申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
申请日:2019-01-09
公开(公告)日:2020-07-17
公开(公告)号:CN111430262A
主分类号:H01L21/67(20060101)
分类号:H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开
摘要:本发明提供一种晶圆背面边缘区清洗设备及晶圆背面清洗方法,清洗设备包括:可旋转承载台,位于晶圆中心下方,用于固定支撑及旋转所述晶圆;喷嘴,设置于晶圆边缘区下方或所述晶圆外侧下方,用于向所述晶圆的背面边缘区喷射清洗液,以清洗所述晶圆的背面边缘区。本发明的一种晶圆背面边缘区清洗设备及晶圆背面清洗方法能清除晶圆背面边缘区微粒,有效清洗晶圆背面,减少清洗过程中对晶圆背面的损伤,有利于后续制程的稳定,提高产品良率。
主权项:1.一种晶圆背面边缘区清洗设备,其特征在于,包括:可旋转承载台,位于晶圆中心下方,用于固定支撑及旋转所述晶圆;喷嘴,设置于晶圆边缘区下方或所述晶圆外侧下方,用于向所述晶圆的背面边缘区喷射清洗液,以清洗所述晶圆的背面边缘区。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长鑫存储技术有限公司 一种晶圆背面边缘区清洗设备及晶圆背面清洗方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。