申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2020-03-30

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111366111A

主分类号：G01B17/04(20060101)

分类号：G01B17/04(20060101);G01L1/16(20060101);G01L25/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.12.03#授权;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：本发明属于声表面波传感器的设计领域，具体涉及一种利用三个LGS声表面波谐振器组成的应变传感器及测量方法。首先利用三个LGS声表面波谐振器建立三个谐振频率随温度变化和应变变化的关系式；然后根据声表面波谐振器在同一温度环境中，具有相同温度系数和不同应变系数的特点，消除温度及温度变化与应变变化耦合引起的谐振频率的变化；最后得到谐振频率与应变变化之间的关系式，通过该关系式即可求出待测物体应变变化的大小Δε。本发明完全消除了温度对于应变测试的影响，同时提高了应变测试的准确性。可用于任何温度环境中，且简单易操作。

主权项：1.一种利用三个LGS声表面波谐振器组成的应变传感器，其特征在于：该应变传感器包括：第一LGS声表面波谐振器、第二LGS声表面波谐振器和第三LGS声表面波谐振器；第一LGS声表面波谐振器沿其声表面波传播方向与待测物体主应变相同方向设置于待测物体上，第二LGS声表面波谐振器沿其声表面波传播方向与待测物体主应变垂直方向设置于待测物体上，第三LGS声表面波谐振器沿其声表面波传播方向与待测物体主应变呈任意角度方向设置于待测物体上，其中任意角度是指除相同方向和垂直方向外的角度；三个LGS声表面波谐振器设置在待测物体的同一水平位置；三个LGS声表面波谐振器均包括LGS压电基底以及设置于LGS压电基底上的叉指和电极；三个LGS声表面波谐振器压电基底材料切向相同。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 一种利用三个LGS声表面波谐振器组成的应变传感器及测试方法

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