申请/专利权人：清华大学

申请日：2020-02-14

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111366231A

主分类号：G01H9/00(20060101)

分类号：G01H9/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2022.02.25#发明专利申请公布后的驳回;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：本申请涉及一种直接测量敏感件运动的振动检测装置。检测电路可以根据感应件的位移输出位移信号，反馈控制电路根据位移信号输出反馈信号。第一驱动装置可以根据反馈信号驱动感应件运动使感应件相对于位移参照装置的位移为零或趋近于零。位移参照装置相对于基座架固定设置。当地面发生振动时，感应件会相对于位移参照装置发生位移，位移可以为竖直方向的位移。此时检测电路可以检测到该位移并输出位移信号，反馈控制电路根据位移信号输出反馈信号。反馈信号可以直接反应地面的振动情况，由于敏感件相对于感应件固定设置，因此可以直接反应敏感件的振动情况。然后根据反馈信号可以对感应件的测量进行补偿，进而可以提高修正结果的精度。

主权项：1.一种振动测量装置，其特征在于，包括：基座架100，包围形成容纳空间110；感应件170，所述感应件170的一端活动设置于所述基座架100，用于固定设置敏感件180；位移参照装置190，设置于所述容纳空间110，相对于所述基座架100固定设置；检测电路196，用于根据所述感应件170相对于所述位移参照装置190的位移输出位移信号；反馈控制电路198，用于根据所述位移信号输出反馈信号；以及第一驱动装置220，位于所述容纳空间110，并设置于所述感应件170和所述基座架100之间，用于根据所述反馈信号驱动所述感应件170运动使所述感应件170相对于所述位移参照装置190的位移为零或趋近于零。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 振动测量装置

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