申请/专利权人：伸和控制工业股份有限公司

申请日：2016-06-06

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN107923668B

主分类号：F25B7/00(20060101)

分类号：F25B7/00(20060101);G01N17/00(20060101)

优先权：["20150605 JP 2015-114932"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.26#授权;2018.05.11#实质审查的生效;2018.04.17#公开

摘要：本发明提供环境试验装置，其能够充分地确保腔室内的空间，并且能够进行考虑了各种环境的充分的环境试验。环境试验装置1具备：腔室10；冷却单元50，其具有对腔室10内进行冷却的载冷剂的冷却装置；加热单元60；和控制装置70。冷却装置具有：高温侧冷却回路，其是高温侧压缩机、冷凝器、高温侧膨胀阀和级联冷凝器按该顺序通过配管连接而成的，以使高温侧热介质循环；和低温侧冷却回路，其是低温侧压缩机、级联冷凝器、低温侧膨胀阀和蒸发器按该顺序通过配管连接而成的，以使低温侧热介质循环。在级联冷凝器中低温侧热介质被高温侧热介质冷却，在蒸发器中载冷剂被低温侧热介质冷却。控制装置70将腔室10内的温度控制在‑67.5℃至127.5℃的温度范围内。

主权项：1.一种环境试验装置，该环境试验装置具备：腔室，其容纳被检查物；冷却单元和加热单元，它们用于对所述腔室内进行温度控制；和控制装置，其对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，所述环境试验装置的特征在于，所述冷却单元包括低温侧冷冻装置和低温侧载冷剂循环装置，所述低温侧冷冻装置是二元冷冻装置，具有：第一低温侧冷冻回路，其是第一低温侧压缩机、第一低温侧冷凝器、第一低温侧膨胀阀和第一低温侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使第一低温侧制冷剂循环；和第二低温侧冷冻回路，其是第二低温侧压缩机、第二低温侧冷凝器、第二低温侧膨胀阀和第二低温侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使第二低温侧制冷剂循环，所述第一低温侧冷凝器和所述第二低温侧蒸发器构成能够彼此热交换的级联冷凝器，所述低温侧载冷剂循环装置具有：用于使低温侧载冷剂循环的低温侧载冷剂循环路；和低温侧加热部，其构成所述低温侧载冷剂循环路的一部分，并且能够对接收的所述低温侧载冷剂进行加热，所述第一低温侧冷冻回路中的位于所述第一低温侧膨胀阀的下游侧且所述第一低温侧蒸发器的上游侧的部分和所述低温侧载冷剂循环路中的位于所述低温侧加热部的下游侧的部分构成能够彼此热交换的冷冻能力调节机构，所述第一低温侧蒸发器被配置在所述腔室内，所述控制装置通过对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，从而将所述腔室内的温度控制在-67.5℃至127.5℃的温度范围内。

全文数据：环境试验装置技术领域[0001]本发明涉及用于对氢气罐等被检查物进行低温域和高温域的环境试验的环境试验装置。背景技术[0002]作为向燃料电池车的氢气罐中填充作为燃料的氢气的方法，已知利用高压力将氢气压缩而填充到氢气罐内的方法、以及将氢气液化而填充到氢气罐内的方法等。在利用高压力将氢气压缩而填充到氢气罐内的情况下，由于使氢气压缩的压力越高越能够增加氢气的填充量，因此，能够延长燃料电池车的持续行驶距离。另一方面，在氢气罐中，向其内部提供氢气时的氢气的压力和被填充到其内部的氢气的压力越高，氢气越会在供给中途泄漏或在填充后氢气容易泄漏到罐的外部。因此，以往进行了用于可适当地防止供给时或填充后的氢气的泄漏的氢气罐的开发。[0003]来自上述那样的氢气罐的氢气的泄漏的程度有时根据环境而变化。此外，也有可能可从外部填充到氢气罐中的氢气量、可从氢气罐的内部提供到外部的氢气量根据环境而变化。因此，通常，在氢气罐的开发中，在低温域和高温域等各种条件下进行环境试验。用于进行氢气罐的环境试验的试验装置以往使用了各种装置。例如，在非专利文献1中公开了一种试验装置，其具有可在-40°C至85°C的温度范围进行氢气罐的环境试验的比较大型的腔室。[0004]现有技术文献[0005]非专利文献[0006]非专利文献1:HyTReC:氢气能量产品研宄试验中心、5页左上栏、[online]、[平成27年6月5日检索]、互联网〈URL:http:www.hytrec.jppdfH26panfu.compressed.pdf〉发明内容[0007]发明要解决的课题[0008]今后，燃料电池车可望在多数地区普及。为了实现这样的目标，需要对氢气罐进行假设了各种环境的环境试验。这里，在上述的非专利文献1的试验装置中，由于腔室内的空间较大，因此，有这样的优点：例如，可同时进行对多个氢气罐的环境试验，或者可进行对各种尺寸的氢气罐的环境试验。[0009]但是，由于可进行环境试验的温度范围是-40°C至85°C，因此，若考虑进行假设了各种环境的环境试验，则很难说是充分的。因此，优选的是，可在更宽的温度范围进行环境试验。然而，根据这种试验装置，在成为温度控制的对象的腔室内的空间为大型的情况下，特别地存在着很难将试验温度控制到极低温域的问题。[0010]本发明正是考虑了这样的实际情况而完成的，其目的在于，提供环境试验装置，其能够充分地确保容纳被检查物的腔室内的空间，并且，通过可将该空间内的温度控制在宽的温度范围、特别是极低温域，从而能够对被检查物进行考虑了各种环境的充分的环境试验。[0011]用于解决课题的手段[0012]本发明的环境试验装置的特征在于，所述环境试验装置具备:腔室，其容纳被检查物;冷却单元，其具有载冷剂循环装置和冷却装置，所述载冷剂循环装置具有一部分被配置在所述腔室内的载冷剂循环路，使载冷剂在该载冷剂循环路内循环，所述冷却装置在所述载冷剂循环路中的被配置在所述腔室外的部分处对所述载冷剂进行冷却；加热单元，其具有被配置在所述腔室内的加热器;和控制装置，其对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，所述冷却装置具有:高温侧冷却回路，其是高温侧压缩机、冷凝器、高温侧膨胀阀和级联冷凝器按该顺序通过配管连接而成的，以使高温侧热介质循环;和低温侧冷却回路，其是低温侧压缩机、所述级联冷凝器、低温侧膨胀阀和蒸发器按该顺序通过配管连接而成的，以使低温侧热介质循环，在所述级联冷凝器中所述低温侧热介质被所述高温侧热介质冷却，在所述蒸发器中所述载冷剂被所述低温侧热介质冷却，所述控制装置通过对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，从而将所述腔室内的温度控制在-67.5°C至127.5°C的温度范围内。[0013]根据本发明的环境试验装置，通过使用具有高温侧冷却回路和低温侧冷却回路的二元式冷却装置，从而即使是确保了在腔室内有较宽的空间的情况下，也能够将腔室内的温度控制到极低温域、具体而言是_6TC附近。此外，在高温域中，能够利用加热单元将腔室内的温度控制到120°C附近。由此，能够充分地确保容纳被检查物的腔室内的空间，并且，通过可将该空间内的温度控制在宽的温度范围、特别是极低温域，从而能够对被检查物进行考虑了各种环境的充分的环境试验。[0014]具体而言，所述腔室的内容积也可以是10m3以上且20m3以下。在该情况下，能够确保可同时进行对多个被检查物的环境试验、或者可进行对各种尺寸的被检查物的环境试验的充分的空间。此外，在腔室的内容积是上述的范围（1〇m3以上且20m3以下）的情况下，即使在二元式冷却装置中不确保过大的输出，也能够将腔室内的空间控制在所希望的温度。由此，能够充分地确保腔室内的空间，并且，能够利用较简易的结构将腔室内的温度控制在较宽的温度范围，从而可确保实用性。[0015]此外，在该情况下，也可以这样:在对所述腔室内的空间进行冷却时，所述载冷剂循环装置在80Lmin至l6〇Lmin的范围中使所述载冷剂在所述载冷剂循环路内循环，从而以4kW的冷却能力对所述腔室内的空间进行冷却。[0016]根据该结构，在腔室的内容积是10m3以上且20m3以下的情况下，通过在80Lmin至16〇Lmin的范围中使载冷剂循环而以4kW的冷却能力对腔室内的空间进行冷却，从而能够在较短时间中将腔室内的温度控制到-60°C附近。由此，能够提高实用性。[0017]此外，也可以这样:被配置在所述腔室内的所述载冷剂循环路的一部分具有分别沿着同一方向延伸的多个配管部，所述多个配管部在从与其延伸方向垂直的截面观察的情况下按交错排列的方式配置。[0018]根据该结构，能够紧凑地配置多个配管部，所述多个配管部构成被配置在腔室内的载冷剂循环路的一部分，能够确保在腔室内可配置被检查物的配置空间较宽。此外，由于能够使腔室内的气体与配管部的宽范围接触，因此，能够提高热交换率。[0019]此外，在该情况下，也可以这样:被配置在所述腔室内的所述载冷剂循环路的一部分由第一配管组和第二配管组构成，在所述第一配管组和所述第二配管组中分别包括所述多个配管部，所述第一配管组在所述腔室内被配置在水平方向的一侧，所述第二配管组在所述腔室内被配置在水平方向的另一侧，在所述第一配管组与所述第二配管组之间形成有所述被检查物的配置空间。。[0020]根据该结构，能够确保所述第一配管组与所述第二配管组之间的配置空间较宽，并且，通过从水平方向的两侧对该配置空间进行温度控制，从而能够得到均匀的温度分布。[0021]此外，在该情况下，也可以这样:在所述腔室内配置有从所述配置空间侧覆盖所述第一配管组的第一罩部件，并且配置有从所述配置空间侧覆盖所述第二配管组的第二罩部件。[0022]根据该结构，能够利用第一罩部件和第二罩部件保护第一配管组和第二配管组中包括的配管部。另外，配置空间位于第一罩部件与第二罩部件之间。[0023]此外，在该情况下，也可以这样：在所述腔室内的所述配置空间的上方配置有风扇，在所述腔室内配置有从所述配置空间侧覆盖所述风扇的第三罩部件，所述风扇朝向所述第三罩部件进行送风。