申请/专利权人：广东天行测量技术有限公司

申请日：2020-04-20

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111366186A

主分类号：G01D21/00(20060101)

分类号：G01D21/00(20060101);G01D11/00(20060101);G01D11/30(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：一种高精度测量设备，包括：底座、底板、横梁、X轴传动组、Y轴传动组、Z轴传动组、工作台、测量组件、控制组件和电源。本申请提供的一种高精度测量设备，X轴传动组和Y轴传动组独立运动，避免误差的叠加；X轴传动组安装在横梁的侧面，减少Z轴传动组的悬臂距离；同时X轴传动组和Y轴传动组上的传动连接采用钢片连接，既保持传动的刚性，也抵消了丝杆窜动的误差。

主权项：1.一种高精度测量设备，其特征在于，包括：底座，用于安装各零件；底板，用于安装各零件；所述底板设置于所述底座上；横梁，用于安装X轴传动组；所述横梁设置于所述底板上；X轴传动组，用于驱动Z轴传动组沿X轴方向运动；所述X轴传动组设置于所述横梁上；Y轴传动组，用于驱动工作台沿Y轴方向运动；所述Y轴传动组设置于所述底板上；Z轴传动组，用于驱动测量组件沿Z轴方向运动；所述Z轴传动组设置于所述X轴传动组上；工作台，用于放置待测量物体；所述工作台设置于所述Y轴传动组上；测量组件，用于测量待测量物体；所述测量组件设置于所述Z轴传动组上，且位于所述工作台上方；控制组件，用于控制各零件工作；所述控制组件设置于所述底座上，且分别与所述X轴传动组、所述Y轴传动组、所述Z轴传动组和所述测量组件连接；电源，用于为各零件供电；所述电源设置于所述底座上，且分别与所述X轴传动组、所述Y轴传动组、所述Z轴传动组、所述测量组件和所述控制组件连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东天行测量技术有限公司 一种高精度测量设备

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