型在k时刻的模型参数；S3、将所述模型参数输入所述模型，以得到所述工艺环境状态参量在k时刻的当前输入值，并发送至被控对象；S4、将所述k-1时刻替换为k时刻，并返回所述步骤S1。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 工艺环境控制方法及系统

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