[0024]根据该结构，通过驱动风扇，从而能够抑制腔室内的空间的温度分布的不均。此夕卜，通过利用第三罩部件抑制风扇的送风直接吹到被配置在配置空间中的被检查物，从而能够使被检查物的温度状态稳定。并且，能够利用第三罩部件保护风扇。[0025]此外，在该情况下，也可以这样:在所述风扇的上方配置有所述加热器。[0026]根据该结构，能够利用第三罩部件保护加热器。[0027]此外，本发明的环境试验装置具备:腔室，其容纳被检查物;冷却单元和加热单元，它们用于对所述腔室内进行温度控制；和控制装置，其对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，所述环境试验装置的特征在于，所述冷却单元包括低温侧冷冻装置和低温侧载冷剂循环装置，所述低温侧冷冻装置是二元冷冻装置，具有:第一低温侧冷冻回路，其是第一低温侧压缩机、第一低温侧冷凝器、第一低温侧膨胀阀和第一低温侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使第一低温侧制冷剂循环;和第二低温侧冷冻回路，其是第二低温侧压缩机、第二低温侧冷凝器、第二低温侧膨胀阀和第二低温侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使第二低温侧制冷剂循环，所述第一低温侧冷凝器和所述第二低温侧蒸发器构成能够彼此热交换的级联冷凝器，所述低温侧载冷剂循环装置具有：用于使低温侧载冷剂循环的低温侧载冷剂循环路;和低温侧加热部，其构成所述低温侧载冷剂循环路的一部分，并且能够对接收的所述低温侧载冷剂进行加热，所述第一低温侧冷冻回路中的位于所述第一低温侧膨胀阀的下游侧且所述第一低温侧蒸发器的上游侧的部分、和所述低温侧载冷剂循环路中的位于所述低温侧加热部的下游侧的部分构成能够彼此热交换的冷冻能力调节机构，所述第一低温侧蒸发器被配置在所述腔室内，所述控制装置通过对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，从而将所述腔室内的温度控制在-67•5°C至127•5°C的温度范围内。[0028]根据该环境试验装置，在冷却单元中，在低温侧冷冻装置的第一低温侧冷冻回路中的第一低温侧蒸发器的上游侧的部分，能够利用低温侧载冷剂对第一低温侧制冷剂进行加热，此时，能够根据低温侧载冷剂的加热能力来调节第一低温侧蒸发器的冷冻能力。因此，不操作低温侧冷冻回路的构成要素就能够简易地宽范围地调节该冷冻回路的冷冻能力。[0029]并且，通过利用冷却单元和加热单元改变温度控制范围，从而能够确保从低温到高温的充分宽的温度控制范围。[0030]此外，也可以这样:所述加热单元包括加热侧冷冻装置和加热侧载冷剂循环装置，所述加热侧冷冻装置具有:加热侧冷冻回路，其是加热侧压缩机、加热侧冷凝器、加热侧膨胀阀和加热侧蒸发器按该顺序连接起来，以使加热侧制冷剂循环;注入回路，其具有注入流路和注入阀，所述注入流路将所述加热侧冷冻回路中的位于所述加热侧冷凝器的下游侧且所述加热侧膨胀阀的上游侧的部分、和所述加热侧冷冻回路中的位于所述加热侧蒸发器的下游侧且所述加热侧压缩机的上游侧的部分以所述加热侧制冷剂能够流通的方式连通，所述注入阀能够对在所述注入流路中流通的所述加热侧制冷剂的流量进行调节；和热气回路，其具有热气流路和热气阀，所述热气回路将所述加热侧冷冻回路中的位于所述加热侧压缩机的下游侧且所述加热侧冷凝器的上游侧的部分、和所述注入流路中的位于所述注入阀的下游侧的部分以所述加热侧制冷剂能够流通的方式连通，所述热气阀能够对在所述热气流路中流通的所述加热侧制冷剂的流量进行调节，所述加热侧载冷剂循环装置具有:加热侧载冷剂循环路，其用于使加热侧载冷剂循环;加热单元侧加热部，其构成所述加热侧载冷剂循环路的一部分、并且能够对接收的所述加热侧载冷剂进行加热;和负载部，其在所述加热单元侧加热部的下游侧构成所述加热侧载冷剂循环路的一部分，被配置在所述腔室内，所述加热侧载冷剂循环路的一部分和所述加热侧冷冻装置的所述加热侧蒸发器构成能够彼此热交换的加热能力调节用热交换器。[0031]在该情况下，能够使借助于加热侧冷凝器而冷凝的加热侧制冷剂以不流入加热侧蒸发器的方式通过注入回路而旁通到加热侧蒸发器的下游侧，并且，能够使由加热侧压缩机排出的高温的加热侧制冷剂通过热气回路而旁通到加热侧蒸发器的下游侧。由此，能够控制向加热侧蒸发器流入的加热侧制冷剂的流量，并能够灵活地调节由加热侧蒸发器输出的冷冻能力。此时，由于向加热侧蒸发器流入的加热侧制冷剂不会混合到高压的加热侧制冷剂中，因此，能够使可输出的冷冻能力稳定。此外，对通过注入回路而旁通的冷凝的加热侧制冷剂与通过热气回路而旁通的高温的加热侧制冷剂的比例进行调节，从而能够将向加热侧压缩机流入的加热侧制冷剂的状态及温度容易地控制成所希望的状态。由此，能够灵活地调节冷冻能力并进行稳定的温度控制。因此，由于能够利用加热侧冷冻装置输出的在稳定的状态下被调节的冷冻能力对加热侧载冷剂循环装置的加热侧载冷剂的温度进行控制以对负载部的加热能力或冷冻能力进行调节，因而能够利用负载部进行稳定的温度控制。[0032]发明效果[0033]根据本发明，能够充分地确保容纳被检查物的腔室内的空间，并且，能够将该空间内的温度控制在宽的温度范围、特别是极低温域，从而能够对被检查物进行考虑了各种环境的充分的环境试验。附图说明[0034]图1是本发明的第一实施方式的环境试验装置的立体图。[0035]图2是示出图1所示的环境试验装置的回路结构的图。[0036]图3是图1所示的环境试验装置的腔室的纵剖视图。[0037]图4是示出本发明的第二实施方式的环境试验装置的概略结构的图。[0038]图5是图4所示的环境试验装置的加热单元中的加热侧冷冻装置的放大图。[0039]图6是示出图4所示的环境试验装置的冷冻单元中的低温侧冷冻装置的莫里尔线图的一个示例的图。[0040]图7是示出图4所示的环境试验装置的加热单元中的加热侧冷冻装置的莫里尔线图的一个示例的图。[0041]图8是示出在图4所示的环境试验装置中进行低温域的温度控制的情况下的状态的图。[0042]图9是示出在图4所示的环境试验装置中进行中温域或高温域的温度控制的情况下的状态的图。[0043]图10是图4所示的环境试验装置的腔室的纵剖视图。具体实施方式[0044]下面，对本发明的各实施方式进行说明。[0045]《第一实施方式》[0046]图1是本发明的第一实施方式的环境试验装置1的立体图。图2是示出图1所示的环境试验装置1的回路结构的图。如图1和图2所示，本实施方式的环境试验装置1具备：腔室10，其容纳氢气罐等被检查物1〇〇;冷冻单元50;加热单元60;和控制装置70。另外，在图1中，为了便于说明，仅示出了腔室10和冷冻单元50的一部分。[0047]如图1所示，本实施方式的腔室10具有有底圆筒状的主体部11和能够对主体部11的开口进行开闭的圆盘状的盖部12。在图1中，示出了盖部12使主体部11打开的腔室10的打开状态。通过从该打开状态起盖部12将主体部11关闭，从而腔室10成为关闭状态。[0048]主体部11以其中心轴线C沿水平方向延伸的方式经由底座16而被设置在地面上。图3是图1所示的腔室10的纵剖视图。如图1和图3所示，在本实施方式中，在主体部11内设置有:第一罩部件18A，从纵截面观察，其被配置在水平方向的一侧;第二罩部件18B，其被配置在水平方向的另一侧;和第三罩部件18C，其在第一罩部件18A和第二罩部件18B的上方，并且在水平方向上被配置在第一罩部件18A与第二罩部件18B之间。[0049]第一罩部件18A和第二罩部件18B是板状，被配置成在与中心轴线C垂直的水平方向上隔着中心轴线C而彼此相向。具体而言，第一罩部件18A和第二罩部件18B分别配置成沿着上下方向延伸、并且在其下端与主体部11的内周面之间形成有间隙。在该示例中，第一罩部件18A和第二罩部件18B各自的下端位于比中心轴线C靠下方处，更具体而言，位于和中心轴线C与主体部11的内周面中的最下部在上下方向上的大致中间位置同等的高度位置。此夕卜，第一罩部件18A和第二罩部件18B沿着中心轴线C从主体部11的开口部附近延伸到有底圆筒状的底部附近。[0050]第三罩部件18C是板状，其被配置在中心轴线C的上方，沿着与中心轴线C垂直的水平方向延伸。在第三罩部件18C的靠第一罩部件18A侧的端部与第一罩部件18A的上端部之间形成有间隙，在第三罩部件18C的靠第二罩部件18B侧的端部与第二罩部件18B的上端部之间形成有间隙。此外，第三罩部件18C也沿着中心轴线C从主体部11的开口部附近延伸到有底圆筒状的底部附近。并且，在这些各罩部件18A〜18C的内侧形成有设置被检查物100的配置空间17。[0051]此外，在本实施方式中，在配置空间17的上方配置有2台风扇80也参照图2，在风扇80与配置空间17之间配置有第三罩部件18C。风扇80朝向第三罩部件18C进行送风。[0052]回到图1，在盖部12中，在与主体部11的开口侧的端缘对应的位置安装有已知的密封材料未图示），能够将主体部11的开口气密地关闭。另外，虽省略了图示，但在主体部11与盖部12之间设置有锁定机构，所述锁定机构对借助于盖部12的主体部11的关闭状态进行保持。[0053]在本实施方式中，如图1所示，盖部12被设置于能够沿着轨道14移动的台车13。轨道14以沿着主体部11的中心轴线C方向从主体部11的开口侧向外侧延伸的方式被铺设在地面上。由此，通过使台车13沿着轨道14移动，从而能够以盖部12接近主体部11、或者盖部12从主体部11离开的方式移动。[0054]此外，在本实施方式中，在盖部12设置有放置被检查物100的载置台15，载置台15借助于台车13而与盖部12—体地移动。进而，在利用盖部12使主体部11关闭时，被放置于载置台15上的被检查物100被配置在腔室10内的配置空间17中。[0055]在图3中，利用双点划线示出了被配置在腔室10内的配置空间17中的状态的被检查物100和载置台15。在本实施方式中，载置台15在被配置在主体部11内时被定位在比第一罩部件18A和第二罩部件18B各自的下端靠下方的位置。此外，在图示的示例中，在载置台15上的被检查物100被配置于腔室10内的配置空间17中时，各罩部件18A〜18C从上方和与中心轴线C垂直的水平方向的两侧围绕被检查物100。[0056]此外，在本实施方式的腔室10中，上述的主体部11和盖部12均具有金属制的板材和被层叠于板材上的隔热材料。金属制的板材可以是例如厚度为12mm的不锈钢SUS316L制。此外，隔热材料可以是厚度为100mm的已知的隔热材料、例如低发泡PETPE片材。[0057]此外，在利用盖部12使主体部11关闭的状态下，腔室10具有直径为2400mm、长度为3400mm的大致圆筒状的外形。在该示例中，腔室10的内容积是15m3。另外，在本实施方式中，腔室10的内容积是15m3,但优选的是10m3以上且20m3以下的范围。但是，这样的腔室10的内容积不特别限定，既可以是例如1.5m3左右，也可以是25m3左右。[0058]此外，在图1中，标号19表示形成于主体部11的侧壁的通气口。在该通气口19经由配管19A连接有真空栗90参照图2等减压单元及被加压的氮气罐等加压单元未图示）。利用这些减压单元和加压单元，腔室10内的压力能够在例如10kPa至150kPa的范围内调整。[0059]下面，对冷却单元50进行说明。如图2所示，本实施方式的冷却单元50具有:载冷剂循环装置20,其具有一部分被配置在腔室10内的载冷剂循环路21，使载冷剂在该载冷剂循环路21内循环;和冷却装置40,其在载冷剂循环路21中的被配置在腔室10外的部分对所述载冷剂进行冷却。[0060]载冷剂循环装置20具有:前述的载冷剂循环路21;栗22,其在该载冷剂循环路21内使载冷剂循环;和载冷剂量调整机构25，其对载冷剂循环路21内的载冷剂的量进行调节。载冷剂量调整机构25具有:载冷剂罐27，其存积恒定量载冷剂;和载冷剂供给路26，其从外部向载冷剂罐27适当地提供载冷剂。另外，在本实施方式中，采用了氟类热介质作为载冷剂，但也可以采用其它载冷剂。[0061]对载冷剂循环路21详细地进行说明，如图2所示，载冷剂循环路21具有:上游侧流路21A和下游侧流路21B，它们被配置在腔室10外;和中间流路21C，其被设置在该上游侧流路21A与下游侧流路21B之间。上游侧流路21A与下游侧流路21B经由上述的罐27而被连接，在上游侧流路21A设置有上述的泵22。[0062]另一方面，如图1和图2所示，在中间流路21C的两端部中的一端部设置有载冷剂流入口23，在另一端部设置有载冷剂流出口24，该载冷剂流入口23和载冷剂流出口24被配置在腔室10的外部。此外，中间流路21C中的、比载冷剂流入口23靠下游侧的部分、并且比载冷剂流出口24靠上游侧的部分被配置在腔室10内。并且，上游侧流路21A与载冷剂流入口23连接，下游侧流路21B与载冷剂流出口24连接。由此，载冷剂循环路21形成为环状。[0063]这里，在本实施方式中，如图3所示，中间流路21C中的、被配置在腔室10内的部分由第一配管组211和第二配管组212构成，在第一配管组211和第二配管组212的各个配管组中包括分别沿着同一方向（在本实施方式中是中心轴线C方向延伸的多个配管部21P。[0064]在本实施方式中，在腔室10内，第一配管组211在与中心轴线C垂直的水平方向上被配置在一侧，第二配管组212被配置在与中心轴线C垂直的水平方向上的另一侧，上述的配置空间17位于第一配管组211与第二配管组212之间。并且，如图3所示，在第一配管组211和第二配管组212的各个配管组中，在从与其延伸方向垂直的截面观察的情况下，多个配管部21P以交错排列（staggeredarrangement的方式配置。即，在该示例中，多个配管部21P被配置成，在上下方向上排列的多个配管部21P的列在水平方向上排列多个，在水平方向上相邻的一个列中包括的配管部21P的上下方向的位置与另一列中包括的配管部21P的上下方向的位置错开。另外，优选的是，在各配管部21P设置有翅片，用以提高热交换率。[0065]此外，上述的第一罩部件18A位于第一配管组211与配置空间17之间，沿着第一配管组211延伸，由此覆盖第一配管组211。此外，上述的第二罩部件18B位于第二配管组212与配置空间17之间，沿着第二配管组212延伸，覆盖第二配管组212。[0066]此外，在本实施方式中，上述的冷却装置40作为二元式的冷却装置二元冷却装置而构成。即，如图2所示，冷却装置40具有:高温侧冷却回路41，其是高温侧压缩机30、水冷式冷凝器31、高温侧储液器32、高温侧膨胀阀33和级联冷凝器34按该顺序经由配管连接而成的，以使高温侧热介质循环;和低温侧冷却回路42,其是低温侧压缩机35、上述的级联冷凝器34、低温侧储液器％、低温侧膨胀阀37和蒸发器38按该顺序经由配管连接而成的，以使低温侧热介质循环。进而，在级联冷凝器34中，低温侧热介质被高温侧热介质冷却，在低温侧冷却回路42的蒸发器38中，载冷剂被低温侧热介质冷却。[0067]为了提高载冷剂的冷却效率，在本实施方式的冷却装置40中，采用了作为氢氟碳化物的一种的R410A作为高温侧热介质，并采用了作为氢氟碳化物的一种的R23作为低温侧热介质。另外，作为可在高温侧和低温侧采用的制冷剂的组合高温侧热介质低温侧热介质），可列举R22R23、R404R23、R403R23和R410R14等。并且，也可以采用混合制冷剂作为热介质。[0068]通过采用以上那样的冷却装置40,在本实施方式中，通过增大在载冷剂循环路21内循环的载冷剂的流量并将载冷剂充分地冷却，从而能够将腔室10内的空间有效地冷却。具体而言，本实施方式的载冷剂循环装置20在将腔室10内的空间冷却时，通过使载冷剂为规定的温度以在120Lmin下使载冷剂在载冷剂循环路21内循环，从而以4kW的冷却能力对腔室10内的空间进行冷却。另外，也可以通过使用逆变器使载冷剂的冷却能力可变。此外，也可以通过在腔室10的外部在载冷剂循环路21中对载冷剂进行加热控制，从而使载冷剂的冷却能力可变。[0069]此外，如图2所示，本实施方式的加热单元60具有：加热器61，其被配置在腔室10内；和电流控制部62,其与加热器61连接。即，本实施方式的加热单元60通过电加热器对腔室10内的空间进行加热。具体而言，本实施方式的加热单元60以5kW的加热能力通过加热器61对腔室10内的空间进行加热。[0070]这里，在本实施方式中，如图3所示，加热器61被配置在风扇80的上方。具体而言，加热器61具有多个管状部分61P，这些管状部分61P以沿着主体部11内的圆弧状的内壁面排列的状态配置。另外，优选的是，在加热器61的各管状部分61P设置翅片，用以提高热交换率。[0071]此外，控制装置70对冷却单元50和加热单元60进行控制，以实现所希望的试验环境。具体而言，在本实施方式中，控制装置70对冷却单元50中的高温侧压缩机30、低温侧压缩机35和载冷剂循环装置20的杲22、以及加热单元60的加热器61电流控制部62进行控制。[0072]特别是，在本实施方式的环境试验装置1中，控制装置70对冷却单元50和加热单元60进行控制，从而将腔室10内的温度控制在-67.5°C至127.5°C的温度范围内的所希望的设定温度。此外，在本实施方式中，与控制装置70连接的温度传感器和压力传感器被设置在腔室10内，实时地测量腔室10内的温度和压力。[0073]下面，对本实施方式的作用进行说明。[0074]在开始环境试验时，在腔室10的主体部11被盖部12关闭的情况下，使用者将主体部11与盖部12的锁定状态解除以使台车13沿着轨道14向从主体部11离开的方向移动。由此，盖部12从主体部11的开口离开，被设置于盖部12的载置台15露出到腔室10外。进而，使用者将例如氢气罐等被检查物100载置到载置台15上，并利用已知的固定件未图示将该被检查物固定于载置台15。[0075]在该状态下，使用者使台车13沿着轨道14向靠近主体部11的方向移动，并利用盖部12将腔室10的主体部11的开口关闭。进而，使用所述锁定机构将盖部12固定于主体部11。由此，主体部11的开口被盖部12气密地关闭。[0076]进而，使用者通过对控制装置70设定所希望的试验环境试验温度），从而开始环境试验。作为一个示例，在设定了_6〇°C这样的低温域的试验温度的情况下，首先，控制装置70使高温侧冷却回路41的高温侧压缩机30驱动，使高温侧冷却回路41中的高温侧热介质向图2中的箭头方向的循环开始。具体而言，高温侧压缩机30将高温侧热介质压缩以使其成为高温高压的状态后将其朝向冷凝器31排出。冷凝器31通过使排出的高温侧热介质与从外部提供的冷却水热交换，从而使该高温侧热介质冷凝液化。冷凝液化的高温侧热介质经高温侧储液器32而通过高温侧膨胀阀33。此时，高温侧膨胀阀33对高温侧热介质进行减压。该减压的高温侧热介质经级联冷凝器34而再次向高温侧压缩机3〇流入，再次重复以上的冷却循环。[0077]此外，控制装置7〇使高温侧冷却回路41的高温侧压缩机30驱动的同时也使低温侧冷却回路42的低温侧压缩机35驱动，使低温侧冷却回路42中的低温侧热介质向图2中的箭头方向的循环开始。具体而言，低温侧压缩机35将低温侧热介质压缩以使其成为髙温高压的状态后将其朝向级联冷凝器34排出。级联冷凝器34通过使排出的低温侧热介质与在高温侧冷却回路41循环的前述的高温侧热介质热交换，从而使该低温侧热介质冷凝液化。冷凝液化的低温侧热介质经低温侧储液器36而通过低温侧膨胀阀37。此时，低温侧膨胀阀37对低温侧热介质进行减压。该减压的低温侧热介质经蒸发器38而再次向低温侧压缩机35流入，再次重复以上的冷却循环。这样，在级联冷凝器34中，低温侧热介质被高温侧热介质冷却，在低温侧冷却回路42的蒸发器38中，载冷剂被低温侧热介质冷却。[0078]并且，控制装置70使载冷剂循环装置20的栗22驱动，使载冷剂循环路21内的载冷剂向图2中的箭头方向循环。此时，载冷剂借助于泵22而以120Lmin的流量被提供向低温侧冷却回路42的蒸发器38。被提供的载冷剂经由蒸发器38而与低温侧热介质热交换以被冷却。冷却的载冷剂被提供向腔室10,并经由载冷剂流入口23而被提供到被设置于腔室10内的载冷剂循环路21、即中间流路21C内。