申请/专利权人：瑞士艾发科技

申请日：2018-11-27

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111373520A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101)

优先权：["20171128 CH 01451/17"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.08.29#授权;2020.10.20#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：一种衬底加工设备10包括：底座19，其带有加工侧表面190；衬底支承件14，其布置于加工侧表面190上，并且设计成在其周缘处承载衬底17，该周缘，更具体地由所述周缘限定的平面与加工侧表面190间隔开，其中，衬底加工设备10还包括：适于测量电磁辐射的辐射传感器21，其布置于底座19的后侧表面191的一侧上；辐射通道22、23、24、25、26，其布置于辐射传感器21与衬底支承件14的周缘之间，更具体地布置于辐射传感器21与由所述周缘限定的平面之间，其中，辐射通道22、23、24、25、26至少部分地可透过电磁辐射。

主权项：1.一种衬底加工设备10，包括：-底座19，其带有延伸的基本上平面的加工侧表面190，-衬底支承件14，其布置于所述加工侧表面190上，并且设计成在其周缘处承载所述衬底17，所述周缘限定与所述加工侧表面190间隔开的平面，-加热元件15，其在由所述衬底支承件14的所述周缘限定的所述平面与所述加工侧表面190之间布置于所述底座19上，所述加热元件15包括通路25，所述通路25允许电磁辐射从由所述衬底支承件14的所述周缘限定的所述平面通过而到达所述加工侧表面190，-至少一个辐射传感器21，其适于测量电磁辐射，-至少一个辐射通道，其布置于所述至少一个辐射传感器21与由所述衬底支承件14的所述周缘限定的所述平面之间，其中，所述辐射通道至少部分地可透过电磁辐射。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞士艾发科技 衬底加工设备和加工衬底并制造被加工工件的方法

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