申请/专利权人：株式会社爱发科

申请日：2019-03-28

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111373523A

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);C23C14/50(20060101)

优先权：["20180411 JP 2018-075870"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.08#授权;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：本发明提供一种能够以垂直的姿态稳定地保持多个基板的基板保持装置、基板保持方法和成膜装置。本发明的一个方式的基板保持装置具备：基板支承台和夹紧机构。所述基板支承台具有支承面和旋转机构部。所述支承面具有多个支承区域，在所述多个支承区域分别配置有多个基板。所述旋转机构部构成为能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态。所述夹紧机构具有多个夹紧部。所述多个夹紧部构成为沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部。所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的间隙区域，并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。

主权项：1.一种基板保持装置，具有：基板支承台以及夹紧机构，所述基板支承台具有：支承面，其具有分别配置多个基板的多个支承区域；旋转机构部，其能够使所述支承面绕与所述支承面平行的轴从水平姿态立起为垂直姿态，所述夹紧机构具有：多个夹紧部，其沿着所述多个支承区域的周围配置，并且能够保持所述多个基板的周缘部，所述多个夹紧部包括多个第一夹紧部，所述多个第一夹紧部配置在所述多个支承区域之间的中间区域并且能够分别保持所述多个基板的周缘部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社爱发科 基板保持装置、基板保持方法和成膜装置

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