进而，载冷剂经由载冷剂循环路21而以4Kw的冷却能力与腔室10内的气体进行热交换，将腔室10内冷却。进而，完成与腔室10内的气体的热交换的载冷剂经由载冷剂流出口24而回到腔室10外，并再次被提供到蒸发器38。进而，再次重复以上的冷却循环。[0079]在本实施方式中，在利用载冷剂使腔室10内冷却的期间，被设置于腔室10的内壁的2台风扇80被驱动。由此，由被配置在第一罩部件18A和第二罩部件18B与腔室10的内壁之间的载冷剂循环路21第一配管组211和第二配管组212冷却的气体在配置空间17中扩散对流）。由此，配置空间17被有效地冷却，并且在配置空间17中温度分布的不均得以抑制。[0080]随着以上的冷却，腔室10内的气体收缩，腔室10内的压力逐渐减少。因此，在想要在大气压下检查被检查物100的情况下，使用者适当地将设置于腔室10的主体部11的侧壁的通气口19开闭，使腔室10内的压力维持在大气压。另外，在本实施方式中，腔室10内的压力由被配置在腔室10内的压力传感器实时地测量，并被显示于显示部未图示），所述显示部被设置于控制装置70。[0081]本件发明人确认到，通过如上的冷却，尽管是内容积为15m3这样比较大型的腔室10，该腔室10内的空间也在8小时以内这样的较短时间内从室温25°C被冷却到-60°C。此外，腔室10内的温度由被设置在腔室10内的温度传感器实时地测量,根据测量出的温度来进行反馈控制。因此，尽管是比较大型的腔室10,该腔室10内、特别是配置空间17的温度也相对于作为设定温度的-60°C而维持在±3°C的误差范围内。[0082]进而，当所希望的检查时间经过而被检查物的检查结束后，使用者对控制装置70指示停止冷却。由此，控制装置70使高温侧压缩机30、低温侧压缩机35、载冷剂循环装置20的泵22和风扇80的驱动分别停止，环境试验装置1的运转结束。[0083]此外，在对控制装置70设定了120°C这样的高温域的情况下，首先，控制装置70控制加热单元60的电流控制部62并向配置在腔室10内的加热器61通电。由此，加热器61发热，以5Kw的加热能力对腔室10内的气体进行加热。在加热器61对腔室10内进行加热期间，被设置于腔室10的内壁的风扇80被驱动。由此，与低温域的试验温度的情况同样地，在腔室10内的空间中，温度分布的不均得以抑制。[0084]随着以上的加热，腔室10内的气体膨胀，腔室10内的压力逐渐增大。因此，在想要在大气压下检查被检查物的情况下，使用者适当地将设置于腔室1〇的主体部11的侧壁的通气口19开闭，使腔室10内的压力维持在大气压。[0085]本件发明人确认到，通过如上的加热，内容积为15m3这样比较大型的腔室10内的温度在8小时以内这样的较短时间内从室温25。〇被加热到+120°C。此外，与低温域的试验温度的情况同样，腔室1〇内的温度通过被设置在腔室1〇内的温度传感器被实时地测量，根据测量出的温度来进行反馈控制。因此，尽管是比较大型的腔室1〇，该腔室1〇内的温度也相对于作为设定温度的120°C而维持在±3°C的误差范围内。[0086]此外，本实施方式的环境试验装置1也可与试验环境的温度无关而使腔室10内成为例如10kPa这样的低压状态来进行环境试验。在该情况下，如图2所示，在通气口19连接有真空泵9〇,在加热或冷却过程中真空泵90被适当地驱动而腔室10内被维持在10kPa这样的低压状态。[0087]或者，本实施方式的环境试验装置1也可与试验环境的温度无关而使腔室10内成为例如高于大气压的150kPa来进行环境试验。在该情况下，在本实施方式中，在开始腔室10内的加热或冷却之前，在通气口19连接有氮气的供给源未图示），腔室10内的气体全部被置换成氮气后，腔室10内的压力维持在150kPa。[0088]根据以上记载的本实施方式的环境试验装置1，通过使用具有高温侧冷却回路41和低温侧冷却回路42的二元式冷却装置40,从而即使在确保腔室10内有较宽空间的情况下，也能够将腔室10内的温度控制到极低温域、具体而言是-60°C附近。此外，在高温域，能够利用加热单元60将腔室10内的温度控制到120°C附近。由此，能够充分地确保容纳被检查物的腔室10内的空间，并且能够将该空间内的温度控制在较宽的温度范围、特别是极低温域，从而能够对被检查物进行考虑了各种环境的充分的环境试验。[0089]具体而言，本实施方式的腔室10的内容积是15m3。由此，能够确保可同时进行对多个被检查物的环境试验、或者可进行对各种尺寸的被检查物的环境试验的充分的空间。此夕卜，在腔室10的内容积是上述的值的情况下，即使在二元式冷却装置40中不确保过大的输出，也能够将腔室10内的空间控制在所希望的温度。由此，根据本实施方式，能够充分地确保腔室10内的空间，并且，由于可利用较简易的结构将腔室10内的温度控制在较宽的温度范围，因此，可确保实用性。[0090]此外，本实施方式的载冷剂循环装置20在对腔室10内的空间进行冷却时通过以120Lmin使载冷剂在载冷剂循环路21内循环，从而以4kW的范围的冷却能力对腔室1〇内的空间进行冷却。由此，能够在较短时间中将腔室1〇内的温度控制到-6TC附近，从而能够提高实用性。[0091]此外，在本实施方式中，被配置在腔室1〇内的载冷剂循环路21的一部分即中间流路21C具有分别沿着同一方向延伸的多个配管部21P，所述多个配管部21P在从与其延伸方向垂直的截面观察的情况下按交错排列的方式配置。由此，能够紧凑地配置多个配管部21P，能够确保腔室10内的配置空间17较宽，其中，所述多个配管部21P构成被配置在腔室1〇内的载冷剂循环路21的一部分。此外，由于能够使腔室1〇内的气体与配管部21P的宽范围接触，因此，能够提高热交换率。[0092]更具体而言，在本实施方式中，中间流路21C由第一配管组211和第二配管组212构成，在第一配管组211和第二配管组212中分别包括多个配管部21P，第一配管组211在腔室10内被配置在水平方向的一侧，第二配管组212在腔室10内被配置在水平方向的另一侧，在第一配管组211与第二配管组212之间形成有配置空间I7。由此，能够确保第一配管组211与第二配管组212之间的配置空间17较宽，并且，通过从水平方向的两侧对该配置空间17进行温度控制，从而能够得到均匀的温度分布。[0093]此外，在本实施方式中，在第一配管组211与配置空间17之间配置有沿着第一配管组211延伸的第一罩部件18A，在第二配管组212与配置空间17之间配置有沿着第二配管组212延伸的第二罩部件18B。由此，能够保护第一配管组211和第二配管组212中包括的配管部21P。[0094]此外，在腔室10内的配置空间17的上方配置有风扇80,在风扇80与配置空间17之间配置有第三罩部件18C，风扇80朝向第三罩部件18C进行送风。由此，通过驱动风扇80,从而能够抑制腔室10内的空间的温度分布的不均。此外，利用第三罩部件18：抑制风扇80的送风直接吹到被配置于配置空间17中的被检查物，从而能够使被检查物的温度状态稳定。并且，能够利用第三罩部件18C保护风扇80。[0095]此外，在本实施方式中，由于在风扇80的上方配置有加热器61，因此，能够利用第三罩部件18C保护加热器61。[0096]以上对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于上述的实施方式。例如，在上述的实施方式中，腔室10形成为圆筒状，但不限于此。例如，腔室10既可以形成为长方体状，也可以形成为纵截面为椭圆状的筒状。[0097]此外，在上述的实施方式中，利用二元式冷却装置40使载冷剂冷却，但也可以利用三级以上的多级式冷却装置使载冷剂冷却。[0098]《第二实施方式》[00"]下面，对本发明的第二实施方式进行说明。对第二实施方式的构成部分中的相当于在第一实施方式中说明的构成部分的部分标注相同标号。此外，在下面的说明中，关于第二实施方式的构成部分中的与第一实施方式的构成部分同样的部分省略说明。第二实施方式的环境试验装置2将腔室10内的温度控制在-67.5-C至127.5°C的温度范围内的所希望的设定温度，但冷却单元50和加热单元60的结构与第一实施方式不同。[0100]图4是示出本发明的第二实施方式的环境试验装置2的概略结构的图。如图4所示，本实施方式的环境试验装置2具备冷却单元50、加热单元60和规定温度控制对象空间S的腔室10。该环境试验装置2可利用冷却装置5〇和加热单元60将温度控制对象空间S的温度控制成从低温到高温的温度控制范围内的所希望的温度。下面，对环境试验装置2的各结构详细地进行说明。[0101]〈冷却单元〉[0102]如图4所示，本实施方式中的冷却单元50具有低温侧冷冻装置302和低温侧载冷剂循环装置3〇3。冷却单元50利用低温侧载冷剂循环装置3〇3对低温侧冷冻装置302的冷冻能力进行调节，从而能够将温度控制对象空间S冷却。[0103]+本实施方式中的低温侧冷冻装置302是二元冷冻装置，其具备第一低温侧冷冻回，310和第二低温侧冷冻回路32〇,其中，第一低温侧冷冻回路31〇是第一低温侧压缩机311、第一、低^侧冷凝器312、第一低温侧膨胀阀w3和第一低温侧蒸发器314按该顺序连接而成的，以使一低温侧制冷剂循环;第二低温侧冷冻回路32〇是第二低温侧压缩机321、第二低温巧冷凝器322、第二低温侧膨胀阀323和第二低温侧蒸发器324按该顺序连接而成的，以使第二低温侧制冷剂循环，第一低温侧冷凝器3丨2和第二低温侧蒸发器324构成可彼此热交换的级联冷凝器cc。[0104]在第一低温侧冷冻回路310中，被第一低温侧压缩机311压缩的第一低温侧制冷剂向构成级联冷凝器CC的第一低温侧冷凝器312流入，并被第二低温侧冷冻回路320的第二低温侧蒸发器324冷凝。然后，第一低温侧制冷剂被第一低温侧膨胀阀313减压而成为低温，向第一低温侧蒸发器314流入。在图示的示例中，第一低温侧蒸发器314被配置在腔室10内，流入到第一低温侧蒸发器314中的第一低温侧制冷剂吸收温度控制对象空间S中的热而向第一低温侧压缩机311流入。[0105]在本实施方式中，第一低温侧冷冻回路310中的位于第一低温侧膨胀阀313的下游侧且第一低温侧蒸发器314的上游侧的部分、和第一低温侧冷冻回路310中的位于第一低温侧蒸发器314的下游侧且第一低温侧压缩机311的上游侧的部分构成可彼此热交换的内部热交换器1C。