申请/专利权人:苏州蓝沛光电科技有限公司
申请日:2019-01-09
公开(公告)日:2020-07-17
公开(公告)号:CN111427233A
主分类号:G03F7/00(20060101)
分类号:G03F7/00(20060101)
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开
摘要:本发明提供一种压印模具的制作方法,包括如下步骤:1制作母版结构,母版结构的表面形成有多个第一凹槽结构;2基于母版结构制作转印模板,转印模板的表面形成有多个凸起结构;3提供压印模具基板;4于压印模具基板的表面形成压印模具柔性材料层;5基于转印模板采用压印工艺于压印模具柔性材料层的表面形成多个第二凹槽结构;6将压印模具柔性材料层固化;7剥离转印模板。本发明的压印模具的制作方法可以提高母版结构的利用率,制备工艺简单,压印模具内的应力较小,不会存在爆裂的风险。
主权项:1.一种压印模具的制作方法,其特征在于,所述压印模具的制作方法包括如下步骤:1制作母版结构,所述母版结构的表面形成有多个第一凹槽结构;2基于所述母版结构制作转印模板,所述转印模板的表面形成有多个与所述第一凹槽结构一一对应的凸起结构;3提供压印模具基板;4于所述压印模具基板的表面形成压印模具柔性材料层;5基于所述转印模板采用压印工艺于所述压印模具柔性材料层的表面形成多个第二凹槽结构,所述第二凹槽结构与所述第一凹槽结构相同;6将所述压印模具柔性材料层固化;7剥离所述转印模板,以得到与所述母版结构具有相同凹槽结构的压印模具。
全文数据:
权利要求:
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