申请/专利权人:沈阳中科汉达科技有限公司
申请日:2019-11-05
公开(公告)日:2020-06-26
公开(公告)号:CN210868187U
主分类号:H05B3/02(20060101)
分类号:H05B3/02(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2020.06.26#授权
摘要:本实用新型公开了一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖,所述上盖的下端前部和后部均固定焊接有外层套板,且两个外层套板的下端共同焊接有下盖,所述下盖的上端中部固定连接有坩埚,所述下盖的上端设置有加热机构,所述外层套板的内壁上设置有保温机构,所述上盖的上端中部开设有放置孔,所述外层套板与下盖的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板。本实用新型所述的一种电阻蒸发加热器结构,通过加热器外增加高温金属材质保温盒,全部由高温金属钽、钼薄板焊接铆接制成,从而达到对温度的保存,减少热量的流失,增加热量的利用率,而内部的加热片均以坩埚围绕,从而来实现对坩埚的均匀加热的效果,使整个镀膜过程中简单稳定。
主权项:1.一种电阻蒸发加热器结构,包括上盖1,其特征在于:所述上盖1的下端前部和后部均固定焊接有外层套板2,且两个外层套板2的下端共同焊接有下盖9,所述下盖9的上端中部固定连接有坩埚3,所述下盖9的上端设置有加热机构7,所述外层套板2的内壁上设置有保温机构4,所述上盖1的上端中部开设有放置孔6,所述外层套板2与下盖9的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板8。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 沈阳中科汉达科技有限公司 一种电阻蒸发加热器结构
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