申请/专利权人：株式会社爱发科

申请日：2019-05-16

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN111344431A

主分类号：C23C14/04(20060101)

分类号：C23C14/04(20060101);B41F5/04(20060101);B41F9/00(20060101);B41F17/10(20060101);B41M1/02(20060101);B41M1/10(20060101);B41M1/28(20060101);B41M1/30(20060101);B65H20/00(20060101);C23C14/02(20060101);C23C14/14(20060101);C23C14/24(20060101);C23C14/56(20060101)

优先权：["20180531 JP 2018-104675"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权;2020.07.21#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要：本发明提供一种收卷式成膜装置，其具有真空容器、膜行进机构、锂源以及第一辊。上述真空容器能够维持减压状态。上述膜行进机构能够在上述真空容器内使膜行进。上述锂源能够在上述真空容器内使锂蒸发。上述第一辊被配置在上述膜的成膜面和上述锂源之间。上述第一辊具有接收从上述锂源蒸发的上述锂的转印图案。上述第一辊一边旋转一边将与上述转印图案对应的锂层的图案转印到上述成膜面。

主权项：1.一种收卷式成膜装置，其具有：真空容器，其能够维持减压状态；膜行进机构，其能够在所述真空容器内使膜行进；锂源，其能够在所述真空容器内使锂蒸发；以及第一辊，其被配置在所述膜的成膜面和所述锂源之间，具有接收从所述锂源蒸发的所述锂的转印图案，一边旋转一边将与所述转印图案对应的锂层的图案转印到所述成膜面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社爱发科 收卷式成膜装置和收卷式成膜方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD