申请/专利权人：胜高股份有限公司

申请日：2018-05-31

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111373080A

主分类号：C30B29/06(20060101)

分类号：C30B29/06(20060101);C30B15/00(20060101)

优先权：["20170929 JP 2017-191553"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.02.22#授权;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：本发明的坩埚支承底座（12）具备能够嵌合分割石墨部件（11）的嵌合凹部（122），嵌合凹部（122）的开口边缘（123）构成为，与分割石墨部件（11）接触的接触部（P1）设置在比培育单晶硅之后残留在石英坩埚（221）的硅熔液的固化物（M1）的表面更高的位置，伴随着硅熔液固化时的膨胀而作用在分割石墨部件（11）的力作用在比接触部（P1）更低的位置。

主权项：1.一种坩埚支承底座，其是构成为能够安装于使用提拉法的单晶提拉装置，且支承将支承石英坩埚的石墨坩埚纵向分割而得到的多个分割石墨部件的坩埚支承底座，其特征在于，具备能够嵌合所述多个分割石墨部件的嵌合凹部，所述嵌合凹部的开口边缘构成为，与所述多个分割石墨部件的接触部设置在比培育单晶硅之后残留在所述石英坩埚的硅熔液的固化物的表面更高的位置，伴随着所述硅熔液固化时的膨胀而作用在所述多个分割石墨部件的力作用在比所述接触部更低的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 胜高股份有限公司 坩埚支承底座、石英坩埚支承装置及单晶硅的制造方法

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