申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2018-12-10

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111433885A

主分类号：H01J37/34(20060101)

分类号：H01J37/34(20060101);C23C14/35(20060101);C23C14/34(20060101)

优先权：["20171211 US 62/597,397","20181207 US 16/213,805"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.12.29#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：本文提供磁电管组件以及并有该磁电管组件的处理系统的实施例。一些实施例中，一种磁电管组件包括：可旋转磁体组件，耦接至主体的底部且具有彼此间隔开的多个磁体；以及包覆主体，设置在该多个磁体之间的空间中。一些实施例中，该磁电管组件进一步包括主体，该主体沿着该磁电管组件的中心轴延伸且具有冷却剂馈通通道，以将冷却剂提供至该主体下方的区域。

主权项：1.一种磁电管组件，包括：可旋转磁体组件，具有彼此间隔开的多个磁体；以及包覆主体，设置在所述多个磁体之间的空间中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 具有增强靶材冷却设置的磁电管

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