申请/专利权人：浜松光子学株式会社

申请日：2018-11-09

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111373521A

主分类号：H01L21/673(20060101)

分类号：H01L21/673(20060101);G01J3/26(20060101);G02B26/00(20060101)

优先权：["20171124 JP 2017-225973"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：一种搬运方法，是用于搬运包含多个法布里‑帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将上述对象物收纳于收纳容器的第1工序；上述法布里‑帕罗干涉滤波器具有基板、及设置于上述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在上述第1工序中，在上述多个法布里‑帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将上述对象物收纳于上述收纳容器并支撑。

主权项：1.一种搬运方法，其特征在于，是用于搬运包含多个法布里-帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将所述对象物收纳于收纳容器的第1工序，所述法布里-帕罗干涉滤波器具有基板、以及设置于所述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部，在所述第1工序中，在所述多个法布里-帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将所述对象物收纳于所述收纳容器并支撑。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浜松光子学株式会社 搬运方法

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