申请/专利权人:云谷(固安)科技有限公司
申请日:2020-05-29
公开(公告)日:2020-07-17
公开(公告)号:CN111424240A
主分类号:C23C14/24(20060101)
分类号:C23C14/24(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.06.03#授权;2020.08.11#实质审查的生效;2020.07.17#公开
摘要:本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚,包括:坩埚本体;以及设置在所述坩埚本体的坩埚槽内的至少一个缓冲板,至少一个所述缓冲板沿所述坩埚本体宽度方向放置,其中所述缓冲板包括挡片和与所述挡片表面连接的至少一个弹簧,至少一个所述弹簧可以沿所述坩埚本体长度方向被拉伸或压缩。本申请解决了由于在蒸镀过程中需要交替移动使用坩埚,且在移动的过程中会加速从而导致坩埚内的有机熔融材料发生剧烈的晃动震荡,使得蒸镀膜厚度不一致,影响产品性能的问题。
主权项:1.一种蒸镀坩埚,其特征在于,包括:坩埚本体;以及设置在所述坩埚本体的坩埚槽内的至少一个缓冲板,至少一个所述缓冲板沿所述坩埚本体宽度方向放置,其中所述缓冲板包括挡片和与所述挡片表面连接的至少一个弹簧,至少一个所述弹簧可以沿所述坩埚本体长度方向被拉伸或压缩。
全文数据:
权利要求:
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