由此，通过第一低温侧蒸发器314而升温的第一低温侧制冷剂被吸入到第一低温侧压缩机311中之前借助于第一低温侧膨胀阀313排出的低温的第一低温侧制冷剂而冷却。[0106]在第二低温侧冷冻回路320中，在级联冷凝器CC中吸收了第一低温侧制冷剂的热的第二低温侧制冷剂被第二低温侧压缩机321压缩。被压缩的第二低温侧制冷剂向第二低温侧冷凝器322流入，并借助于在例如第二低温侧冷凝器322中流动的冷却水而冷凝。然后，第二低温侧制冷剂被第二低温侧膨胀阀323减压而成为低温，并向构成级联冷凝器CC的第二低温侧蒸发器324中流入而将流入到第一低温侧冷凝器312中的第一低温侧制冷剂冷却。[0107]低温侧载冷剂循环装置303具有：低温侧载冷剂循环路331，其用于使低温侧载冷剂循环;低温侧加热部332,其构成低温侧载冷剂循环路331的一部分，并且能够对接收的低温侧载冷剂进行加热;低温侧栗333,其构成低温侧载冷剂循环路331的一部分，并且赋予用于使低温侧载冷剂在低温侧载冷剂循环路331内循环的驱动力；和低温侧载冷剂罐334，其与低温侧加热部332连接。[0108]在图示的示例中，在低温侧载冷剂通过低温侧泵333的驱动而在低温侧载冷剂循环路331内向图中的顺时针方向循环时，低温侧加热部332可将随着低温侧载冷剂的循环而接收的低温侧载冷剂按所希望的加热量加热。低温侧加热部332具有使低温侧载冷剂流入的箱部和配置在箱部内的加热器，通过对加热器的加热量进行调节，从而能够对低温侧载冷剂的加热能力进行调节。在本实施方式中，低温侧加热部332能够将低温侧载冷剂加热到比被第一低温侧膨胀阀313减压并且在内部热交换器1C中进行了热交换的第一低温侧制冷剂的温度高的温度。在低温侧载冷剂罐334内存积有低温侧载冷剂，在存积的低温侧载冷剂的液面与低温侧载冷剂罐334的上壁之间形成有气层部分。低温侧加热部332的箱部与低温侧载冷剂罐334的气层部分和低温侧载冷剂的液层部分以流体的方式连接。[0109]这里，在本实施方式中，第一低温侧冷冻回路310中的位于第一低温侧膨胀阀313的下游侧且第一低温侧蒸发器314的上游侧的部分、和低温侧载冷剂循环路331中的位于低温侧加热部332的下游侧的部分构成可彼此热交换的冷冻能力调节机构FC。在图示的示例中，冷冻能力调节机构FC在第一低温侧制冷剂流动的方向上被配置在内部热交换器1C的下游侧。即，内部热交换器1C在第一低温侧制冷剂流动的方向上被配置在冷冻能力调节机构FC的上游侧。更具体而言，在第一低温侧冷冻回路310中的从第一低温侧膨胀阀313排出的第一低温侧制冷剂到达第一低温侧蒸发器314的部分，内部热交换器1C被配置在冷冻能力调节机构FC的上游侧。由此，在低温侧冷冻装置302的第一低温侧冷冻回路310中的第一低温侧蒸发器314的上游侧的部分，能够利用载冷剂对第一低温侧制冷剂进行加热。[0110]〈加热单元〉[0111]下面，对加热单元60进行说明。如图4所示，本实施方式的加热单元60具有加热侧冷冻装置4〇2和加热侧载冷剂循环装置403。在该加热单元60中，加热侧载冷剂循环装置403能够将温度控制对象空间S中的温度加热或冷却。加热侧冷冻装置402构成为，在对加热侧载冷剂循环装置403的加热能力或冷冻能力进行调节的情况下，将在加热侧载冷剂循环装置403内循环的加热侧载冷剂冷却。[0112]本实施方式的加热侧冷冻装置402是单元式冷冻装置，其具备：加热侧冷冻回路410,其是加热侧压缩机411、加热侧冷凝器412、加热侧膨胀阀413和加热侧蒸发器414按该顺序连接而成的，以使加热侧制冷剂循环;注入回路420和热气回路424,它们被设置成用于使在加热侧冷冻回路410中流通的加热侧制冷剂旁通;和过冷却回路416,其用于将在加热侧冷冻回路410中流通的加热侧制冷剂过冷却。图5是加热侧冷冻装置402的放大图。下面，参照图5对加热侧冷冻装置402的各结构详细地进行说明。[0113]在图5所示的加热侧冷冻回路410中，作为基本的制冷剂流，被加热侧压缩机411压缩的加热侧制冷剂向加热侧冷凝器412流入，流入到加热侧冷凝器412中的加热侧制冷剂借助于例如冷却水而冷凝。然后，加热侧制冷剂被加热侧膨胀阀413减压而成为低温，并向加热侧蒸发器414流入。流入到加热侧蒸发器414中的制冷剂进行热交换后向加热侧压缩机411流入。具体情况后面进行说明，本实施方式中的加热侧冷冻装置402构成为，利用加热侧蒸发器414将在加热侧载冷剂循环装置403内循环的加热侧载冷剂冷却。[0114]注入回路420具有:注入流路421，其将加热侧冷冻回路410中的位于加热侧冷凝器412的下游侧且加热侧膨胀阀413的上游侧的部分、和加热侧冷冻回路410中的位于加热侧蒸发器414的下游侧且加热侧压缩机411的上游侧的部分以加热侧制冷剂能够流通的方式连通连接）；和注入阀422,其能够对在注入流路421中流通的制冷剂的流量进行调节。在该注入回路420中，通过对注入阀422的开度进行调节，从而能够使在加热侧冷凝器412的下游侧流通的冷凝的加热侧制冷剂旁通到加热侧压缩机411的上游侧。[0115]热气回路424具有:热气流路425，其将加热侧冷冻回路410中的位于加热侧压缩机411的下游侧且加热侧冷凝器412的上游侧的部分、和注入流路421中的位于注入阀422的下游侧的部分以制冷剂能够流通的方式连通连接）；和热气阀426,其能够对在热气流路425中流通的制冷剂的流量进行调节。在该热气回路424中，通过对热气阀426的开度进行调节，从而能够使在加热侧压缩机411的下游侧流通的高温高压的制冷剂旁通到加热侧压缩机411的上游侧。[0116]此外，在本实施方式中，过冷却回路416具有:过冷却用旁通流路417,其将加热侧冷冻回路410中的位于加热侧冷凝器412的下游侧且与注入流路421连接的连接位置的上游侧的部分、和加热侧冷冻回路410中的加热侧压缩机411以加热侧制冷剂能够流通的方式连通连接）；和过冷却控制阀418,其能够对在过冷却用旁通流路417中流通的制冷剂的流量进行控制。在本实施方式中，过冷却用旁通流路417中的位于过冷却控制阀418的下游侧的部分和加热侧冷冻回路410中的位于与过冷却用旁通流路417连接的连接位置的下游侧且与注入流路421连接的连接位置的上游侧的部分构成可彼此热交换的过冷却用热交换器sc。[0117]在过冷却用热交换器SC中，通过将过冷却控制阀418打开，从而使在加热侧冷凝器412的下游侧流通的冷凝的加热侧制冷剂在过冷却用旁通流路417中的过冷却控制阀418的下游侧膨胀而成为低温，从而能够对从加热侧冷凝器412经由过冷却用热交换器SC而向加热侧膨胀阀413侧流通的制冷剂赋予过冷却度。另一方面，在过冷却用旁通流路417中流通的加热侧制冷剂向加热侧冷冻回路410中的位于加热侧压缩机411的上游侧、并且加热侧蒸发器414的下游侧的部分流入。具体而言，在本实施方式中，在过冷却用旁通流路417中流通的制冷剂在借助于加热侧压缩机411的加热侧制冷剂的压缩过程中，与在加热侧压缩机411中被压缩的通过加热侧蒸发器414后的加热侧制冷剂汇合。[0118]此外，在图示的示例中，接收罐415A和过滤干燥器415B按该顺序被设置在加热侧冷冻回路410中的位于加热侧冷凝器412的下游侧且与过冷却用旁通流路417连接的连接位置的上游侧的部分。[0119]回到图4,加热侧载冷剂循环装置403具有:加热侧载冷剂循环路431，其形成环状，用于使加热侧载冷剂循环;加热单元侧主加热部432,其构成加热侧载冷剂循环路431的一部分，并且能够对接收的加热侧载冷剂进行加热;加热侧泵433,其构成加热侧载冷剂循环路431的一部分，并且赋予用于使载冷剂在加热侧载冷剂循环路431内循环的驱动力;第一加热单元侧副加热部434A和第二加热单元侧副加热部434B，它们配置在加热侧泵433的下游侧而构成加热侧载冷剂循环路431的一部分，并且能够对接收的加热侧载冷剂进行加热；第一负载部435A，其被配置在第一加热单元侧副加热部434A的下游侧而构成加热侧载冷剂循环路431的一部分;第二负载部435B，其被配置在第二加热单元侧副加热部434B的下游侧而构成加热侧载冷剂循环路431的一部分;和加热侧载冷剂罐436,其与加热单元侧主加热部432连接。加热侧载冷剂是在不相变化的情况下或不相变化的范围内在负载部435A、435B中可散热或吸热的物质，其种类可根据所希望的温度控制范围来选择。加热侧载冷剂也可以是例如乙二醇水溶液、氯化钙水溶液、水等。[0120]在本实施方式中，加热侧载冷剂循环路431中的加热侧栗433的下游侧的部分被分支成第一分支部431A和第二分支部431B，第一加热单元侧副加热部434A和第一负载部435A分别构成第一分支部431A的一部分，第二加热单元侧副加热部434B和第二负载部435B分别构成第二分支部431B的一部分。第一分支部431A和第二分支部431B在第一负载部435A和第二负载部435B的下游侧汇合。通过第一分支部431A与第二分支部431B的汇合位置后的载冷剂通过后述的加热能力调节用热交换器HC，然后流向加热单元侧主加热部432侧，在通过加热单元侧主加热部432后再次向第一分支部431A和第二分支部431B流入。[0121]在通过加热侧栗433的驱动使加热侧载冷剂在加热侧载冷剂循环路431内循环时，加热单元侧主加热部432、第一加热单元侧副加热部434A和第二加热单元侧副加热部434B分别能够对随着加热侧载冷剂的循环而接收的加热侧载冷剂以所希望的加热量进行加热。各加热部432、434A、434B具有使加热侧载冷剂流入的箱部和配置在箱部内的加热器，通过对加热器的加热量进行调节，从而能够对加热侧载冷剂的加热能力进行调节。在图示的示例中，在加热单元侧主加热部432配置有多个加热器，在第一加热单元侧副加热部434A和第二加热单元侧副加热部434B分别配置有一个加热器。但是，这样的加热器的个数不特别限定，根据设定于温度控制对象空间S的最大控制温度来设定即可。[0122]如图4所示，在本实施方式中，第一负载部435A和第二负载部435B被配置在腔室10内，能够在温度控制对象空间S中使载冷剂散热、或者使载冷剂吸收温度控制对象空间沖的热。