申请/专利权人：夏泰鑫半导体(青岛)有限公司

申请日：2019-11-27

公开（公告）日：2020-06-30

公开（公告）号：CN111354670A

主分类号：H01L21/68(20060101)

分类号：H01L21/68(20060101);G03F9/00(20060101)

优先权：["20181220 US 62/782363"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2020.07.24#实质审查的生效;2020.06.30#公开

摘要：一种对准方法，包括：获取包括多组不同对准参数间对应关系的对应关系表，对准参数包括对准标记类型、激光类型及对准标记位置组；随机调用对应关系表中的一组对应关系形成一对准方案；及根据对准方案执行对准操作，其中如果对准操作的执行时间超过预设时间，则放弃当前执行的对准方案，再调用对应关系表中另一组对应关系形成新的对准方案并根据新的对准方案执行对准操作。本发明提高了对准操作的自动化程度，降低了重工的概率，减小了人力成本。本发明还提供一种对准系统及计算机可读存储介质。

主权项：1.一种对准方法，用于将晶圆与掩模对准，所述晶圆被划分成多个阵列分布的曝光单元，每个所述曝光单元内形成有多种类型的对准标记，其特征在于，所述对准方法包括：获取包括多组不同对准参数间对应关系的对应关系表，所述对准参数包括对准标记类型、激光类型及对准标记位置组；随机调用所述对应关系表中的一组对应关系形成一对准方案；及根据所述对准方案执行对准操作，其中如果所述对准操作的执行时间超过预设时间，则放弃当前执行的所述对准方案，再调用所述对应关系表中另一组对应关系形成新的对准方案并根据所述新的对准方案执行对准操作。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 对准方法、对准系统及计算机可读存储介质

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