申请/专利权人：福建省福联集成电路有限公司

申请日：2019-12-02

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN210922587U

主分类号：G01C9/00(20060101)

分类号：G01C9/00(20060101);G01C9/06(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.03#授权

摘要：本实用新型公开了一种晶舟倾斜定点自动感应装置，包括载台、传感器和镜面反射点，所述载台用于承载所述晶舟，所述传感器可拆卸设置在所述载台上，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述镜面反射点包括第一镜面反射点，所述晶舟设置有所述第一镜面反射点，所述第一镜面反射点用于反射所述光源发射端发出的光，并形成特定光路。通过在晶舟上设置镜面反射点，晶舟只有在晶舟正确放置在载台时所形成的反射光路才能使传感器感应到，从而确定晶舟没有发生特定方位的倾斜。整个结构灵活巧妙，可以根据不同要求调整传感器的角度；镜面反光点可拆卸设置在晶舟上，适用于任何机台使用的晶舟。

主权项：1.一种晶舟倾斜定点自动感应装置，其特征在于，包括载台、传感器和镜面反射点，所述载台用于承载所述晶舟，所述传感器设置在所述载台上，所述传感器包括光源发射端和光源接收端，所述光源接收端用于接收所述光源发射端发出的光，所述镜面反射点包括第一镜面反射点，所述晶舟设置有所述第一镜面反射点，所述第一镜面反射点用于反射所述光源发射端发出的光，所述晶舟正确放置在载台时所述第一镜面反射点反射光到光源接收端。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建省福联集成电路有限公司 晶舟倾斜定点自动感应装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD