申请/专利权人：山西中科晶电信息材料有限公司

申请日：2019-09-30

公开（公告）日：2020-06-26

公开（公告）号：CN210856408U

主分类号：C30B15/30(20060101)

分类号：C30B15/30(20060101);C30B11/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.06.26#授权

摘要：本实用新型涉及半导体材料制备装置技术领域，更具体而言，涉及一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉，包括晶体生长装置与炉体升降装置，在晶体生长装置中通过自上而下的多组加热器实现对炉芯及坩埚炉、石英管的热辐射加热，多组加热器独立运作，实现不同部位不同温度的加热；通过底部玻璃棒提供热流失通道；通过炉体升降装置，避免因坩埚内部熔体震动而导致的生长界面波动带来的晶体缺陷，使得晶体尾部多晶率由原来6%下降到2%，晶体的EPD及电性能均匀性得到明显提升；本实用新型提供的晶体生长炉结构简单，操作便捷，方便了装炉与出炉操作，工作效率由3炉（人·h）提高到5炉（人·h）。

主权项：1.一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉，其特征在于：包括晶体生长装置与炉体升降装置；所述晶体生长装置包括PBN坩埚（1）、石英管（2）、加热器（3），所述PBN坩埚（1）设置在石英管（2）内，所述石英管（2）上部设置有石英帽（4），石英管（2）放置在炉芯（5）上，炉芯内设置有玻璃棒（6）；所述晶体生长装置外设置有保温装置（7），所述保温装置（7）为下部开口的中空筒状结构，所述保温装置（7）内壁镶嵌有加热器（3）；所述炉体升降装置包括提拉装置（8）与轨道装置（9），所述提拉装置（8）下端与保温装置（7）固定连接，提拉装置（8）外侧与轨道装置（9）滑动连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 山西中科晶电信息材料有限公司 一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉

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