申请/专利权人：三星SDI株式会社

申请日：2018-06-28

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN111344634A

主分类号：G03F7/004(20060101)

分类号：G03F7/004(20060101);G03F7/20(20060101);G03F7/26(20060101);H01L21/027(20060101);G03F7/09(20060101)

优先权：["20171128 KR 10-2017-0160979"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.24#授权;2020.07.21#实质审查的生效;2020.06.26#公开

摘要：本发明揭示一种硬罩幕组成物及一种使用所述硬罩幕组成物形成图案的方法，所述硬罩幕组成物包含：聚合物，包含由化学式1表示的结构单元；以及溶剂。[化学式1]化学式1与说明书中定义的相同。

主权项：1.一种硬罩幕组成物，包括：聚合物，包括由化学式1表示的结构单元；以及溶剂，[化学式1] 其中，在化学式1中，X为包括至少三个稠合的经取代或未经取代的苯环的多环环状基，且*为连接点。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星SDI株式会社 硬罩幕组成物与形成图案的方法

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