申请/专利权人:三星显示有限公司
申请日:2019-08-13
公开(公告)日:2020-07-03
公开(公告)号:CN111370465A
主分类号:H01L29/06(20060101)
分类号:H01L29/06(20060101);H01L29/66(20060101);H01L29/786(20060101);H01L27/12(20060101);H01L21/77(20170101)
优先权:["20181206 KR 10-2018-0156282"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2021.11.19#实质审查的生效;2020.07.03#公开
摘要:本发明公开了薄膜晶体管、包括薄膜晶体管的显示设备及其制造方法。该薄膜晶体管包括:有源层,包括具有第一厚度的第一部分和具有大于第一厚度的第二厚度的第二部分;封盖层,填充第一部分与第二部分之间的厚度差,并且布置在第一部分上;栅极绝缘层,布置在封盖层上;栅电极,在有源层上,其中栅极绝缘层和封盖层设置在栅电极与有源层之间;以及源电极和漏电极,连接到有源层。
主权项:1.一种薄膜晶体管,包括:有源层,包括具有第一厚度的第一部分和具有大于所述第一厚度的第二厚度的第二部分;封盖层,填充所述第一部分与所述第二部分之间的厚度差,并且布置在所述第一部分上;栅极绝缘层,布置在所述封盖层上;栅电极,在所述有源层上,其中所述栅极绝缘层和所述封盖层设置在所述栅电极与所述有源层之间;以及源电极和漏电极,连接到所述有源层。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星显示有限公司 薄膜晶体管、包括薄膜晶体管的显示设备及其制造方法
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