申请/专利权人：株式会社富士

申请日：2017-12-07

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111433898A

主分类号：H01L21/50(20060101)

分类号：H01L21/50(20060101);H01L21/60(20060101);H05K13/02(20060101);H05K13/04(20060101);H05K13/08(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.23#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：对在从分割为多个元件的晶圆拾取元件而向基材安装时在判定元件能否使用后再安装上述元件的安装系统中的信息进行管理的信息管理装置具备：信息存储部，存储各种信息；信息获取部，获取与晶圆中的元件的拾取位置相关的信息和与元件能否使用的判定结果相关的信息；及信息处理部，使元件的拾取位置与能否使用的判定结果相关联的信息存储于信息存储部。

主权项：1.一种信息管理装置，对安装系统中的信息进行管理，所述安装系统在从分割为多个元件的晶圆拾取所述元件而向基材安装时在判定所述元件能否使用后再安装所述元件，所述信息管理装置具备：信息存储部，存储各种信息；信息获取部，获取与所述晶圆中的所述元件的拾取位置相关的信息和与所述元件能否使用的判定结果相关的信息；及信息处理部，使所述元件的拾取位置与所述能否使用的判定结果相关联的信息存储于所述信息存储部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社富士 信息管理装置及信息管理方法

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