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【发明公布】包括洁净迷你环境的装置_阿斯莫IP控股公司_201880072606.2 

申请/专利权人:阿斯莫IP控股公司

申请日:2018-11-26

公开(公告)日:2020-06-26

公开(公告)号:CN111344522A

主分类号:F24F3/16(20060101)

分类号:F24F3/16(20060101);F24F13/08(20060101)

优先权:["20171127 US 62/590,684"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2022.04.12#授权;2020.12.04#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要:本发明关于一种装置10,其包括气体再循环回路,该气体再循环回路包含藉由再循环通道20连接的迷你环境腔室14、气泵16、过滤器组件22。该装置另外包括空气供应管道18,该空气供应管道用于将空气供应至该气体再循环回路且具有开放至环境空气中的空气供应管道入口18a及在该再循环回路中开放的空气供应管道出口18b。在使用中,迷你环境腔室压力Pme经维持高于环境压力Pam。该气体再循环通道20包括具体化为喉部30的基本上无摩擦再循环限制件。在该喉部的形成该喉部的窄部分的下游末端处,在使用中,静态压力在该环境压力以下。该空气供应管道出口在该喉部的该下游末端30a处开放。

主权项:1.一种装置10,其包括气体再循环回路,该气体再循环回路包含:迷你环境腔室14,其具备腔室入口24及腔室出口26;再循环通道20,其连接该腔室出口26与该腔室入口24;气泵16,其具有泵出口及泵入口且位于该再循环通道中;及过滤器组件22,其在该泵16的下游及该迷你环境腔室入口24的上游位于该再循环通道20中,其中该装置另外包括:压力释放设备28,其构造及配置来限制该迷你环境腔室14中的压力Pme;空气供应管道18,其用于将空气供应至该气体再循环回路且具有开放至环境空气中的空气供应管道入口18a及在该再循环回路中开放的空气供应管道出口18b,其中,在使用中,该气泵16使气体自该泵出口循环通过该过滤器组件、该腔室入口、该迷你环境腔室、该腔室出口且返回至该泵入口,藉此使该迷你环境腔室14中的该压力Pme维持成高于环境压力Pam,其特征在于,该气体再循环通道20包括具体化为该气体再循环通道20中的喉部30的再循环限制件,其中该喉部30直接在该喉部30的上游界定相对于该气体再循环通道20的横截面面积具有逐渐减小的横截面面积的流动路径,其中该喉部30的下游末端30a界定该喉部30的最小横截面面积,其中该喉部30界定该泵入口,其中该空气供应管道出口在该喉部的界定该喉部的该最小横截面面积的该下游末端30a处或稍微下游处开放。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 阿斯莫IP控股公司 包括洁净迷你环境的装置

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