申请/专利权人：广州康滤净化科技有限公司

申请日：2020-03-17

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111359447A

主分类号：B01D67/00(20060101)

分类号：B01D67/00(20060101);B01D71/04(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/14(20060101);B01D46/54(20060101);C02F1/44(20060101);C02F101/20(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.01.20#发明专利申请公布后的驳回;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：本发明公开了一种磁共溅射法制备的金属过滤膜及其制备方法，该方法包含：步骤1，采用磁控溅射镀膜机，打开设备电源，并打开冷却水、空压机，打开放气阀，待无气压声时打开真空室门，将玻璃样品安放在靶台，关闭真空室门，关闭放气阀，打开机械泵控制电源，打开旁抽阀抽真空；步骤2，关闭旁抽阀，打开前级泵，打开分子泵电源，逐渐打开翻板阀，抽真空；步骤3，打开氩气瓶和控制阀，调节流量，调节真空室气压，打靶台挡板开直流电源开关，调节功率后出现辉光，打开样品板开始溅射；步骤4，溅射一段时间后，停止溅射，逐项关闭各处阀门，取出金属薄膜。本发明制备的金属过滤膜能够去除空气中的PM2.5及水中重金属等杂质，保护人体健康。

主权项：1.一种通过磁共溅射法制备金属过滤膜的制备方法，其特征在于，所述的方法包含：步骤1，采用磁控溅射镀膜机，打开设备电源，并打开冷却水、空压机，打开放气阀，待无气压声时打开真空室门，将玻璃样品安放在靶台适当位置，关闭真空室门，关闭放气阀，打开机械泵控制电源，打开旁抽阀抽真空；步骤2，关闭旁抽阀，打开前级泵，打开分子泵电源，逐渐打开翻板阀，抽真空；步骤3，打开氩气瓶和控制阀，调节流量，调节真空室气压，打靶台挡板开直流电源开关，调节功率后出现辉光，打开样品板开始溅射；步骤4，溅射一段时间后，停止溅射，逐项关闭设备各处阀门，取出金属薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广州康滤净化科技有限公司 一种磁共溅射法制备的金属过滤膜及其制备方法

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