即，加热单元60在对温度控制对象空间s进行加热时从第一负载部435A和第二负载部435B向温度控制对象空间S散热，另一方面，在将温度控制对象空间s冷却时，使第一负载部435A和第二负载部435B吸收温度控制对象空间s中的热。、[0123]此外，在加热侧载冷剂罐436内存积有载冷剂，在存积的载冷剂的液面与加热侧载冷剂罐436的上壁之间形成有气层部分。加热单元侧主加热部432的箱部与加热侧载冷剂罐436中的气层部分和加热侧载冷剂的液层部分以流体的方式连接。[0124]这里，在本实施方式中，如图4所示，加热侧载冷剂循环路431的一部分和加热侧冷冻装置的加热侧蒸发器414构成可彼此热交换的加热能力调节用热交换器HC。具体而言，在本实施方式中，加热侧载冷剂循环路431中的位于第一负载部U5A和第二负载部435B的下游侧且加热单元侧主加热部432的上游侧的部分和加热侧蒸发器414构成加热能力调节用热交换器HC。由此，能够利用加热侧冷冻装置402将加热侧载冷剂循环装置403中的加热侧载冷剂冷却。并且，在本实施方式中，被加热侧冷冻装置4〇2冷却的加热侧载冷剂由加热单元侧主加热部432、第一加热单元侧副加热部434A和第二加热单元侧副加热部434B加热、或者通过这些加热部而不被加热，从而能够以所希望的加热能力或冷冻能力对温度控制对象空间S进行温度控制。[0125]〈控制装置[0126]下面，对控制装置70进行说明。在图4中，示出了控制装置70和被设置于冷却单元50和加热单元60的多个温度传感器及压力传感器。在本实施方式中，控制装置70构成为，根据多个温度传感器及压力传感器的检测来对冷却单元50的各部低温侧泵333、第一低温侧压缩机311、第二低温侧压缩机321、低温侧加热部332等）和加热单元60的各部（加热侧泵433、加热侧压缩机411、注入阀422、热气阀426、加热部432、434A、434B等进行控制。[0127]例如，本实施方式中的控制装置7〇能够对低温侧泵333、第一低温侧压缩机311、第二低温侧压缩机321的驱动和停止进行切换，并且能够对加热侧泵433和加热侧压缩机411的驱动和停止进行切换。此外，控制装置70根据设定的目标冷冻能力对注入阀422的开度和热气阀426的开度进行调节，从而对向加热侧蒸发器414流入的加热侧制冷剂的流量进行调节，并使加热侧蒸发器414输出目标冷冻能力。这里，也可以根据使用者设定于温度控制对象空间S的目标温度等通过控制装置70运算出目标冷冻能力。[0128]此外，在图5中，标号428表示对从加热侧蒸发器414的下游侧向加热侧压缩机411流入前的加热侧制冷剂的温度进行检测的温度传感器，标号429表示对从加热侧蒸发器414的下游侧向加热侧压缩机411流入前的加热侧制冷剂的压力进行检测的压力传感器。在图示的示例中，加热侧温度传感器428和加热侧压力传感器429被配置在注入回路420和热气回路424的比与加热侧冷冻回路410连接的连接位置靠下游侧处。在本实施方式中，在如上述那样对加热侧冷冻装置402的冷冻能力进行调节时，控制装置70根据温度传感器4別检测出的温度和压力传感器429检测出的压力对注入阀422的开度和热气阀4加的开度进行调节，从而使向加热侧压缩机411流入的加热侧制冷剂成为气相状态、并且为规定的温度以下。规定的温度是例如加热侧压缩机411不发生烧损的程度的温度。[0129]〈腔室10内的结构〉[0130]此外，图10是图4所示的环境试验装置2的腔室10的纵剖视图。如图1〇所示，本实施方式的第一低温侧蒸发器314具有:第一蒸发器314A，其在腔室10内被配置在水平方向的一侧;和第二蒸发器314B，其在腔室10内被配置在水平方向的另一侧。第一蒸发器314A和第二蒸发器314B分别被提供通过第一低温侧膨胀阀313减压后的第一低温侧制冷剂。此外，通过第一蒸发器314A和第二蒸发器314B后的第一低温侧制冷剂汇合后朝向第一低温侧压缩机311流动。[0131]这里，分别在第一蒸发器314A和第二蒸发器314B中包括分别沿着同一方向（在本实施方式中是中心轴线C方向）延伸的多个配管部314P。并且，分别在第一蒸发器314A和第二蒸发器314B中，多个配管部314P在从与其延伸方向垂直的截面观察的情况下以交错排列staggeredarrangement的方式配置。在这样的配管部314P中分别流通着第一低温侧制冷剂。[0132]此外，加热单元60中的第一负载部435A在腔室10内被配置在水平方向的一侧，第二负载部435B在腔室10内被配置在水平方向的另一侧。分别在第一负载部435A和第二负载部43f5B中包括分别沿着同一方向（在本实施方式中是中心轴线C方向）延伸的多个配管部幻即。并且，分别在第一负载部435A和第二负载部43M中，多个配管部435P在从与其延伸方向垂直的截面观察的情况下以交错排列的方式配置。[0133]此外，在第一蒸发器314A和第一负载部435A与第二蒸发器314B和第二负载部435B之间形成有被检查物的配置空间。这里，在本实施方式中，第一蒸发器314A被配置在第一负载部435A的上方，第二蒸发器：314B被配置在第二负载部435B的上方。此外，在第一蒸发器314A和第一负载部435A与配置空间之间配置有覆盖第一蒸发器314A和第一负载部435A的第一罩部件18A。即，第一罩部件18A接近第一蒸发器314A和第一负载部435A而从配置空间侧覆盖第一蒸发器314A和第一负载部435A。此外，在第二蒸发器314B和第二负载部435B与配置空间之间配置有覆盖第二蒸发器314B和第二负载部435B的第二罩部件18B。即，第二罩部件18B接近第二蒸发器：314B和第二负载部435B而从配置空间侧覆盖第二蒸发器314B和第二负载部435B。并且，在腔室10内的所述配置空间的上方配置有风扇80,在腔室1〇内配置有从所述配置空间侧覆盖风扇80的第三罩部件1SC。并且，风扇80朝向第三罩部件18C进行送风。[0134]〈动作〉[0135]下面，采用图6至图8对本实施方式的环境试验装置2的动作进行说明。环境试验装置2构成为，通过控制装置70的控制对冷却单元50和加热单元60的运转状态进行切换，从而将温度控制对象空间S的温度调节成低温域、中温域或高温域中的所希望的温度。在本实施方式中，作为一个示例，低温域是-60°C至-20°C的范围，中温域是-19c至+25°C的范围，高温域是+26°C至+12〇°c的范围，但这样的各范围不特别地限定。[0136]图6是不出冷冻单元50中的第一低温侧冷冻回路310的莫里尔线图的一个示例的图，图7是示出加热单元60中的加热侧冷冻装置402的莫里尔线图的一个示例的图。图8是示出进行低温域的温度控制的情况下的状态的图，图9是示出进行中温域或高温域的温度控制的情况下的状态的图。下面，对低温域、中温域和高温域的控制方式按此顺序进行说明。[0137]低温域的温度控制）°[0138]在进行低温域的温度控制的情况下，在冷却单元5〇中，第一低温侧压缩机311、第二低Y皿侧压缩机321和低温侧栗333被驱动。另一方面，在加热单元60中，在加热侧载冷剂循环装置403中加热侧泵4：33被驱动，加热侧冷冻装置402成为停止状态，加热侧制冷剂不循环。在图8中，记载在配管上的粗线表示制冷剂或载冷剂循环的线，示出了进行低温域的温度控制时的动作状态。[0139]此时，在第一低温侧冷冻回路31〇中，被第一低温侧压缩机311压缩的第一低温侧制冷剂向构成级联冷凝器CC的第一低温侧冷凝器312流入，并通过第二低温侧冷冻回路320的第二低温侧蒸发器324而冷凝。然后，第一低温侧制冷剂被第一低温侧膨胀阀313减压而成为低温，并向第一低温侧蒸发器314流入。进而流入到第一低温侧蒸发器314中的第一低温侧制冷剂吸收温度控制对象空间S中的热而向第一低温侧压缩机311流入。[0140]在本实施方式中，通过设置内部热交换器1C，从而通过第一低温侧蒸发器314而升温的第一低温侧制冷剂被吸入到第一低温侧压缩机311中前借助于第一低温侧膨胀阀313排出的低温的第一低温侧制冷剂而被冷却。由此，能够控制具有过剩的过热度的第一低温侧制冷剂被吸入到第一低温侧压缩机311中。[0141]另一方面，在第二低温侧冷冻回路320中，在级联冷凝器cc中吸收了第一低温侧制冷剂的热的第二低温侧制冷剂被第二低温侧压缩机321压缩。被压缩的第二低温侧制冷剂向第二低温侧冷凝器322流入，并借助于在第二低温侧冷凝器322中流动的冷却水而冷凝。然后，第二低温侧制冷剂被第二低温侧膨胀阀323减压而成为低温，并向构成级联冷凝器CC的第二低温侧蒸发器324流入以将流入到第一低温侧冷凝器312中的第一制冷剂再次冷却。另外，在本实施方式中，第一低温侧压缩机311和第二低温侧压缩机321按恒定的输出运转，以有利于控制的稳定性。[0142]此外，在低温侧载冷剂循环装置303中，低温侧载冷剂在低温侧载冷剂循环路331内循环，可借助于低温侧加热部332对低温侧载冷剂适当地进行加热。[0143]并且，在本实施方式中，通过设置冷冻能力调节机构FC，从而在低温侧冷冻装置302的第一低温侧冷冻回路310中的第一低温侧蒸发器314的上游侧的部分，能够利用被低温侧加热部332加热的载冷剂对第一低温侧制冷剂进行加热。进而，此时，能够根据载冷剂的加热能力对第一低温侧蒸发器314的冷冻能力进行调节。[0144]另一方面，在加热侧载冷剂循环装置403中，加热侧载冷剂在加热侧载冷剂循环路431内循环，并可利用加热单元侧主加热部432等对加热侧载冷剂适当地进行加热。在利用冷却单元50进行在低温域的温度控制的情况下，根据这样地使加热侧载冷剂循环的结构，在切换到从低温域向中温域或高温域的温度控制的情况下，能够有效地缩短从低温域到中温域或高温域中的所希望的温度的到达时间。另外，在进行低温域的温度控制的情况下，加热侧载冷剂不被加热。[0145]这里，采用图6对在冷却单元50中进行的冷冻能力的调节详细地进行说明。如图6所示，在冷却单元50中的冷冻循环中，被吸入到第一低温侧压缩机311中的第一低温侧制冷剂如从点A向点B的转移所示那样地被压缩。被第一低温侧压缩机311排出的第一低温侧制冷剂通过第一低温侧冷凝器312而冷凝从而被冷却，其比焓如点B向点C的转移所示地降低。