申请/专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司

申请日：2020-05-09

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN111421249A

主分类号：B23K26/38(20140101)

分类号：B23K26/38(20140101);B23K26/064(20140101);B23K26/03(20060101);B23K26/14(20140101);H01L21/683(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-专利申请权的转移

法律状态：2022.08.09#专利申请权的转移;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开

摘要：本发明属激光划切晶圆技术领域，尤其涉及一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，包括折射腔体（1）、反射镜架（2）、聚焦镜筒（4）、显微镜筒（10）、工业相机（11）及激光器装配机构（17）；反射镜架（2）中心与激光器装配机构（17）的激光束入射中心共线；显微镜筒（10）固定设于折射腔体（1）顶部之上；工业相机（11）固定设于显微镜筒（10）之上；可见光光束经反射镜架（2）中心，经显微镜筒（10）放大，进入工业相机（11）靶面；聚焦镜筒（3）固定设于折射腔体（1）底部。本发明结构稳定，翘曲晶圆上料吸附率高，加工效率高，废品率低，具有较高可靠性可解决设备振动对视觉激光焦点偏移影响。

主权项：1.一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，其特征在于，包括折射腔体（1）、反射镜架（2）、聚焦镜筒（4）、显微镜筒（10）、工业相机（11）及激光器装配机构（17）；所述折射腔体（1）为三面开口的中空六面体结构；所述激光器装配机构（17）的出射口与折射腔体（1）侧面光路通孔垂直相接；所述反射镜架（2）置于折射腔体（1）之内，其上设有反射镜片（3）；所述反射镜架（2）中心与激光器装配机构（17）的激光束入射中心共线；所述激光器装配机构（17）的激光束通过折射腔体（1）的光路通孔照射到反射镜架（2）中心，形成激光光束向下垂直折射；所述显微镜筒（10）固定垂直设于折射腔体（1）顶部之上；所述工业相机（11）固定设于显微镜筒（10）之上；可见光光束经反射镜架（2）中心，经显微镜筒（10）放大，进入工业相机（11）靶面；所述聚焦镜筒（4）经L型连接板（6）固定垂直设于折射腔体（1）底部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 沈阳仪表科学研究院有限公司 用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置

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