申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2018-11-09

公开（公告）日：2020-06-30

公开（公告）号：CN111357091A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);G02B5/28(20060101)

优先权：["20171117 JP 2017-221852"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.22#授权;2020.07.24#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：吸附方法是使用吸附夹头吸附法布里‑帕罗干涉滤波器的吸附方法，该法布里‑帕罗干涉滤波器具备基板、设置于上述基板上且包含面向与上述基板相反侧的主面的层叠结构部、及自与上述主面交叉的方向观察位于上述层叠结构部的外侧且较上述主面更朝上述基板侧凹陷的薄化部，该吸附方法具备：第1工序，其以与上述主面相对的方式配置上述吸附夹头；第2工序，其在上述第1工序之后，使上述吸附夹头接触于上述法布里‑帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在上述第2工序之后，通过上述吸附夹头吸附上述法布里‑帕罗干涉滤波器。

主权项：1.一种吸附方法，其特征在于，是使用吸附夹头吸附法布里-帕罗干涉滤波器的吸附方法，所述法布里-帕罗干涉滤波器具备基板、设置于所述基板上且包含面向与所述基板相反侧的主面的层叠结构部、及自与所述主面交叉的方向观察位于所述层叠结构部的外侧且较所述主面更朝所述基板侧凹陷的薄化部，所述吸附方法具备：第1工序，其以与所述主面相对的方式配置所述吸附夹头；第2工序，其在所述第1工序之后，使所述吸附夹头接触于所述法布里-帕罗干涉滤波器；及第3工序，其在所述第2工序之后，通过所述吸附夹头吸附所述法布里-帕罗干涉滤波器，所述吸附夹头具备：主体部，其具有形成有用于吸气的开口的表面；及接触部，其以自所述表面突出的方式设置于所述表面，且具有接触面，在所述层叠结构部，设置有包含经由空隙而彼此相对且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部、及所述主面的一部分的膜结构部，在所述第1工序中，以所述接触面与所述薄化部的底面相对的方式配置所述吸附夹头，在所述第2工序中，在所述表面与所述主面之间形成空间并且使所述接触面接触于所述底面，在所述第3工序中，通过经由所述开口的吸气而将所述空间内排气。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 吸附方法

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