[0146]接着，被第一低温侧冷凝器312冷凝的第一低温侧制冷剂如点C向点D的转移所示地被第一低温侧膨胀阀313减压而成为低温。然后，从第一低温侧膨胀阀313排出的第一低温侧制冷剂在内部热交换器1C中与即将向第一低温侧压缩机311流入前的第一低温侧制冷剂进行热交换，并如点D到点E的转移所示地吸热而其比焓增加。然后，第一低温侧制冷剂在冷冻能力调节机构FC中与被加热的低温侧载冷剂进行热交换，并如点£向点F的转移所示地吸热而其比焓增加。[0147]接着，第一低温侧制冷剂向第一低温侧蒸发器314流入而吸收温度控制对象空间s中的热，如点F向点G的转移所示，其比焓增加。进而，通过第一低温侧蒸发器314后的第一低温侧制冷剂在内部热交换器1C中与从第一低温侧膨胀阀313排出的低温的第一低温侧制冷剂进行热交换，如点G向点H的转移所示地被冷却而其比焓降低。由此，能够抑制具有过剩的过热度的第一低温侧制冷剂被吸入到第一低温侧压缩机311中。然后，第一低温侧制冷剂向第一低温侧压缩机311流入而被压缩。[0148]在上述的莫里尔线图中，点F可根据被加热的低温侧载冷剂的加热能力而如箭头所示地使其位置变动。这里，第一低温侧冷冻回路310的冷冻能力与利用标号W表示的、即将向第一低温侧蒸发器314流入前的第一低温侧制冷剂的比焓与刚从第一低温侧蒸发器314流出的第一低温侧制冷剂的比焓的差成正比。因此，在本实施方式中，通过对被加热的低温侧载冷剂的加热能力进行调节，从而能够对第一低温侧冷冻回路310的冷冻能力进行调节。[0149]中温域的温度控制）[0150]在进行中温域的温度控制的情况下，在冷却单元50中，第一低温侧压缩机311、第二低温侧压缩机321和低温侧泵333不被驱动。另一方面，在加热单元60中，在加热侧载冷剂循环装置403中加热侧泵433被驱动，在加热侧冷冻装置402中加热侧压缩机411被驱动。在图9中，被记载在配管上的粗线表示制冷剂或载冷剂循环的线，示出了中温域的温度控制时的动作状态。[0151]此时，在加热侧冷冻装置402的加热侧冷冻回路410中，被加热侧压缩机411压缩的加热侧制冷剂向加热侧冷凝器412流入并冷凝。然后，加热侧制冷剂通过过冷却用热交换器SC。此时，在过冷却控制阀418打开的情况下，通过使在加热侧冷凝器412的下游侧流通的冷凝的加热侧制冷剂在过冷却用旁通流路417中的过冷却控制阀418的下游侧膨胀而成为低温，从而能够对从加热侧冷凝器412经由过冷却用热交换器SC而向加热侧膨胀阀413侧流通的加热侧制冷剂赋予过冷却度。借助于冷却控制阀418而膨胀的制冷剂在吸热的状态下向加热侧压缩机411侧流入。[0152]然后，通过加热侧膨胀阀413的加热侧制冷剂被减压而成为低温，并向加热侧蒸发器414流入。这里，流入到加热侧蒸发器414中的制冷剂能够在加热能力调节用热交换器HC中与加热侧载冷剂进行热交换，在加热侧载冷剂比加热侧制冷剂温度高的情况下，吸热而向加热侧压缩机411流入。[0153]并且，在本实施方式中，由于设置有注入回路420和热气回路424,因此，能够使被加热侧冷凝器412冷凝的加热侧制冷剂以不流入加热侧蒸发器414的方式通过注入回路420而旁通到加热侧蒸发器414的下游侧，并且，能够使由加热侧压缩机411排出的高温的加热侧制冷剂通过热气回路424而旁通到加热侧蒸发器414的下游侧。由此，能够控制向加热侧蒸发器414流入的加热侧制冷剂的流量，并能够对通过加热侧蒸发器414输出的冷冻能力灵活地进行调节。[0154]此时，在本实施方式中，通过控制装置70根据设定的目标冷冻能力对注入阀422的开度和热气阀426的开度进行调节，从而调节向加热侧蒸发器414流入的制冷剂的流量，并使加热侧蒸发器414输出目标冷冻能力。此时，控制装置70根据温度传感器428检测出的温度和压力传感器429检测出的压力对注入阀422的开度和热气阀426的开度进行调节，从而使向加热侧压缩机411流入的制冷剂成为气相状态、并且在规定的温度以下。[0155]这里，为了得到上述的目标冷冻能力，对在加热侧蒸发器414中流通的加热侧制冷剂的流量进行调节即可，因此，为了达成所述目的，旁通的加热侧制冷剂的量能够在注入回路420和热气回路424中任意地分配。因此，能够使向加热侧压缩机411流入的制冷剂容易地成为气相状态、并且在规定的温度以下。此外，在本实施方式中，来自热气回路424的加热侧制冷剂在到达加热侧冷冻回路41〇前向注入流路421流入，因此，能够抑制在加热侧冷冻回路410和加热侧压缩机411中加热侧制冷剂过剩地成为高温，能够抑制加热侧压缩机411等烧损。[0156]图7示出了使注入回路420和热气回路424动作并且使过冷却回路416动作并将加热侧载冷剂冷却的情况下的加热单元60中的加热侧冷冻装置402的莫里尔线图。如图7所示，在加热单元60中的冷冻循环中，被吸入到加热侧压缩机411中的加热侧制冷剂如从点A向点B转移所示地被压缩。由加热侧压缩机411排出的制冷剂通过加热侧冷凝器412冷凝从而被冷却，如从点B向点C转移所示地其比焓降低。[0157]接着，借助于加热侧冷凝器412而冷凝的加热侧制冷剂的一部分在过冷却用热交换器SC中被赋予过冷却度，如从点C向点D转移所示地其比焓降低。另一方面，在过冷却用热交换器SC中，在赋予过冷却度的过冷却用旁通流路417中流通的制冷剂借助于过冷却控制阀418而膨胀，并如从点C向点G转移所示地被减压到例如中压程度，然后，在过冷却用热交换器SC中进行热交换，并如从点G向点H所示地吸热，其比焓增加。[0158]进而，在过冷却用热交换器SC中被赋予过冷却度的制冷剂如从点D向点E转移所示地通过加热侧膨胀阀413减压而成为低温。然后，从加热侧膨胀阀413排出的加热侧制冷剂在加热侧蒸发器414S卩加热能力调节用热交换器HC中与加热侧载冷剂进行热交换，并如从点E向点F转移所示地吸热，其比焓增加。通过控制装置70对注入回路420和热气回路424的各阀进行控制，从而产生不通过加热侧蒸发器414的加热侧制冷剂，从而对于通过加热侧蒸发器414的制冷剂，可控制流量而调节其冷冻能力。[0159]这里，在图7中，通过热气回路4M而旁通到加热侧压缩机411的上游侧的加热侧制冷剂如从点B到点I所示地借助于热气阀426而被减压。此外，通过注入回路420而旁通到加热侧压缩机411的上游侧的加热侧制冷剂如从点D延伸的虚线所示地借助于注入阀422而被减压。进而，在加热侧压缩机411的上游侧，通过加热侧蒸发器414的点F的状态的加热侧制冷剂、通过热气回路424而旁通的加热侧制冷剂和通过注入回路42〇而旁通的加热侧制冷剂被混合（点A。这里，控制装置7〇对通过热气回路424而旁通的加热侧制冷剂与通过注入回路42〇而旁通的加热侧制冷剂的比例进行调节，从而可调节点A的位置，因此，能够容易地使向加热侧压缩机411流入的加热侧制冷剂成为气相状态、并且在规定的温度以下。然后，加热侧制冷剂被加热侧压缩机411压缩而从点A转移到高压侧，并在其中途与来自过冷却用旁通流路417的加热侧制冷剂混合而到达点J后被压缩到点B。[0160]另一方面，在加热侧载冷剂循环装置4〇3中，加热侧载冷剂在加热侧载冷剂循环路4：31内循环，可利用加热单元侧主加热部432、第一加热单元侧副加热部434A和第二加热单元侧副加热部434B对加热侧载冷剂适当地进行加热。这里，在本实施方式中，加热侧载冷剂循环路431中的位于第一负载部435A和第二负载部435B的下游侧且加热单元侧主加热部4：32的上游侧的部分和加热侧蒸发器414构成加热能力调节用热交换器HC。由此，能够利用加热侧冷冻装置402将加热侧载冷剂循环装置4〇3中的加热侧载冷剂冷却。并且，在本实施方式中，被加热侧冷冻装置402冷却的加热侧载冷剂通过被加热单元侧主加热部432、第一加热单元侧副加热部4：34A和第二加热单元侧副加热部434B加热、或者通过这些加热部而不被加热，从而能够以所希望的加热能力或冷冻能力对温度控制对象空间S进行温度控制。[0161]高温域的温度控制）[0162]在进行高温域的温度控制的情况下，与中温域的情况同样地，在冷却单元50中，第一低温侧压缩机311、第二低温侧压缩机321和低温侧泵333不被驱动。另一方面，在加热单元60中，在加热侧载冷剂循环装置403中加热侧栗433被驱动，在加热侧冷冻装置402中加热侧压缩机411被驱动。但是，使在加热侧载冷剂循环装置403中循环的加热侧载冷剂的流量比中温域的情况下的流量增加。在进行高温域的温度控制的情况下循环的加热侧载冷剂的流量也可以是例如中温域的情况下的流量的1.5〜3倍左右。[0163]如以上说明的那样，根据本实施方式的环境试验装置2,在冷却单元50中，在低温侧冷冻装置302的第一低温侧冷冻回路310中的第一低温侧蒸发器314的上游侧的部分中，能够利用低温侧载冷剂对第一低温侧制冷剂进行加热，此时，能够根据低温侧载冷剂的加热能力对第一低温侧蒸发器314的冷冻能力进行调节。因此，不操作第一低温侧冷冻回路310的构成要素就能够简易地对该冷冻回路310的冷冻能力宽范围地进行调节。此外，在加热单元㈤中，能够使借助于加热侧冷凝器412而冷凝的加热侧制冷剂以不流入加热侧蒸发器414的方式通过注入回路420而旁通到加热侧蒸发器414的下游侧，并且，能够使通过加热侧压缩机411排出的高温的加热侧制冷剂通过热气回路424而旁通到加热侧蒸发器414的下游侧。由此，能够控制向加热侧蒸发器414流入的加热侧制冷剂的流量，并能够对通过加热侧蒸发器414输出的冷冻能力灵活地进行调节。此时，由于向加热侧蒸发器414流入的加热侧制冷剂不会与高压的加热侧制冷剂混合，因此，能够使被输出的冷冻能力稳定。此外，通过对通过注入回路420而旁通的冷凝的加热侧制冷剂与通过热气回路424而旁通的高温的加热侧制冷剂的比例进行调节，从而能够将向加热侧压缩机411流入的加热侧制冷剂的状态及温度容易地控制成所希望的状态。由此，能够灵活地调节冷冻能力并进行稳定的温度控制。因此，由于能够利用加热侧冷冻装置402输出的在稳定的状态下被调节的冷冻能力对加热侧载冷剂循环装置403的加热侧载冷剂的温度进行控制以对负载部435A、435B的加热能力或冷冻能力进行调节，因而能够利用负载部435A、435B进行稳定的温度控制。