申请/专利权人：脸谱科技有限责任公司

申请日：2018-10-05

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111373542A

主分类号：H01L27/15(20060101)

分类号：H01L27/15(20060101);H01L33/48(20060101);H01L21/027(20060101);H01L33/32(20060101);H01L33/00(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：["20171020 US 15/789,275"]

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态：2024.01.19#发明专利申请公布后的视为撤回;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：通过跨多个发光二极管LED管芯沉积光致抗蚀剂材料并使用LED管芯作为光刻掩模来促进在每个LED管芯上形成弹性体界面层elayer，来在多个LED管芯上方形成elayer。elayer促进每个LED管芯与拾取和放置头PPH的粘合附接，允许LED管芯被拾取并放置到包括用于电子显示器的子像素的控制电路的显示器衬底上。在一些实施例中，LED管芯是微LEDμLED管芯。

主权项：1.一种方法，包括：在载体衬底上的发光二极管LED管芯上及所述LED管芯之间沉积光致抗蚀剂材料；响应于沉积所述光致抗蚀剂材料，穿过所述载体衬底朝向所述LED管芯和所沉积的光致抗蚀剂材料施加光；吸收入射到所述LED管芯上的所述光的一部分，以在所述LED管芯上保留可溶性第一部分光致抗蚀剂材料；将在所述LED管芯之间的光致抗蚀剂材料部分暴露于所述光的另一部分，以使在所述LED之间的第二部分光致抗蚀剂材料变成不溶性的；响应于施加所述光，去除所述第一部分光致抗蚀剂材料；响应于去除所述第一部分，在每个LED管芯上以及在所述第二部分光致抗蚀剂之间沉积弹性体材料；和响应于沉积所述弹性体材料，去除所述第二部分光致抗蚀剂材料，所述弹性体材料在所述LED管芯上形成弹性体界面层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 脸谱科技有限责任公司 发光二极管的弹性体层制造

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