申请/专利权人:芯恩(青岛)集成电路有限公司
申请日:2018-12-26
公开(公告)日:2020-07-03
公开(公告)号:CN111365213A
主分类号:F04B37/08(20060101)
分类号:F04B37/08(20060101);F04B39/06(20060101)
优先权:
专利状态码:失效-发明专利申请公布后的撤回
法律状态:2021.11.09#发明专利申请公布后的撤回;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开
摘要:本发明提供一种低温泵,所述低温泵包括:压缩机,所述压缩机提供冷源;至少两个冷凝井,所述冷凝井分别与所述压缩机相连接,并与所述压缩机之间形成闭合循环回路;所述冷凝井分别与机台相连接,使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温,以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。本发明可实现冷凝井的交替再生,提高机台的稼动率,且根据机台的具体情况,可设置不同的冷凝井,在提高机台的稼动率的同时,还可降低成本。
主权项:1.一种低温泵,其特征在于,所述低温泵包括:压缩机,所述压缩机提供冷源;至少两个冷凝井,所述冷凝井分别与所述压缩机相连接,并与所述压缩机之间形成闭合循环回路;所述冷凝井分别与机台相连接,使得所述机台中的气体在所述冷凝井中降温,以通过所述冷凝井对所述机台进行抽气。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 芯恩(青岛)集成电路有限公司 低温泵
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。