并且，通过利用冷却单元50和加热单元60改变温度控制范围，从而能够确保从低温到高温的足够宽的温度控制范围。[0164]因此，能够确保从低温到高温的足够宽的温度控制范围，能够将温度控制对象空间或温度控制对象物简易地在稳定的状态下控制在温度控制范围内的所希望的温度。[0165]此外，在本实施方式中，当在低温侧冷冻装置302中使第一低温侧制冷剂循环、并在低温侧载冷剂循环装置303中使低温侧载冷剂循环以进行向低温域中的向所希望的温度的温度控制时，通过在加热侧载冷剂循环装置403中使加热侧载冷剂循环，从而在向从低温域向中温域或高温域的温度控制切换的情况下，可迅速地实施借助于加热侧载冷剂的温度控制，从而能够有效地缩短从低温域到中温域或高温域中的所希望的温度的到达时间。此夕卜，在从中温域向高温域切换温度控制的情况下，通过使在加热侧载冷刑循坏装置403中循环的加热侧载冷剂的流量比中温域的情况下的流量增加，从而能够有效地缩短从中温域到高温域中的所希望的温度的到达时间。[0166]此外，在本实施方式中，通过第一低温侧蒸发器314而升温的第一低温侧制冷剂在被吸入到第一低温侧压缩机311中前，被第一低温侧膨胀阀313排出的低温的第一低温侧制冷剂冷却，从而能够抑制具有过剩的过热度的第一低温侧制冷剂被吸入到第一低温侧压缩机311中。由此，能够抑制第一低温侧制冷剂的热分解和第一低温侧压缩机311的烧损，能够提高温度控制的稳定性。特别是，在进行了借助于加热单元6〇的加热后进行借助于冷却单元50的冷却的情况下，虽然在冷却单元50中通过第一低温侧蒸发器314进行了热交换的第一低温侧制冷剂具有过剩的过热度的风险提高，但能够抑制这样的第一低温侧制冷剂被吸入到第一低温侧压缩机311中。因此，能够确保并用冷却单元50和加热单元60的系统中的温度控制的适当的稳定性。[0167]此外，在本实施方式中，能够利用过冷却用热交换器SC使加热侧制冷剂的冷冻能力增大，从而能够扩大冷冻能力的调节范围。此外，由于从过冷却用热交换器SC排出的加热侧制冷剂通过注入回路420而旁通，因此，能够有效地降低通过热气回路424而旁通到加热侧蒸发器414的下游侧的高温的加热侧制冷剂的温度。特别是，在进行了借助于冷却单元50的冷却后进行借助于加热单元60的加热的情况下，在没有过冷却用热交换器SC的情况下，虽然在加热单元60中通过加热侧蒸发器414与加热侧载冷剂进行了热交换的加热侧制冷剂无法充分地确保过热度，冷冻能力降低的风险提高，但能够利用过冷却用热交换器SC补偿冷冻能力。因此，能够抑制加热侧蒸发器414的所不希望的冷冻能力降低的发生，能够确保并用冷却单元50和加热单元60的系统中的温度控制的适当的稳定性。[0168]此外，由于低温侧冷冻装置302是二元冷冻装置，因此，与低温侧冷冻装置3〇2是单元式的结构比较，能够确保低温侧冷冻装置302的冷冻能力较高，并且能够扩大可调节的冷冻能力的范围以扩大可控制的温度范围。

权利要求：1.一种环境试验装置，其特征在于，所述环境试验装置具备：腔室，其容纳被检查物；冷却单元，其具有载冷剂循环装置和冷却装置，所述载冷剂循环装置具有一部分被配置在所述腔室内的载冷剂循环路，使载冷剂在该载冷剂循环路内循环，所述冷却装置在所述载冷剂循环路中的被配置在所述腔室外的部分处对所述载冷剂进行冷却；加热单元，其具有被配置在所述腔室内的加热器;和控制装置，其对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，所述冷却装置具有：高温侧冷却回路，其是高温侧压缩机、冷凝器、高温侧膨胀阀和级联冷凝器按该顺序通过配管连接而成的，以使高温侧热介质循环;和低温侧冷却回路，其是低温侧压缩机、所述级联冷凝器、低温侧膨胀阀和蒸发器按该顺序通过配管连接而成的，以使低温侧热介质循环，在所述级联冷凝器中所述低温侧热介质被所述高温侧热介质冷却，在所述蒸发器中所述载冷剂被所述低温侧热介质冷却，所述控制装置通过对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，从而将所述腔室内的温度控制在-67.5°C至127.5°C的温度范围内。2.根据权利要求1所述的环境试验装置，其特征在于，所述腔室的内容积是l〇m3以上且20m3以下。3.根据权利要求2所述的环境试验装置，其特征在于，在对所述腔室内的空间进行冷却时，所述载冷剂循环装置在8〇Lmin至160Lmin的范围中使所述载冷剂在所述载冷剂循环路内循环，由此以4kW的冷却能力对所述腔室内的空间进行冷却。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的环境试验装置，其特征在于，被配置在所述腔室内的所述载冷剂循环路的一部分具有分别沿着同一方向延伸的多个配管部，所述多个配管部在从与其延伸方向垂直的截面观察的情况下按交错排列的方式配置。5.根据权利要求4所述的环境试验装置，其特征在于，被配置在所述腔室内的所述载冷剂循环路的一部分由第一配管组和第二配管组构成，在所述第一配管组和所述第二配管组中分别包括所述多个配管部，所述第一配管组在所述腔室内被配置在水平方向的一侧，所述第二配管组在所述腔室内被配置在水平方向的另一侧，在所述第一配管组与所述第二配管组之间形成有所述被检查物的配置空间。6.根据权利要求5所述的环境试验装置，其特征在于，在所述腔室内配置有从所述配置空间侧覆盖所述第一配管组的第一罩部件，并且配置有从所述配置空间侧覆盖所述第二配管组的第二罩部件。7.根据权利要求6所述的环境试验装置，其特征在于，在所述腔室内的所述配置空间的上方配置有风扇，在所述腔室内配置有从所述配置空间侧覆盖所述风扇的第三罩部件，所述风扇朝向所述第三罩部件进行送风。8.根据权利要求7所述的环境试验装置，其特征在于，所述加热器配置在所述风扇的上方。9.一种环境试验装置，该环境试验装置具备：腔室，其容纳被检查物；冷却单元和加热单元，它们用于对所述腔室内进行温度控制;和控制装置，其对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，所述环境试验装置的特征在于，所述冷却单元包括低温侧冷冻装置和低温侧载冷剂循环装置，所述低温侧冷冻装置是二元冷冻装置，具有:第一低温侧冷冻回路，其是第一低温侧压缩机、第一低温侧冷凝器、第一低温侧膨胀阀和第一低温侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使第一低温侧制冷剂循环;和第二低温侧冷冻回路，其是第二低温侧压缩机、第二低温侧冷凝器、第二低温侧膨胀阀和第二低温侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使第二低温侧制冷剂循环，所述第一低温侧冷凝器和所述第二低温侧蒸发器构成能够彼此热交换的级联冷凝器，所述低温侧载冷剂循环装置具有：用于使低温侧载冷剂循环的低温侧载冷剂循环路；和低温侧加热部，其构成所述低温侧载冷剂循环路的一部分，并且能够对接收的所述低温侧载冷剂进行加热，所述第一低温侧冷冻回路中的位于所述第一低温侧膨胀阀的下游侧且所述第一低温侧蒸发器的上游侧的部分和所述低温侧载冷剂循环路中的位于所述低温侧加热部的下游侧的部分构成能够彼此热交换的冷冻能力调节机构，所述第一低温侧蒸发器被配置在所述腔室内，所述控制装置通过对所述冷却单元和所述加热单元进行控制，从而将所述腔室内的温度控制在-67.5°C至127.5°C的温度范围内。10.根据权利要求9所述的环境试验装置，其特征在于，所述加热单元包括加热侧冷冻装置和加热侧载冷剂循环装置，所述加热侧冷冻装置具有：加热侧冷冻回路，其是加热侧压缩机、加热侧冷凝器、加热侧膨胀阀和加热侧蒸发器按该顺序连接而成的，以使加热侧制冷剂循环；注入回路，其具有注入流路和注入阀，所述注入流路将所述加热侧冷冻回路中的位于所述加热侧冷凝器的下游侧且所述加热侧膨胀阀的上游侧的部分、和所述加热侧冷冻回路中的位于所述加热侧蒸发器的下游侧且所述加热侧压缩机的上游侧的部分以所述加热侧制冷剂能够流通的方式连通，所述注入阀能够对在所述注入流路中流通的所述加热侧制冷剂的流量进行调节;和热气回路，其具有热气流路和热气阀，所述热气回路将所述加热侧冷冻回路中的位于所述加热侧压缩机的下游侧且所述加热侧冷凝器的上游侧的部分、和所述注入流路中的位于所述注入阀的下游侧的部分以所述加热侧制冷剂能够流通的方式连通，所述热气阀能够对在所述热气流路中流通的所述加热侧制冷剂的流量进行调节，所述iP热侧载冷剂循环装置具有:加热侧载冷剂循环路，其用于使加热侧载冷剂循环；加热单元侧加热部，其构成所述加热侧载冷剂循环路的一部分，并且能够对接收的所述加热侧载冷剂进行加热;和负载部，其在所述加热单元侧加热部的下游侧构成所述加热侧载冷剂循环路的一部分，并被配置在所述腔室内，所述加热侧载冷剂循环路的一部分和所述加热侧冷冻装置的所述加热侧蒸发器构成能够彼此热交换的加热能力调节用热交换器。11.根据权利要求10所述的环境试验装置，其特征在于，所述第一低温侧蒸发器具有:第一蒸发器，其在所述腔室内被配置在水平方向的一侧；和第二蒸发器，其在所述腔室内被配置在水平方向的另一侧，被配置在所述腔室内的所述负载部由第一负载部和第二负载部构成，所述第一负载部在所述腔室内被配置在水平方向的一侧，所述第二负载部在所述腔室内被配置在水平方向的另一侧，、、：在所述第一蒸发器和所述第一负载部与所述第二蒸发器和所述第二负载部之间形成有所述被检查物的配置空间，绝一所述第一蒸发器被配置在所述第一负载部的上方，所述第二蒸发器被配置在所述弟一负载部的上方。12.根据权利要求11所述的环境试验装置，其特征在于，+爲并邱的笛在所述腔室内配置有从所述配置空间侧覆盖所述第一蒸发器和所述第一、负3-罩部件，并且配置有从所述配置空间tl覆盖所述第二蒸发器和所述第二负载部的弟一卓部件。13.根据权利要求12所述的环境试验装置，其特征在于，在所述腔室内的所述配置空间的上方配置有风扇，在所述腔室内配置有从所述配置空间侧覆盖所述风扇的第三罩部件’所述风扇朝向所述第三罩部件进行送风。

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