申请/专利权人:深圳市原速光电科技有限公司
申请日:2020-04-27
公开(公告)日:2020-07-03
公开(公告)号:CN111364024A
主分类号:C23C16/455(20060101)
分类号:C23C16/455(20060101);C23C16/54(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.04.21#授权;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开
摘要:本发明公开了一种原子层沉积设备,原子层沉积设备包括原子层沉积装置及卷料固定装置,其中,原子层沉积装置用于对待沉积的样品进行沉积处理,卷料固定装置用于安装待沉积的样品,以将待沉积的样品传输到原子层沉积装置中或者从原子层沉积装置中收回,卷料固定装置包括第一承重座、第二承重座、卷料轴及驱动件,卷料轴具有相对的安装端及驱动端,安装端与第二安全夹头转动连接,驱动端与第一安全夹头转动连接,并与驱动件驱动连接,以使卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理。本发明改进了原子层沉积设备的结构,提升了原子层沉积设备的装配效率,方便组装原子层沉积设备的各零部件,节省了装配所需的时间。
主权项:1.一种原子层沉积设备,其特征在于,包括:原子层沉积装置,用于对待沉积的样品进行沉积处理;卷料固定装置,用于安装待沉积的样品,以将待沉积的样品传输到所述原子层沉积装置中或者从所述原子层沉积装置中收回;所述卷料固定装置包括第一承重座、第二承重座、卷料轴及驱动件,所述第一承重座上设置有第一安全夹头;所述第二承重座与所述第一承重座相对设置,所述第二承重座上设置有第二安全夹头;所述卷料轴具有相对的安装端及驱动端,所述安装端与所述第二安全夹头转动连接,所述驱动端与所述第一安全夹头转动连接,并与所述驱动件驱动连接,以使所述卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理。
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权利要求:
百度查询: 深圳市原速光电科技有限公司 原子层沉积设备
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