申请/专利权人:三星电子株式会社
申请日:2019-12-31
公开(公告)日:2020-07-17
公开(公告)号:CN111430389A
主分类号:H01L27/146(20060101)
分类号:H01L27/146(20060101)
优先权:["20190109 KR 10-2019-0002612"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.01.07#实质审查的生效;2020.07.17#公开
摘要:一种图像传感器可以包括:衬底,所述衬底包括彼此相对的第一表面和第二表面;多个光电转换器件,所述多个光电转换器件在所述衬底内彼此不直接接触;第一沟槽,所述第一沟槽被构造为从所述衬底的所述第一表面延伸到所述衬底的内部并且在所述多个光电转换器件中的相邻光电转换器件之间延伸;第一支撑件,所述第一支撑件在所述第一沟槽内;以及第一隔离层,所述第一隔离层在所述第一沟槽内至少部分地覆盖所述第一支撑件的两个侧壁,其中,所述第一支撑件的下表面与所述衬底的所述第一表面共面。
主权项:1.一种图像传感器,包括:衬底,所述衬底包括彼此相对的第一表面和第二表面;多个光电转换器件,所述多个光电转换器件在所述衬底内彼此不直接接触;第一沟槽,所述第一沟槽被构造为从所述衬底的所述第一表面延伸到所述衬底的内部并且在所述多个光电转换器件中的相邻光电转换器件之间延伸;第一支撑件,所述第一支撑件位于所述第一沟槽内;以及第一隔离层,所述第一隔离层在所述第一沟槽内至少部分地覆盖所述第一支撑件的两个侧壁,其中,所述第一支撑件的下表面与所述衬底的所述第一表面共面。
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