申请/专利权人:信越化学工业株式会社
申请日:2018-10-18
公开(公告)日:2020-07-03
公开(公告)号:CN111373006A
主分类号:C09G1/02(20060101)
分类号:C09G1/02(20060101);C09K3/14(20060101);B24B37/00(20120101);C03C19/00(20060101)
优先权:["20171117 JP 2017-222254"]
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.04.26#授权;2020.07.31#实质审查的生效;2020.07.03#公开
摘要:本发明为一种合成石英玻璃基板用的抛光剂,其为用于合成石英玻璃基板的抛光剂,其特征在于,所述抛光剂包含湿式二氧化铈颗粒与非球形二氧化硅颗粒,所述湿式二氧化铈颗粒的平均一次粒径为30nm~50nm,所述非球形二氧化硅颗粒的平均一次粒径为80nm~120nm。由此,提供一种具有高抛光速度、同时能够充分减少因抛光导致的缺陷的产生的合成石英玻璃基板用的抛光剂。
主权项:1.一种合成石英玻璃基板用的抛光剂,其为用于合成石英玻璃基板的抛光剂,其特征在于,所述抛光剂包含湿式二氧化铈颗粒与非球形二氧化硅颗粒,所述湿式二氧化铈颗粒的平均一次粒径为30nm~50nm,所述非球形二氧化硅颗粒的平均一次粒径为80nm~120nm。
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权利要求:
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