申请/专利权人：上海奕瑞光电子科技股份有限公司

申请日：2020-03-24

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111430391A

主分类号：H01L27/146(20060101)

分类号：H01L27/146(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：本发明提供一种柔性X射线探测器及其制备方法，在制备柔性X射线探测器时，先剥离第二基板，而后再进行柔性塑封层与感光器阵列的贴合，从而在进行贴合工艺中，可实现柔性对柔性的贴合，以在贴合面形成紧密贴合，从而提高柔性X射线探测器的质量。

主权项：1.一种柔性X射线探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供第一基板，于所述第一基板上形成闪烁体层，并于所述闪烁体层上形成柔性塑封层；提供第二基板，于所述第二基板上形成柔性基底，并于所述柔性基底上形成感光器阵列，且于所述感光器阵列外围区域接合柔性引出线路板，以实现所述感光器阵列的电性引出；剥离所述第二基板；将所述柔性塑封层与所述感光器阵列进行贴合；于所述柔性基底下表面贴合保护层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海奕瑞光电子科技股份有限公司 柔性X射线探测器及其制备方法

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