申请/专利权人：中国计量科学研究院

申请日：2020-04-16

公开（公告）日：2020-06-30

公开（公告）号：CN111351451A

主分类号：G01B11/30(20060101)

分类号：G01B11/30(20060101);G05D15/01(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.07.24#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：本发明公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本发明通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。

主权项：1.一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，其特征在于，所述表面微观形貌测量传感器包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴的外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国计量科学研究院 一种表面微观形貌测量传感器

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